【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術涉及一種浸沒式冷卻系統(tǒng)以及方法。
技術介紹
1、半導體集成電路(integrated?circuit,ic)產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了指數(shù)級成長。ic材料和設計的技術進步已經(jīng)產(chǎn)生了多個ic世代，其中每一代具有比上一代更小更復雜的電路。在ic的發(fā)展過程中，功能密度(即每個芯片面積的互連線器件數(shù)量)普遍增加，而幾何尺寸(即可以使用制造工藝創(chuàng)造的最小組件(或線路))卻減小。這種縮小規(guī)模的工藝通常可以通過提高生產(chǎn)效率和降低相關成本，提供好處。這種縮小尺寸也增加了ic加工和制造的復雜性。舉例來說，包括大量服務器的數(shù)據(jù)中心支持ic的規(guī)劃和制造。單一服務器可以通過被動冷卻、空氣冷卻、水冷或浸沒式冷卻來冷卻。由于各種原因，這些冷卻方法都還不夠充分。
技術實現(xiàn)思路
1、根據(jù)至少一個實施例，一種方法包括：通過在浸沒式冷卻器的第一容器中并且通過浸沒式冷卻器的第一容器來冷卻器件以形成冷卻器件；通過將工藝工具與所述冷卻器件進行信息傳輸來執(zhí)行半導體工藝；確定所述冷卻器件是否處于可從所述浸沒式冷卻器移除的狀態(tài)；對于所述冷卻器件不處于所述狀態(tài)，則通過所述浸沒式冷卻器來冷卻所述器件；以及對于所述冷卻器件處于所述狀態(tài)，則從所述第一容器移除所述器件，包括：在所述第一容器上方放置第二容器；以及當所述第二容器覆蓋所述第一容器時：打開所述第一容器的蓋子；以及從所述第一容器移除所述器件。
2、根據(jù)至少一個實施例，一種方法包括：通過容器來覆蓋浸沒式冷卻器；將所述容器就位在所述浸沒式冷卻器上方：打開所述浸沒式冷卻器的蓋子；以
3、根據(jù)至少一個實施例，一種系統(tǒng)，包括：浸沒式冷卻器，其具有貯罐以及覆蓋所述貯罐的蓋子；器件，其位在所述浸沒式冷卻器的所述貯罐中；外箱；以及搬運車，其具有外殼，其中所述搬運車在運作時：將所述外箱放置在所述貯罐上方；以及當所述外箱位于所述貯罐上方時，將所述器件從所述貯罐移除并且將所述器件放到所述外殼中。
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1.一種執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，其中所述移除所述器件包括通過機器人手臂來移除所述器件。
3.根據(jù)權利要求2所述的執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，其中所述通過機器人手臂來移除所述器件包括通過安裝在搬運車中的所述機器人手臂來移除所述器件。
4.根據(jù)權利要求3所述的執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，更包括：
5.根據(jù)權利要求3所述的執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，更包括：
6.根據(jù)權利要求所述的執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，更包括：
7.一種執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，包括：
8.一種冷卻系統(tǒng)，其特征在于，包括：
9.根據(jù)權利要求8所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，更包括：
10.根據(jù)權利要求9所述的冷卻系統(tǒng)，其特征在于，更包括：
【技術特征摘要】
1.一種執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，其中所述移除所述器件包括通過機器人手臂來移除所述器件。
3.根據(jù)權利要求2所述的執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，其中所述通過機器人手臂來移除所述器件包括通過安裝在搬運車中的所述機器人手臂來移除所述器件。
4.根據(jù)權利要求3所述的執(zhí)行冷卻系統(tǒng)的方法，其特征在于，更包括...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：吳重九，林偉生，
申請(專利權)人：臺灣積體電路制造股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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