【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)總體涉及用于氣體管線矩陣和互換組件的方法和裝置。更具體地，本專利技術(shù)涉及具有在單個軸線上對準(zhǔn)的一組部分的氣體管線裝置。
技術(shù)介紹
1、半導(dǎo)體設(shè)備需要通過具有多個端口的閥歧管將各種源容器和處理氣體路由到反應(yīng)室。對于不同的過程，給定的源容器將需要被路由到不同的閥歧管端口，從而需要不同的氣體管線。由于這些氣體管線被加熱，這可能導(dǎo)致大量獨(dú)特的氣體管線和加熱器套，從而造成復(fù)雜和混亂的氣體管線系統(tǒng)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的各種實(shí)施例可以提供氣體管線矩陣和互換組件。其中互換組件包括第一多個氣體管線，其中每個氣體管線包括第一端和第二端，并且其中第一多個氣體管線的第一端在第一軸線上對準(zhǔn)，第一多個氣體管線的第二端在第二軸線上對準(zhǔn)，并且第一軸線垂直于第二軸線。
2、根據(jù)一方面，一種裝置包括：氣體管線矩陣；以及聯(lián)接到氣體管線矩陣的互換組件，其中互換組件包括第一多個氣體管線，其中每個氣體管線包括第一端和第二端；其中：第一多個氣體管線的第一端在第一軸線上對準(zhǔn)，第一多個氣體管線的第二端在第二軸線上對準(zhǔn)，并且第一軸線垂直于第二軸線。
3、在一個實(shí)施例中，氣體管線矩陣包括第二多個氣體管線，并且來自第二多個氣體管線中的每個氣體管線聯(lián)接到來自第一多個氣體管線中的一個氣體管線。
4、在一個實(shí)施例中，來自第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括至少一個直角。
5、在一個實(shí)施例中，來自第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括通過連接器聯(lián)接到第二部分的第一部分，并且第一部分
6、在一個實(shí)施例中，第一部分平行于第二軸線并垂直于第一軸線。
7、在一個實(shí)施例中，第二部分平行于第一軸線并垂直于第二軸線。
8、在一個實(shí)施例中，第一部分是z形的，第二部分是l形的。
9、在一個實(shí)施例中，第一部分通過連接器聯(lián)接到第二部分。
10、在一個實(shí)施例中，每個第二部分具有不同于其他第二部分的長度。
11、根據(jù)另一方面，一種用于組裝氣體管線互換裝置的方法包括：基于第一距離從多個第一部分中選擇第一氣體管線部分，其中每個第一部分具有第一端和第二端；基于第二距離從多個第二部分中選擇第二氣體管線部分，其中每個第二部分具有不同于其他第二部分的長度，并且其中每個第二部分具有第一端和將第一部分的第二端連接到第二部分的第一端的第二端；基于第三距離從多個第一部分中選擇第三氣體管線部分；基于第四距離從多個第二部分中選擇第四氣體管線部分；以及將第三部分的第二端連接到第四部分的第一端；其中第一和第三部分的第一端在第一軸線上對準(zhǔn)；并且其中第二和第四部分的第二端在垂直于第一軸線的第二軸線上對準(zhǔn)。
12、在一個實(shí)施例中，該方法還包括將第一氣體管線部分的第一端連接到氣體管線矩陣，并將第二氣體管線部分的第二端連接到容器端口。
13、在一個實(shí)施例中，第一距離是第一軸線和容器端口之間的水平距離。
14、在一個實(shí)施例中，第二距離是第二軸線和所選擇的第一氣體管線部分的第二端之間的豎直距離。
15、根據(jù)又一方面，一種系統(tǒng)包括：反應(yīng)室；聯(lián)接到反應(yīng)室的氣體管線矩陣；聯(lián)接到氣體管線矩陣的互換組件，其中互換組件包括第一多個氣體管線，其中每個氣體管線包括第一端和第二端；其中，第一多個氣體管線的第一端在第一軸線上對準(zhǔn)，并且第一多個氣體管線的第二端在第二軸線上對準(zhǔn)，并且其中第一軸線垂直于第二軸線；聯(lián)接在反應(yīng)室和互換組件之間的氣體管線矩陣，其中氣體管線矩陣包括第二多個氣體管線，并且來自第二多個氣體管線中的每個氣體管線聯(lián)接到來自第一多個氣體管線中的一個氣體管線；以及聯(lián)接到互換組件的多個容器。
16、在一個實(shí)施例中，來自第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括至少一個直角。
17、在一個實(shí)施例中，來自第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括通過連接器聯(lián)接到第二部分的第一部分，并且第一部分包括第一端，第二部分包括第二端。
18、在一個實(shí)施例中，第一部分平行于第二軸線并垂直于第一軸線，其中第二部分平行于第一軸線并垂直于第二軸線。
19、在一個實(shí)施例中，每個第二部分具有不同于其他第二部分的長度。
20、在一個實(shí)施例中，第一部分是z形的，第二部分是l形的。
21、在一個實(shí)施例中，第一部分通過第一連接器聯(lián)接到第二部分，第一部分通過第二連接器聯(lián)接到氣體矩陣，第二部分通過第三連接器聯(lián)接到來自多個容器中的一個容器。
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1.一種裝置，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述氣體管線矩陣包括第二多個氣體管線，并且來自第二多個氣體管線中的每個氣體管線聯(lián)接到來自所述第一多個氣體管線中的一個氣體管線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，來自所述第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括至少一個直角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括通過連接器聯(lián)接到第二部分的第一部分，所述第一部分包括所述第一端，所述第二部分包括所述第二端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述第一部分平行于所述第二軸線，并且垂直于所述第一軸線。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述第二部分平行于所述第一軸線，并且垂直于所述第二軸線。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述第一部分是Z形的，所述第二部分是L形的。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述第一部分通過連接器聯(lián)接到所述第二部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，每個第二部分具有不同于其他第二部分的長度。
10
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，還包括將所述第一氣體管線部分的第一端連接到氣體管線矩陣，并且將所述第二氣體管線部分的第二端連接到容器端口。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述第一距離是所述第一軸線和容器端口之間的水平距離。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其中，所述第二距離是所述第二軸線和所選擇的第一氣體管線部分的第二端之間的豎直距離。
14.一種系統(tǒng)，包括：
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中，來自所述第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括通過連接器聯(lián)接到第二部分的第一部分，第一部分包括所述第一端，第二部分包括所述第二端。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中，所述第一部分平行于所述第二軸線并且垂直于所述第一軸線，并且其中，所述第二部分平行于所述第一軸線并且垂直于所述第二軸線。
17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的系統(tǒng)，其中，每個第二部分具有不同于其他第二部分的長度。
18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中，所述第一部分是Z形的。
19.根據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中，所述第二部分是L形的。
20.根據(jù)權(quán)利要求14所述的系統(tǒng)，其中，所述第一部分通過第一連接器聯(lián)接到所述第二部分，所述第一部分通過第二連接器聯(lián)接到所述氣體矩陣，并且所述第二部分通過第三連接器聯(lián)接到來自所述多個容器中的一個容器。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種裝置，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述氣體管線矩陣包括第二多個氣體管線，并且來自第二多個氣體管線中的每個氣體管線聯(lián)接到來自所述第一多個氣體管線中的一個氣體管線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，來自所述第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括至少一個直角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一多個氣體管線中的每個氣體管線包括通過連接器聯(lián)接到第二部分的第一部分，所述第一部分包括所述第一端，所述第二部分包括所述第二端。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述第一部分平行于所述第二軸線，并且垂直于所述第一軸線。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述第二部分平行于所述第一軸線，并且垂直于所述第二軸線。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述第一部分是z形的，所述第二部分是l形的。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，所述第一部分通過連接器聯(lián)接到所述第二部分。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其中，每個第二部分具有不同于其他第二部分的長度。
10.一種用于組裝氣體管線互換裝置的方法，包括：
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，還包括將所述第一氣體管線部分的第一端連接到氣體管線矩陣...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：H·A·海明格，
申請(專利權(quán))人：ASMIP私人控股有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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