【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及hjt光伏電池，尤其是涉及一種hjt光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法。
技術介紹
1、隨著國家經濟的高速發展，不可再生能源的不斷消耗，能源危機意識不斷加強，煤炭、石油和天然氣等不可再生能源面臨著能源枯竭的風險，發展風能、水能、太陽能、地熱能和潮汐能等可再生能源迫在眉睫。其中，光伏太陽能具有綠色、無污染和取之不盡等優點，被認為21世紀最有發展前景的綠色清潔能源之一。
2、目前，光伏太陽能的利用方式主要為光伏發電，其原理為光生伏特效應，通過光入射到太陽能電池內部，在光子的激發下，電池內部產生光生載流子，形成電子和空穴，當電池外接電路時形成電流。
3、目前市場上主流的太陽能電池為perc電池(鈍化發射極和背面觸點電池，簡稱perc電池)，然而由于perc電池的光電轉換效率已接近其最高理論效率24％。為了進一步提高電池的轉換效率，采用新型技術的topcon電池(隧穿氧化層鈍化接觸太陽能電池，簡稱topcon電池)、hjt電池(異質結電池，簡稱hjt電池)以及bc背接觸電池(簡稱bc電池)應運而生。其中，hjt由于其工序簡單、雙面率高、光電轉換效率高和衰減低等優點，成為公認的下一代電池技術。
4、然而，由于hjt電池高昂的制造成本阻礙了其進一步市場化的發展，其高昂成本的主要來源之一是用于其采用絲網印刷銀漿制備電極，銀漿成本高昂，占hjt電池非硅成本的50％以上。為了降低成本，人們提出了mbb(多主柵技術，簡稱mbb)、0bb(無主柵技術，簡稱0bb)、銀包銅、電鍍銅等技術。其中，由于電鍍
技術實現思路
1、針對現有技術存在的不足，本專利技術的目的是提供一種hjt光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，使用成本更低的銅取代成本昂貴的銀，成本降低50％以上，且在大幅降低成本的同時還意外地提升電池的主要性能及光電轉換效率。
2、為了實現上述目的，本專利技術所采用的技術方案是：一種hjt光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，包括以下步驟，
3、使用cuni靶作為濺射靶材并采用磁控濺射的方式在異質結太陽能電池片的tco藍膜片的表面濺射沉積一層cuni種子層薄膜，該cuni種子層薄膜的厚度為20-300nm，tco藍膜片以濺射得到的cuni種子層薄膜作為hjt電池光伏電池的電鍍銅電極的種子層，
4、其中，cuni靶的cuni質量比例含量為cu：ni＝(70-90)：(10-30)。
5、進一步的技術方案，所述cuni靶的密度大于等于8.91g/cm3，cuni靶的純度大于等于99.95％，cuni靶的氧含量低于10ppm，cuni靶的靶材晶粒尺寸細小均勻，cuni靶的平均晶粒尺寸小于等于55μm且其中的最大晶粒尺寸小于等于80μm。
6、進一步的技術方案，所述磁控濺射本底真空度為(0.5-5)×10-3pa，平面靶的濺射功率密度為0.5-6w/cm2，對應旋轉靶的濺射功率密度為1-12kw/m，濺射壓強為0.1-1pa，濺射得到的所述cuni種子層薄膜的厚度為20-150nm。
7、進一步的技術方案，所述cuni種子層薄膜具有粗糙的微觀表面結構，cuni種子層薄膜的薄膜算術平均粗糙度ra位于1.13nm-6.64nm之間，均方根粗糙度rq位于1.61nm-7.51nm之間。
8、進一步的技術方案，所述cuni種子層薄膜的薄膜算術平均粗糙度ra位于3-5nm之間，均方根粗糙度rq位于4-6nm之間。
9、本專利技術和現有技術相比所具有的優點是：
10、本專利技術采用cuni靶作為濺射靶材，通過金屬鎳的引入并控制鎳的比例，創新性地采用新型的cuni種子層薄膜作為異質結電池電鍍銅種子層，cuni種子層薄膜具有良好的導電性，cuni種子層薄膜與tco薄膜具有良好的結合強度，不但易刻蝕，而且不發生擴蝕現象，還具有良好的耐酸性，且與電鍍液具有較好的匹配度，在電鍍液中與底層的tco薄膜具有良好的接觸特性，接觸電阻低。
11、本專利技術采用cuni種子層薄膜制備電鍍銅電極，相較于傳統的絲網印刷電極，用成本更低的銅取代成本昂貴的銀，成本降低50％以上，且在大幅降低成本的同時還意外地提升電池的主要性能及光電轉換效率，采用cuni種子層薄膜制備電鍍銅電極hjt太陽能電池，電池ff明顯提升，光電轉換效率大幅提高0.2％。
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1.一種HJT光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，其特征在于：包括以下步驟，
2.根據權利要求1所述的一種HJT光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，其特征在于：所述CuNi靶的密度大于等于8.91g/cm3，CuNi靶的純度大于等于99.95％，CuNi靶的氧含量低于10ppm，CuNi靶的靶材晶粒尺寸細小均勻，CuNi靶的平均晶粒尺寸小于等于55μm且其中的最大晶粒尺寸小于等于80μm。
3.根據權利要求1所述的一種HJT光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，其特征在于：所述磁控濺射本底真空度為(0.5-5)×10-3Pa，平面靶的濺射功率密度為0.5-6W/cm2，對應旋轉靶的濺射功率密度為1-12kw/m,濺射壓強為0.1-1Pa，濺射得到的所述CuNi種子層薄膜的厚度為20-150nm。
4.根據權利要求1至3任意一項所述的一種HJT光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，其特征在于：所述CuNi種子層薄膜具有粗糙的微觀表面結構，CuNi種子層薄膜的薄膜算術平均粗糙度Ra位于1.13nm-6.64nm之間，均方根粗糙度Rq位于1.61nm-7
5.根據權利要求4所述的一種HJT光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，其特征在于：所述CuNi種子層薄膜的薄膜算術平均粗糙度Ra位于3-5nm之間，均方根粗糙度Rq位于4-6nm之間。
...【技術特征摘要】
1.一種hjt光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，其特征在于：包括以下步驟，
2.根據權利要求1所述的一種hjt光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，其特征在于：所述cuni靶的密度大于等于8.91g/cm3，cuni靶的純度大于等于99.95％，cuni靶的氧含量低于10ppm，cuni靶的靶材晶粒尺寸細小均勻，cuni靶的平均晶粒尺寸小于等于55μm且其中的最大晶粒尺寸小于等于80μm。
3.根據權利要求1所述的一種hjt光伏電池電鍍銅電極種子層的制備方法，其特征在于：所述磁控濺射本底真空度為(0.5-5)×10-3pa，平面靶的濺射功率密度為0.5-6w/cm2，對應旋...
【專利技術屬性】
技術研發人員：文宏福，李天柱，盧寬寬，吳旭明，
申請(專利權)人：廣東歐萊高新材料股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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