【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及傳感器，具體地涉及一種電容式薄膜壓力傳感器。
技術介紹
1、電容式薄膜壓力傳感器通過合金壓力應變膜片作為一個可變電極，與陶瓷基底上的導電涂層構成電容結構，也同時形成了傳感器的真空感應腔室，通過合金壓力應變膜片兩側的壓力變化，從而使電容容值發生相應變化，來實現壓力的變化傳遞。
2、為了使合金壓力應變膜片與陶瓷基底電極平行面對且能牢固地安裝到傳感器結構內，常用的辦法是采用金屬焊接的手段，例如激光焊接、平行釬焊等將合金應變膜片與傳感器的金屬外殼焊接到一起，這種方法便于合金應變膜片端的信號引出，但是電容作為一個敏感器件，與金屬外殼相連，金屬外殼通常又與測試設備相連，容易引入外部的信號噪聲，從而影響傳感器的測試精度。
3、傳感器內的真空感應腔室的內壁通常為與合金應變膜片同熱膨脹系數的金屬材料，或者在絕緣耐壓材料上噴涂大面積的金屬涂層，這種做法有利于氣壓的穩定與熱平衡，但是也引入一系列寄生電容，也會影響傳感器的測試性能，本專利技術針對以上問題提出了一種新的解決方案。
技術實現思路
1、本專利技術為了克服上述缺點中的至少一個，提供一種電容式薄膜壓力傳感器。本專利技術的目的可以通過采用如下技術方案達到：
2、一種電容式薄膜壓力傳感器，包括膜片組件，所述膜片組件包括應變薄膜、第一環狀件和第二環狀件，所述應變薄膜平整地內嵌在所述第一環狀件和所述第二環狀件之間，所述應變薄膜的外邊緣位于所述第一環狀件和所述第二環狀件的投影區域內。
3、在一種可
4、在一種可實施方式中，所述應變薄膜的外徑小于所述第一環狀件的外徑，所述應變薄膜的外徑大于所述第一環狀件的內徑；
5、所述應變薄膜的外徑小于所述第二環狀件的外徑，所述應變薄膜的外徑大于所述第二環狀件的內徑。
6、在一種可實施方式中，所述電容式薄膜壓力傳感器還包括外殼，所述膜片組件設置在所述外殼的內腔。
7、在一種可實施方式中，所述第一環狀件開設有第一導電孔，所述第一導電孔位于所述應變薄膜的邊緣投影區域內。
8、在一種可實施方式中，所述電容式薄膜壓力傳感器還包括固定電極，所述固定電極包括陶瓷基底，所述陶瓷基底朝向所述膜片組件的第一面設有導電涂層，所述陶瓷基底背離所述膜片組件的第二面設有電路板，所述陶瓷基底上開設有與所述第一導電孔相連通的第二導電孔。
9、在一種可實施方式中，所述電容式薄膜壓力傳感器還包括導電件，所述導電件穿設于所述第一導電孔和所述第二導電孔，所述導電件的第一端與所述應變薄膜電連接，所述導電件的第二端與所述電路板電連接。
10、在一種可實施方式中，所述導電件與所述固定電極相連接，所述導電件與所述膜片組件相連接；
11、其中，所述導電件的長度可調，或，所述導電件與所述固定電極和/或所述膜片組件的連接位置可調，用于調節所述固定電極和所述應變薄膜之間的高度差。
12、在一種可實施方式中，所述陶瓷基底上開設有第三導電孔，所述第三導電孔位于所述導電涂層的邊緣投影區域內，所述第三導電孔內填充有導電材料，所述導電材料的第一端與所述導電涂層電連接，所述導電材料的第二端與所述電路板電連接。
13、在一種可實施方式中，所述電路板包括：
14、電容轉化模塊，所述電容轉化模塊用于將電容信號轉化為電壓信號；
15、無線傳輸模塊，所述無線傳輸模塊與所述電容轉化模塊電連接，所述無線傳輸模塊連接有天線，用于接收所述電壓信號并將所述電壓信號無線傳輸至終端。
16、本專利技術的有益技術效果：根據本公開內容，該電容式薄膜壓力傳感器包括由兩個環狀件壓合應變薄膜形成的膜片組件，應變薄膜通過陶瓷環狀件與外殼相連接，并將應變薄膜的信號引出，將應變薄膜與金屬外殼以及其他金屬部件隔離，避免了應變薄膜直接嵌入外殼引入噪聲和寄生電容的情況，同時提高了真空壓力檢測腔密封性，大大提高了傳感器的測量精度。
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1.一種電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，包括膜片組件(1)，所述膜片組件(1)包括應變薄膜(11)、第一環狀件(12)和第二環狀件(13)，所述應變薄膜(11)平整地內嵌在所述第一環狀件(12)和所述第二環狀件(13)之間，所述應變薄膜(11)的外邊緣位于所述第一環狀件(12)和所述第二環狀件(13)的投影區域內。
2.根據權利要求1所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述膜片組件(1)由應變薄膜(11)、第一環狀件(12)和第二環狀件(13)燒結形成，所述第一環狀件(12)和所述第二環狀件(13)均包括陶瓷材料。
3.根據權利要求1所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述電容式薄膜壓力傳感器還包括外殼(6)，所述膜片組件(1)設置在所述外殼(6)的內腔。
5.根據權利要求1-4任意一項所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述第一環狀件(12)上開設有第一導電孔(121)，所述第一導電孔(121)位于所述應變薄膜(11)的邊緣投影區域內。
6.根據
7.根據權利要求6所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述電容式薄膜壓力傳感器還包括導電件(3)，所述導電件(3)穿設于所述第一導電孔(121)和所述第二導電孔(211)，所述導電件(3)的第一端與所述應變薄膜(11)電連接，所述導電件(3)的第二端與所述電路板(23)電連接。
8.根據權利要求7所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述導電件(3)與所述固定電極(2)相連接，所述導電件(3)與所述膜片組件(1)相連接；
9.根據權利要求6-8任意一項所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述陶瓷基底(21)上開設有第三導電孔(221)，所述第三導電孔(221)位于所述導電涂層(22)的邊緣投影區域內，所述第三導電孔(221)內填充有導電材料，所述導電材料的第一端與所述導電涂層(22)電連接，所述導電材料的第二端與所述電路板(23)電連接。
10.根據權利要求6所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述電路板(23)包括：
...【技術特征摘要】
1.一種電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，包括膜片組件(1)，所述膜片組件(1)包括應變薄膜(11)、第一環狀件(12)和第二環狀件(13)，所述應變薄膜(11)平整地內嵌在所述第一環狀件(12)和所述第二環狀件(13)之間，所述應變薄膜(11)的外邊緣位于所述第一環狀件(12)和所述第二環狀件(13)的投影區域內。
2.根據權利要求1所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述膜片組件(1)由應變薄膜(11)、第一環狀件(12)和第二環狀件(13)燒結形成，所述第一環狀件(12)和所述第二環狀件(13)均包括陶瓷材料。
3.根據權利要求1所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述電容式薄膜壓力傳感器還包括外殼(6)，所述膜片組件(1)設置在所述外殼(6)的內腔。
5.根據權利要求1-4任意一項所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述第一環狀件(12)上開設有第一導電孔(121)，所述第一導電孔(121)位于所述應變薄膜(11)的邊緣投影區域內。
6.根據權利要求5所述的電容式薄膜壓力傳感器，其特征在于，所述電容式薄膜壓力傳感器還包括固定電極(2)，所述固定電極(2)包括陶瓷基底(21...
【專利技術屬性】
技術研發人員：鄭旭，張心強，林琳，孫小孟，蘇濤，徐亞輝，劉瑞琪，郜晨希，張沙，李超波，
申請(專利權)人：中國科學院微電子研究所，
類型：發明
國別省市：
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