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    一種四倍光程干涉儀制造技術

    技術編號:44497640 閱讀:5 留言:0更新日期:2025-03-04 18:05
    本申請公開一種四倍光程干涉儀,干涉儀中的第一單面全反射鏡和第二單面全反射鏡分別傾斜設置在線性位移平臺上且相互垂直;分束器和第一目標反射鏡位于雙面全反射鏡兩側,第一目標反射鏡垂直于線性位移平臺的移動方向;第一單面全反射鏡和探測器位于分束器兩側,第一單面反射鏡與分束器平行;第二單面反射鏡和第二目標反射鏡位于雙面全反射鏡兩側,第二目標反射鏡平行于線性位移平臺的移動方向,第二單面全反射鏡與雙面全反射鏡平行;當雙面全反射鏡的中心點到線性位移平臺的垂直距離為第一距離,雙面全反射鏡的中心點到第一目標反射鏡的垂直距離為第二距離時,雙面全反射鏡的中心點到第二目標反射鏡的垂直距離為第二距離與2倍的第一距離之和。

    【技術實現步驟摘要】

    本申請涉及光譜儀,具體而言,涉及一種四倍光程干涉儀


    技術介紹

    1、傅里葉變換紅外(fourier?transform?infrared,ftir)光譜儀是以干涉儀為核心,通過光學干涉的原理,通過兩束光發生干涉提取出不同頻率的入射光的強度的光學儀器,常用于快速鑒定化合物種類,廣泛的適用于多個領域,包括化學,生命科學,環境檢測等等。

    2、ftir的干涉儀有多種類型,其中最常見的是邁克爾遜干涉儀。如圖1所示,邁克爾遜干涉儀包括兩個平面全反射鏡m1和m2,分光鏡g1以及補償版g2。其中,m1是定鏡,m2為動鏡,它和精密螺絲相連,轉動鼓輪可以使其向前后方向移動;g1右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強度相等的兩束(反射光和透射光);g2與g1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等,兩束光在到達觀察區域e時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差;m1和m2垂直,g1和g2平行,且g1和g2分別與m1和m2成45度角。光源以45度入射角投射到g1后,分成兩束光,一束是反射光,經過m1反射回g1,另一束是透射光,經過g2和m2,再原路返回至g1,這兩束光返回至g1后,經過干涉到達達觀察區域e。

    3、然而,傳統的邁克爾遜干涉儀是二倍光程差干涉儀,也就是說,干涉儀的光程差d隨著動鏡m2的移動距離d的變化公式是d=2d。因此,如何提供一種更高倍數的光程差干涉儀,以減小移動距離,從而縮小整體結構的體積是亟待解決的。


    技術實現思路

    1、本申請提供了一種四倍光程干涉儀,能夠提供一種更高倍數的光程差干涉儀,以減小移動距離,從而縮小整體結構的體積。

    2、具體的技術方案如下:

    3、第一方面,本申請實施例提供了一種四倍光程干涉儀,所述干涉儀包括:半反射半透射的分束器、第一單面全反射鏡、第二單面全反射鏡、第一目標反射鏡、第二目標反射鏡、雙面全反射鏡、線性位移平臺以及探測器,所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡均為能夠使得光線全部反射的反射鏡;

    4、所述第一單面全反射鏡和所述第二單面全反射鏡分別傾斜設置在所述線性位移平臺上,且所述第一單面全反射鏡和所述第二單面全反射鏡相互垂直;

    5、所述第一單面全反射鏡和所述探測器分別位于所述分束器兩側,且所述第一單面全反射鏡、所述探測器和所述分束器的中心點在同一條直線上,所述第一單面反射鏡與所述分束器平行;

    6、所述第二單面反射鏡和所述第二目標反射鏡分別位于所述雙面全反射鏡兩側,且所述第二單面反射鏡、所述第二目標反射鏡和所述雙面全反射鏡的中心點在同一條直線上,所述第二目標反射鏡平行于所述線性位移平臺的移動方向,所述第二單面全反射鏡與所述雙面全反射鏡平行;

    7、所述分束器和所述第一目標反射鏡分別位于所述雙面全反射鏡兩側,且所述分束器、所述第一目標反射鏡和所述雙面全反射鏡的中心點在同一條直線上,所述第一目標反射鏡垂直于所述線性位移平臺的移動方向;

    8、當所述雙面全反射鏡的中心點到所述線性位移平臺的垂直距離為第一距離,所述雙面全反射鏡的中心點到所述第一目標反射鏡的垂直距離為第二距離時,所述雙面全反射鏡的中心點到所述第二目標反射鏡的垂直距離為所述第二距離與2倍的所述第一距離之和;

    9、其中,光源垂直于所述移動方向攝入所述分束器后,分成反射光束光路和透射光束光路,在所述反射光束光路上依次經過所述第一單面全反射鏡、所述第二單面全反射鏡、所述雙面全反射鏡和所述第一目標反射鏡,并沿著原路反射回至所述分束器,在所述透射光束光路上依次經過所述雙面全反射鏡和所述第二目標反射鏡,并沿著原路反射回至所述分束器,最后兩條光路的光線經過干涉到達所述探測器。

    10、在一種可能的實現方式中,所述第一目標反射鏡為角反射鏡或單面全反射鏡,和/或,所述第二目標反射鏡為角反射鏡或單面全反射鏡。

    11、在一種可能的實現方式中,所述分束器、所述第一單面全反射鏡、所述第二單面全反射鏡、所述雙面全反射鏡的傾斜角度分別為45度。

    12、在一種可能的實現方式中,所述分束器的材料包括氟化鈣、溴化鉀、硒化鋅中任一項;和/或,

    13、所述探測器包括碲鎘汞探測器、銻化銦探測器、硒化鉛探測器、dtgs探測器、銦鎵砷探測器中任一項。

    14、第二方面,本申請實施例提供了一種四倍光程干涉儀,所述干涉儀包括:半反射半透射的分束器、第一單面全反射鏡、第二單面全反射鏡、第一目標反射鏡、第二目標反射鏡、線性位移平臺以及探測器,所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡均為能夠使得光線全部反射的反射鏡;

    15、所述第一單面全反射鏡和所述第二單面全反射鏡分別傾斜設置在所述線性位移平臺上,且所述第一單面全反射鏡和所述第二單面全反射鏡相互垂直;

    16、所述第一單面全反射鏡和所述探測器分別位于所述分束器兩側,且所述第一單面全反射鏡、所述探測器和所述分束器的中心點在同一條直線上,所述第一單面反射鏡與所述分束器平行;

    17、所述第二目標反射鏡平行于所述線性位移平臺的移動方向,所述分束器和所述第一目標反射鏡的中心線在同一條直線上,且所述第一目標反射鏡位于所述線性位移平臺和所述第二目標反射鏡之間;

    18、其中,光源垂直于所述移動方向攝入所述分束器后,分成反射光束光路和透射光束光路,在所述反射光束光路上依次經過第一單面全反射鏡、第二單面全反射鏡和第二目標反射鏡,并沿著原路反射回至所述分束器,在所述透射光束光路上依次經過所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡,并沿著原路反射回至所述分束器,或者,在所述透射光束光路上只經過所述第二目標反射鏡,并沿著原路反射回至所述分束器,最后兩條光路的光線經過干涉到達所述探測器;

    19、所述分束器的中心點與所述第一目標反射鏡的中心點之間的距離能夠使得所述反射光束光路和所述透射光束光路的光程差為所述第一單面全反射鏡或所述第二單面全反射鏡的移動距離的四倍。

    20、在一種可能的實現方式中,當所述第一目標反射鏡與所述第二單面全反射鏡平行時,在所述透射光束光路上依次經過所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡,且所述分束器的中心點與所述第一目標反射鏡的中心點之間的距離為第三距離與2倍的第一距離與之和;

    21、所述第一距離為所述雙面全反射鏡的中心點到所述線性位移平臺的垂直距離;

    22、所述第三距離為所述第一單面全反射鏡的中心點和所述第二單面全反射鏡的中心點之間的距離。

    23、在一種可能的實現方式中,當所述第一目標反射鏡與所述第二目標反射鏡垂直時,在所述透射光束光路上只經過所述第二目標反射鏡,且所述分束器的中心點與所述第一目標反射鏡的中心點之間的距離為2*第一距離+第二距離+第三距離;

    24、所述第一距離為所述雙面全反射鏡的中心點到所述線性位移平臺的垂直距離;

    25、所述第二距離為所述第一目標反射鏡的中心點到所述第二目標反射鏡的垂直距離;

    ...

    【技術保護點】

    1.一種四倍光程干涉儀,其特征在于,所述干涉儀包括:半反射半透射的分束器、第一單面全反射鏡、第二單面全反射鏡、第一目標反射鏡、第二目標反射鏡、雙面全反射鏡、線性位移平臺以及探測器,所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡均為能夠使得光線全部反射的反射鏡;

    2.根據權利要求1所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述第一目標反射鏡為角反射鏡或單面全反射鏡,和/或,所述第二目標反射鏡為角反射鏡或單面全反射鏡。

    3.根據權利要求1所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述分束器、所述第一單面全反射鏡、所述第二單面全反射鏡、所述雙面全反射鏡的傾斜角度分別為45度。

    4.根據權利要求1-3中任一項所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述分束器的材料包括氟化鈣、溴化鉀、硒化鋅中任一項;和/或,

    5.一種四倍光程干涉儀,其特征在于,所述干涉儀包括:半反射半透射的分束器、第一單面全反射鏡、第二單面全反射鏡、第一目標反射鏡、第二目標反射鏡、線性位移平臺以及探測器,所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡均為能夠使得光線全部反射的反射鏡;

    6.根據權利要求5所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,當所述第一目標反射鏡與所述第二單面全反射鏡平行時,在所述透射光束光路上依次經過所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡,且所述分束器的中心點與所述第一目標反射鏡的中心點之間的距離為第二距離與2倍的第一距離與之和;

    7.根據權利要求5所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,當所述第一目標反射鏡與所述第二目標反射鏡垂直時,在所述透射光束光路上只經過所述第二目標反射鏡,且所述分束器的中心點與所述第一目標反射鏡的中心點之間的距離為2*第一距離+第二距離+第三距離;

    8.根據權利要求5所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述第一目標反射鏡為角反射鏡或單面全反射鏡,和/或,所述第二目標反射鏡為角反射鏡或單面全反射鏡。

    9.根據權利要求5所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述分束器、所述第一單面全反射鏡、所述第二單面全反射鏡的傾斜角度分別為45度。

    10.根據權利要求5-9中任一項所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述分束器的材料包括氟化鈣、溴化鉀、硒化鋅中任一項;和/或,

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    【技術特征摘要】

    1.一種四倍光程干涉儀,其特征在于,所述干涉儀包括:半反射半透射的分束器、第一單面全反射鏡、第二單面全反射鏡、第一目標反射鏡、第二目標反射鏡、雙面全反射鏡、線性位移平臺以及探測器,所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡均為能夠使得光線全部反射的反射鏡;

    2.根據權利要求1所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述第一目標反射鏡為角反射鏡或單面全反射鏡,和/或,所述第二目標反射鏡為角反射鏡或單面全反射鏡。

    3.根據權利要求1所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述分束器、所述第一單面全反射鏡、所述第二單面全反射鏡、所述雙面全反射鏡的傾斜角度分別為45度。

    4.根據權利要求1-3中任一項所述的四倍光程干涉儀,其特征在于,所述分束器的材料包括氟化鈣、溴化鉀、硒化鋅中任一項;和/或,

    5.一種四倍光程干涉儀,其特征在于,所述干涉儀包括:半反射半透射的分束器、第一單面全反射鏡、第二單面全反射鏡、第一目標反射鏡、第二目標反射鏡、線性位移平臺以及探測器,所述第一目標反射鏡和所述第二目標反射鏡均為能夠使得光線全部反射的反射鏡;

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:李向東韓乾瑋
    申請(專利權)人:北京光函數科技有限公司
    類型:發明
    國別省市:

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