【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專(zhuān)利技術(shù)涉及及半導(dǎo)體晶圓加工相關(guān)，尤其涉及一種兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)。
技術(shù)介紹
1、由于硅、碳化硅是制造半導(dǎo)體硅器件的原料，可用于晶圓的制作，是當(dāng)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的支柱；并且綠色環(huán)保，在未來(lái)具有非常廣闊的前景，從而使得晶圓加工生產(chǎn)成為了半導(dǎo)體的熱門(mén)行業(yè)。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)不斷發(fā)展和創(chuàng)新，現(xiàn)在客戶(hù)對(duì)單機(jī)的需求也多樣化，此專(zhuān)利便可用于硅晶圓、碳化硅進(jìn)行吸附，從而進(jìn)行異形切割、鉆孔等微加工需求。
2、經(jīng)過(guò)海量檢索，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有中國(guó)專(zhuān)利公告號(hào)為cn217444361u，公開(kāi)了一種石英旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，從上往下依次包括刻槽石英載盤(pán)、石英安裝板、載臺(tái)底座、旋轉(zhuǎn)電機(jī)和旋轉(zhuǎn)軸墊板，旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在旋轉(zhuǎn)軸墊板上的中間位置，旋轉(zhuǎn)電機(jī)頂部的驅(qū)動(dòng)端與上方的載臺(tái)底座驅(qū)動(dòng)連接設(shè)置，載臺(tái)底座上安裝有石英安裝板，石英安裝板的頂部?jī)?nèi)側(cè)安裝有刻槽石英載盤(pán)，載臺(tái)底座上沿著圓周方向均勻的安裝有若干個(gè)吸盤(pán)支架，吸盤(pán)支架上安裝有吸盤(pán)。本專(zhuān)利技術(shù)為晶圓切割設(shè)備對(duì)加工的產(chǎn)品進(jìn)行吸附固定的載臺(tái)，解決吸附平面度問(wèn)題，對(duì)產(chǎn)品吸附牢固而且吸附力均勻，同時(shí)提供照明光源，背光配合影像提高定位精度，旋轉(zhuǎn)軸搭配光柵尺系統(tǒng)，大大提升了定位精度。
3、綜上所述，現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題在于：
4、晶圓的吸附技術(shù)是一個(gè)看似微不足道但至關(guān)重要的環(huán)節(jié)。不論是刻蝕、沉積還是光刻，晶圓必須被穩(wěn)定、精確地固定在正確的位置上，才能確保高效的芯片生產(chǎn)。在多樣化打樣工藝需求的現(xiàn)在，客戶(hù)通常想在同一個(gè)設(shè)備上驗(yàn)證不同規(guī)格晶圓的工藝需求，亦或是不規(guī)格晶圓的工藝驗(yàn)證，而我們通常的吸附載臺(tái)
5、有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為解決上述其中任一技術(shù)問(wèn)題，本專(zhuān)利技術(shù)的目的是提供一種兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專(zhuān)利技術(shù)采用如下技術(shù)方案：
3、兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，從下往上依次包括dd馬達(dá)底板、旋轉(zhuǎn)dd馬達(dá)、產(chǎn)品吸附下治具板和產(chǎn)品吸附上治具板，安裝在dd馬達(dá)底板上的旋轉(zhuǎn)dd馬達(dá)通過(guò)dd馬達(dá)上轉(zhuǎn)接板驅(qū)動(dòng)上方的產(chǎn)品吸附下治具板旋轉(zhuǎn)，在產(chǎn)品吸附下治具板上安裝有產(chǎn)品吸附上治具板，在產(chǎn)品吸附上治具板的外側(cè)沿著圓周方向均布有若干個(gè)吸盤(pán)，吸盤(pán)通過(guò)吸盤(pán)安裝架安裝在產(chǎn)品吸附下治具板上；
4、在產(chǎn)品吸附上治具板的底面從內(nèi)至外依次設(shè)置有第一吸附腔體和第二吸附腔體，在產(chǎn)品吸附下治具板的頂面從內(nèi)至外依次設(shè)置有第一吸附封板和第二吸附封板，第一吸附腔體與第一吸附封板共同構(gòu)成第一吸附區(qū)域，第二吸附腔體與第二吸附封板共同構(gòu)成第二吸附區(qū)域，若干個(gè)吸盤(pán)共同構(gòu)成第三吸附區(qū)域。
5、作為本專(zhuān)利技術(shù)的進(jìn)一步改進(jìn)，在dd馬達(dá)底板上的右側(cè)通過(guò)右傳感器安裝架安裝有右傳感器，在dd馬達(dá)底板上的左側(cè)通過(guò)左傳感器安裝架安裝有左傳感器，在dd馬達(dá)上轉(zhuǎn)接板上安裝有一個(gè)感應(yīng)片。
6、作為本專(zhuān)利技術(shù)的進(jìn)一步改進(jìn)，在產(chǎn)品吸附上治具板的一側(cè)通過(guò)控制閥安裝架安裝有控制閥。
7、作為本專(zhuān)利技術(shù)的進(jìn)一步改進(jìn)，控制閥為手動(dòng)閥或者電動(dòng)閥。
8、作為本專(zhuān)利技術(shù)的進(jìn)一步改進(jìn)，在產(chǎn)品吸附下治具板下方外側(cè)的旋轉(zhuǎn)dd馬達(dá)上安裝有排管固定架，在排管固定架內(nèi)安裝有排管，排管一側(cè)的排管接頭通過(guò)排管固定板安裝在排管固定架上。
9、作為本專(zhuān)利技術(shù)的進(jìn)一步改進(jìn)，在排管固定架內(nèi)還設(shè)置有若干個(gè)對(duì)排管限位的排管限位柱。
10、作為本專(zhuān)利技術(shù)的進(jìn)一步改進(jìn)，在產(chǎn)品吸附上治具板的頂面從內(nèi)至外依次設(shè)置有第一標(biāo)識(shí)和第二標(biāo)識(shí)。
11、借由上述方案，本專(zhuān)利技術(shù)至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：
12、本專(zhuān)利技術(shù)可兼容2～8寸內(nèi)的任意形狀裸片晶圓(包括碎片)，甚至各種方片陶瓷，同時(shí)還能兼容8寸晶圓帶鋼環(huán)。
13、上述說(shuō)明僅是本專(zhuān)利技術(shù)技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本專(zhuān)利技術(shù)的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本專(zhuān)利技術(shù)的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，從下往上依次包括DD馬達(dá)底板(1)、旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)(2)、產(chǎn)品吸附下治具板(4)和產(chǎn)品吸附上治具板(5)，安裝在所述DD馬達(dá)底板(1)上的旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)(2)通過(guò)DD馬達(dá)上轉(zhuǎn)接板(3)驅(qū)動(dòng)上方的產(chǎn)品吸附下治具板(4)旋轉(zhuǎn)，在所述產(chǎn)品吸附下治具板(4)上安裝有產(chǎn)品吸附上治具板(5)，在所述產(chǎn)品吸附上治具板(5)的外側(cè)沿著圓周方向均布有若干個(gè)吸盤(pán)(13)，所述吸盤(pán)(13)通過(guò)吸盤(pán)安裝架(14)安裝在產(chǎn)品吸附下治具板(4)上；其特征在于：
2.如權(quán)利要求1所述的兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，其特征在于，在所述DD馬達(dá)底板(1)上的右側(cè)通過(guò)右傳感器安裝架(6)安裝有右傳感器(7)，在所述DD馬達(dá)底板(1)上的左側(cè)通過(guò)左傳感器安裝架(9)安裝有左傳感器(10)，在所述DD馬達(dá)上轉(zhuǎn)接板(3)上安裝有一個(gè)感應(yīng)片(8)。
3.如權(quán)利要求1所述的兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，其特征在于，在所述產(chǎn)品吸附上治具板(5)的一側(cè)通過(guò)控制閥安裝架(11)安裝有控制閥(12)。
4.如權(quán)利要求3所述的兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，其特征
5.如權(quán)利要求1所述的兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，其特征在于，在所述產(chǎn)品吸附下治具板(4)下方外側(cè)的旋轉(zhuǎn)DD馬達(dá)(2)上安裝有排管固定架(15)，在所述排管固定架(15)內(nèi)安裝有排管(16)，所述排管(16)一側(cè)的排管接頭(19)通過(guò)排管固定板(18)安裝在排管固定架(15)上。
6.如權(quán)利要求5所述的兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，其特征在于，在所述排管固定架(15)內(nèi)還設(shè)置有若干個(gè)對(duì)排管(16)限位的排管限位柱(17)。
7.如權(quán)利要求1所述的兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，其特征在于，在所述產(chǎn)品吸附上治具板(5)的頂面從內(nèi)至外依次設(shè)置有第一標(biāo)識(shí)(20)和第二標(biāo)識(shí)(21)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，從下往上依次包括dd馬達(dá)底板(1)、旋轉(zhuǎn)dd馬達(dá)(2)、產(chǎn)品吸附下治具板(4)和產(chǎn)品吸附上治具板(5)，安裝在所述dd馬達(dá)底板(1)上的旋轉(zhuǎn)dd馬達(dá)(2)通過(guò)dd馬達(dá)上轉(zhuǎn)接板(3)驅(qū)動(dòng)上方的產(chǎn)品吸附下治具板(4)旋轉(zhuǎn)，在所述產(chǎn)品吸附下治具板(4)上安裝有產(chǎn)品吸附上治具板(5)，在所述產(chǎn)品吸附上治具板(5)的外側(cè)沿著圓周方向均布有若干個(gè)吸盤(pán)(13)，所述吸盤(pán)(13)通過(guò)吸盤(pán)安裝架(14)安裝在產(chǎn)品吸附下治具板(4)上；其特征在于：
2.如權(quán)利要求1所述的兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，其特征在于，在所述dd馬達(dá)底板(1)上的右側(cè)通過(guò)右傳感器安裝架(6)安裝有右傳感器(7)，在所述dd馬達(dá)底板(1)上的左側(cè)通過(guò)左傳感器安裝架(9)安裝有左傳感器(10)，在所述dd馬達(dá)上轉(zhuǎn)接板(3)上安裝有一個(gè)感應(yīng)片(8)。
3.如權(quán)利要求1所述的兼容2～8寸鋼環(huán)的旋轉(zhuǎn)吸附載臺(tái)，其特...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：趙裕興，丁雪健，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：蘇州德龍激光股份有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
還沒(méi)有人留言評(píng)論。發(fā)表了對(duì)其他瀏覽者有用的留言會(huì)獲得科技券。