【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及晶圓片生產(chǎn)，具體而言，涉及一種晶圓載片架。
技術(shù)介紹
1、晶圓片的加工方式主要為批量加工，硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片。晶圓片在生產(chǎn)過程中需要用清洗設(shè)備進(jìn)行清洗作業(yè)。
2、硅晶片在放入清洗設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行清洗作業(yè)時(shí)，首先批量的晶圓片需要放置在盒架內(nèi)部，盒架會(huì)沒入傾斜設(shè)備槽中的水面下方，然后清洗設(shè)備會(huì)帶動(dòng)盒架以及內(nèi)部的晶圓片在豎直方向做往復(fù)運(yùn)行將盒架內(nèi)部的晶圓片清洗。由于晶圓片放置在盒架內(nèi)部在豎直往復(fù)清洗的過程中，晶圓片與盒架內(nèi)部放置槽貼合區(qū)域難以被清洗干凈，從而影響晶圓片的清洗質(zhì)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N晶圓載片架，以解決晶圓片放置在盒架內(nèi)部在豎直往復(fù)清洗的過程中，晶圓片與盒架內(nèi)部放置槽貼合區(qū)域難以被清洗干凈的問題。
2、根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例的一種晶圓載片架，包括：晶圓片承載組件、滾動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件和滾動(dòng)上壓組件。
3、所述晶圓片承載組件包括盒架和底部滾動(dòng)支撐部，所述底部滾動(dòng)支撐部安裝在所述盒架內(nèi)部底側(cè)，所述盒架內(nèi)部兩側(cè)設(shè)置有放置晶圓片的放置槽，所述盒架一側(cè)設(shè)置有與放置槽相連通的弧形槽；
4、所述滾動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件包括浮板、轉(zhuǎn)軸、固定支撐部和條殼，所述固定支撐部安裝在盒架側(cè)部，所述轉(zhuǎn)軸與固定支撐部轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置，且所述轉(zhuǎn)軸外部固定套設(shè)有與放置槽一一對(duì)應(yīng)的輪盤，所述轉(zhuǎn)軸端部設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)連接部，傾斜設(shè)置的所述條殼底部和頂部分別連接有下桿和上桿，所述浮板與下桿底端固定連接，所述
5、所述滾動(dòng)上壓組件安裝在盒架上限位晶圓片。
6、優(yōu)選的，所述底部滾動(dòng)支撐部包括托板和下滾軸，所述托板固定在盒架端部，所述下滾軸端部與托板轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
7、優(yōu)選的，所述下滾軸外部設(shè)置有與放置槽一一相對(duì)應(yīng)的第一滾軸槽。
8、優(yōu)選的，所述固定支撐部包括座架、側(cè)架、彈性支撐件和第二座塊，所述座架與側(cè)架豎向位置滑動(dòng)設(shè)置，且所述彈性支撐件連接座架和側(cè)架，所述側(cè)架頂端以及底端均設(shè)置有限位環(huán)，所述第二座塊固定在側(cè)架一側(cè)，且所述轉(zhuǎn)軸端部與第二座塊轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置。
9、優(yōu)選的，所述滾動(dòng)上壓組件包括支撐臂、上滾軸和托塊，所述托塊固定在盒架側(cè)部，所述上滾軸轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在兩個(gè)支撐臂頂端，所述托塊通過銷軸與支撐臂轉(zhuǎn)動(dòng)安裝，所述支撐臂底部分別設(shè)置有與側(cè)架頂部卡合的下壓支撐區(qū)與松脫支撐區(qū)，所述盒架一側(cè)上沿設(shè)置有支撐臂活動(dòng)穿過的第一避讓槽口，兩個(gè)所述支撐臂外部設(shè)置有手柄。
10、優(yōu)選的，所述上滾軸外部設(shè)置有與放置槽一一相對(duì)應(yīng)的第二滾軸槽。
11、優(yōu)選的，所述彈性支撐件包括銷桿、彈簧、第一座塊和固定塊，所述固定塊與座架固定設(shè)置，所述銷桿固定在所述固定塊上方，所述第一座塊與側(cè)架連接，所述銷桿頂端活動(dòng)貫穿第一座塊，所述彈簧套設(shè)在銷桿外部，所述銷桿頂端設(shè)置有限位蓋。
12、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)連接部包括連接條板和軸桿，所述連接條板兩端分別與轉(zhuǎn)軸一端以及軸桿一端連接，所述軸桿另一端活動(dòng)在條殼內(nèi)部。
13、優(yōu)選的，所述滾動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件還包括頂塊，所述頂塊設(shè)置在所述上桿頂端。
14、該晶圓載片架還包括外罩保護(hù)組件，所述外罩保護(hù)組件包括外罩殼，所述外罩殼位于滾動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件外部與盒架側(cè)部連接，所述外罩殼側(cè)部設(shè)置有流通口，且外罩殼上方設(shè)置有與支撐臂貫穿配合的第二避讓槽口。
15、優(yōu)選的，所述外罩保護(hù)組件還包括導(dǎo)流殼、導(dǎo)流板、葉板和套筒，所述套筒固定相鄰輪盤之間的所述轉(zhuǎn)軸外部，多組所述葉板呈環(huán)狀陣列分布設(shè)置在套筒外部，所述導(dǎo)流殼位于所述流通口外側(cè)與外罩殼固定，所述導(dǎo)流板安裝在導(dǎo)流殼內(nèi)部，且所述導(dǎo)流板上設(shè)置有與套筒一一對(duì)應(yīng)的傾斜設(shè)置的導(dǎo)流槽。
16、本申請(qǐng)的有益效果是：本申請(qǐng)通過上述設(shè)計(jì)得到的一種晶圓載片架，清洗設(shè)備帶動(dòng)盒架作上下往復(fù)移動(dòng)清洗盒架內(nèi)部的晶圓片時(shí)，暴露在放置槽以外的晶圓片表面能夠直接與清洗槽內(nèi)部的清洗液相接觸被清洗。盒架作上下往復(fù)移動(dòng)通過浮板、條殼等組件的配合帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸、輪盤轉(zhuǎn)動(dòng)，最終帶動(dòng)盒架內(nèi)部的晶圓片轉(zhuǎn)動(dòng)。即盒架內(nèi)部的晶圓片在上下作往復(fù)移動(dòng)被清洗的同時(shí)，本位于放置槽內(nèi)部的晶圓片區(qū)域在盒架作上下往復(fù)移動(dòng)的同時(shí)，不需要額外的動(dòng)力即能夠完成轉(zhuǎn)動(dòng)，位于放置槽內(nèi)部的晶圓片區(qū)域?qū)㈦S著轉(zhuǎn)動(dòng)脫出得以被清洗，實(shí)現(xiàn)盒架內(nèi)部的晶圓片能被完全清洗，提升晶圓片清洗質(zhì)量。
17、本申請(qǐng)的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本申請(qǐng)的實(shí)踐了解到。
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1.一種晶圓載片架，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述底部滾動(dòng)支撐部(12)包括托板(121)和下滾軸(122)，所述托板(121)固定在盒架(11)端部，所述下滾軸(122)端部與托板(121)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述下滾軸(122)外部設(shè)置有與放置槽(13)一一相對(duì)應(yīng)的第一滾軸槽(123)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述固定支撐部(25)包括座架(251)、側(cè)架(252)、彈性支撐件(253)和第二座塊(255)，所述座架(251)與側(cè)架(252)豎向位置滑動(dòng)設(shè)置，且所述彈性支撐件(253)連接座架(251)和側(cè)架(252)，所述側(cè)架(252)頂端以及底端均設(shè)置有限位環(huán)(254)，所述第二座塊(255)固定在側(cè)架(252)一側(cè)，且所述轉(zhuǎn)軸(22)端部與第二座塊(255)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述滾動(dòng)上壓組件(3)包括支撐臂(31)、上滾軸(32)和托塊(35)，所述托塊(35
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述上滾軸(32)外部設(shè)置有與放置槽(13)一一相對(duì)應(yīng)的第二滾軸槽(33)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述彈性支撐件(253)包括銷桿(2531)、彈簧(2532)、第一座塊(2533)和固定塊(2535)，所述固定塊(2535)與座架(251)固定設(shè)置，所述銷桿(2531)固定在所述固定塊(2535)上方，所述第一座塊(2533)與側(cè)架(252)連接，所述銷桿(2531)頂端活動(dòng)貫穿第一座塊(2533)，所述彈簧(2532)套設(shè)在銷桿(2531)外部，所述銷桿(2531)頂端設(shè)置有限位蓋(2534)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)連接部(24)包括連接條板(241)和軸桿(242)，所述連接條板(241)兩端分別與轉(zhuǎn)軸(22)一端以及軸桿(242)一端連接，所述軸桿(242)另一端活動(dòng)在條殼(26)內(nèi)部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述滾動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件(2)還包括頂塊(29)，所述頂塊(29)設(shè)置在所述上桿(28)頂端。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓載片架，其特征在于，還包括外罩保護(hù)組件(4)，所述外罩保護(hù)組件(4)包括外罩殼(41)，所述外罩殼(41)位于滾動(dòng)驅(qū)動(dòng)組件(2)外部與盒架(11)側(cè)部連接，所述外罩殼(41)側(cè)部設(shè)置有流通口(43)，且外罩殼(41)上方設(shè)置有與支撐臂(31)貫穿配合的第二避讓槽口(42)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種晶圓載片架，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述底部滾動(dòng)支撐部(12)包括托板(121)和下滾軸(122)，所述托板(121)固定在盒架(11)端部，所述下滾軸(122)端部與托板(121)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述下滾軸(122)外部設(shè)置有與放置槽(13)一一相對(duì)應(yīng)的第一滾軸槽(123)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述固定支撐部(25)包括座架(251)、側(cè)架(252)、彈性支撐件(253)和第二座塊(255)，所述座架(251)與側(cè)架(252)豎向位置滑動(dòng)設(shè)置，且所述彈性支撐件(253)連接座架(251)和側(cè)架(252)，所述側(cè)架(252)頂端以及底端均設(shè)置有限位環(huán)(254)，所述第二座塊(255)固定在側(cè)架(252)一側(cè)，且所述轉(zhuǎn)軸(22)端部與第二座塊(255)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓載片架，其特征在于，所述滾動(dòng)上壓組件(3)包括支撐臂(31)、上滾軸(32)和托塊(35)，所述托塊(35)固定在盒架(11)側(cè)部，所述上滾軸(32)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在兩個(gè)支撐臂(31)頂端，所述托塊(35)通過銷軸(36)與支撐臂(31)轉(zhuǎn)動(dòng)安裝，所述支撐臂(31)底部分別設(shè)置有與側(cè)架(252)頂部卡合的下壓支撐區(qū)(37)與松脫支撐區(qū)(38)，所述盒架(11)一側(cè)上沿設(shè)置有支撐臂(31)活動(dòng)穿過的第一避讓槽口(15)，兩個(gè)所述支撐臂(31)外部設(shè)置有手柄(34...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉紅軍，秦東槐，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：昆山英博爾電子科技有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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