【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)屬于芯片制備設(shè)備，具體的說是一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線。
技術(shù)介紹
1、目前芯片的制備方法仍停留在高能耗、高造價(jià)的減材制造的方法中，例如光刻、刻蝕等，且根據(jù)不同的微納米結(jié)構(gòu)形貌，可能會(huì)大幅增加制備難度，例如制備硅納米線可通過成熟的刻蝕方法制備，而若需要在微米結(jié)構(gòu)上再制備出規(guī)則的硅納米線則較為困難；而增材制造的方法中，例如3d打印，磁誘導(dǎo)等方法制備的結(jié)構(gòu)，可能會(huì)遇到分辨率低，結(jié)構(gòu)形貌受限，制備流程時(shí)間長的問題；且兩種制造方法在面對醫(yī)療軟材料時(shí)均無法適配，難以按需在制備生物材料基礎(chǔ)的微納米復(fù)合結(jié)構(gòu)；
2、實(shí)驗(yàn)室中已經(jīng)提供了多種聚合物基微納米復(fù)合結(jié)構(gòu)的制備方法，例如自乳化法制備微納米多孔結(jié)構(gòu)，自組裝退火法制備納米孔道，溶劑交換法制備納米纖毛結(jié)構(gòu)等，但目前的制備方法和設(shè)備在大批量制備芯片時(shí)會(huì)遇到以下問題：
3、聚合物、光致抗蝕劑和蝕刻雜質(zhì)構(gòu)成了顆粒的大部分；通常，顆粒會(huì)粘附在硅表面，影響后續(xù)芯片的制備效果，以及成品質(zhì)量；光刻膠等污染物與聚合物污染物不同，多為溶劑雜質(zhì)影響芯片的整體清潔程度；還有金屬污染物等等雜質(zhì)，因此芯片上的雜質(zhì)會(huì)根據(jù)上一次的工藝而產(chǎn)生不同的雜質(zhì)，這些雜質(zhì)相對也需要采用不同的清洗方式完成清潔，常規(guī)的清洗裝置過于單一，影響芯片清洗的同時(shí)，還可能對芯片制備的質(zhì)量造成影響。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決上述的技術(shù)問題；本專利技術(shù)提出了一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線。
2、本專利技術(shù)解決其技術(shù)問題所采用
3、反應(yīng)器，所述反應(yīng)器均勻安裝于反應(yīng)設(shè)備頂部，且反應(yīng)器內(nèi)存儲(chǔ)有反應(yīng)溶液；所述反應(yīng)設(shè)備頂部安裝有清洗容器，且清洗容器利用超聲波清洗法對芯片濕法清洗；所述轉(zhuǎn)移裝置底部夾持有框架結(jié)構(gòu)狀的反應(yīng)籃，且反應(yīng)籃內(nèi)均勻安裝有芯片，芯片為豎直放置；所述清洗容器側(cè)壁頂部設(shè)有支撐板，且支撐板上均勻滑動(dòng)連接有噴氣板，噴氣板與支撐板上所設(shè)的電動(dòng)伸縮裝置連接；所述噴氣板上安裝有噴氣組件，噴氣組件通過氣相對芯片干法清潔；
4、擠壓塊，所述擠壓塊設(shè)于支撐板一側(cè)，且擠壓塊截面為三角形；所述反應(yīng)籃中設(shè)有擠壓桿，且擠壓桿通過彈簧滑動(dòng)連接于反應(yīng)籃內(nèi)，所述反應(yīng)籃內(nèi)均勻設(shè)有立桿，且相鄰立桿之間設(shè)有安裝框，芯片安裝于安裝框內(nèi)；所述安裝框的兩側(cè)均設(shè)有轉(zhuǎn)軸，且轉(zhuǎn)軸一端轉(zhuǎn)動(dòng)于立桿上，多個(gè)轉(zhuǎn)軸中靠近擠壓桿的一個(gè)穿過反應(yīng)籃內(nèi)壁與擠壓桿嚙合。
5、優(yōu)選的，所述立桿內(nèi)開設(shè)有液壓腔，且立桿底部設(shè)有吸嘴，清洗容器底部設(shè)有濾棉，吸嘴插入濾棉內(nèi)；所述液壓腔內(nèi)通過彈簧滑動(dòng)連接有液壓塊，液壓塊頂部設(shè)有液壓桿，液壓桿的一端穿過液壓腔內(nèi)壁位于反應(yīng)籃上方；所述立桿一側(cè)均勻設(shè)有噴嘴，且噴嘴傾斜指向芯片；所述清洗容器底部通過彈簧滑動(dòng)連接有卡塊，且截面三角形的卡塊與反應(yīng)籃底部的框架卡合；當(dāng)反應(yīng)籃處于夾持狀態(tài)時(shí)，轉(zhuǎn)移裝置底部通過液壓桿擠壓液壓塊下滑，將液壓腔內(nèi)吸入的溶液排凈；當(dāng)反應(yīng)籃放置于反應(yīng)器內(nèi)時(shí)，液壓塊被彈簧頂至升起，液壓腔通過吸嘴吸入溶液。
6、優(yōu)選的，所述反應(yīng)籃頂部均勻設(shè)有夾持桿，且夾持桿頂部相互連接；所述夾持桿頂部相互連接的部位與轉(zhuǎn)移裝置的夾持組件匹配，多個(gè)視覺模塊的其中一部分設(shè)于噴氣板底部；所述反應(yīng)籃上方設(shè)有升降網(wǎng)格，升降網(wǎng)格滑動(dòng)連接于夾持桿上，且一個(gè)網(wǎng)格下方對應(yīng)一個(gè)芯片，一個(gè)芯片對應(yīng)一個(gè)噴嘴；所述液壓桿頂部與升降網(wǎng)格的底部連接，且升降網(wǎng)格頂部固連有升降桿，升降桿一端位于夾持桿上方。
7、優(yōu)選的，所述立桿遠(yuǎn)離噴嘴的一側(cè)設(shè)有海綿板，且海綿板位于相鄰安裝框之間。
8、優(yōu)選的，所述安裝框兩側(cè)設(shè)有海綿條；當(dāng)干法清潔芯片時(shí)，安裝框轉(zhuǎn)動(dòng)至水平狀態(tài)，海綿條處于豎直狀圍在芯片四周。
9、優(yōu)選的，所述清洗容器內(nèi)設(shè)有隔板，且隔板一側(cè)與清洗容器之間有反應(yīng)籃，另一側(cè)與清洗容器之間設(shè)有擋板；所述擋板的一側(cè)設(shè)有出水口，另一側(cè)設(shè)有抽水口，且反應(yīng)設(shè)備內(nèi)設(shè)有水箱，水箱內(nèi)存儲(chǔ)有清洗溶液，水箱通過管道分別與出水口和抽水口連接。
10、優(yōu)選的，所述安裝框一側(cè)開設(shè)有u形的清潔槽，且清潔槽內(nèi)通過扭簧轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，轉(zhuǎn)動(dòng)桿的數(shù)量為三，兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)桿豎直安裝，一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)桿水平安裝，水平的轉(zhuǎn)動(dòng)桿與豎直的轉(zhuǎn)動(dòng)桿連接，實(shí)現(xiàn)水平的轉(zhuǎn)動(dòng)桿帶動(dòng)豎直的轉(zhuǎn)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)；所述海綿條安裝于轉(zhuǎn)動(dòng)桿表面；當(dāng)海綿條沒入溶液時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)縮入清潔槽內(nèi)；當(dāng)海綿條未沒入溶液時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)伸出清潔槽內(nèi)；所述清洗容器底部設(shè)有齒條，齒條穿過安裝框與清潔槽內(nèi)水平的轉(zhuǎn)動(dòng)桿嚙合。
11、優(yōu)選的，所述清潔槽內(nèi)壁為弧形，且清潔槽開口處遠(yuǎn)離芯片的內(nèi)壁剮蹭海綿條；所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿遠(yuǎn)離海綿條的表面設(shè)有密封塊。
12、優(yōu)選的，所述清洗容器底部安裝有清洗桿，且清洗桿位于相鄰安裝框之間，一個(gè)安裝框?qū)?yīng)一個(gè)清洗桿；所述清洗桿的外圈表面為波浪狀，且清洗桿波浪狀的表面接觸安裝框表面和海綿板。
13、優(yōu)選的，所述支撐板上分別設(shè)有一號(hào)滑槽和二號(hào)滑槽，一號(hào)滑槽靠近頂桿并穿過擠壓塊，二號(hào)滑槽靠近清洗桿。
14、本專利技術(shù)的有益效果如下：
15、1.本專利技術(shù)所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，通過濕法清洗和干法清潔之間的配合，增加芯片清潔措施的同時(shí)，提高清潔效果；另外，在芯片濕法清洗完成上升過程中，還會(huì)再次經(jīng)歷上述干法清潔，然后，通過噴氣組件將芯片上的清洗溶液吹走，并利用清洗溶液被吹走的效果，再次對芯片進(jìn)行清潔，提高清潔效果；而且，噴漆組件噴出設(shè)定溫度的清洗氣體，還能夠加快芯片的干燥和清洗溶液的揮發(fā)，減少清洗所花費(fèi)的時(shí)間，提高芯片制備的效率。
16、2.本專利技術(shù)所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，復(fù)位過程中，芯片的轉(zhuǎn)動(dòng)速度由擠壓桿伸出帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的速度控制，轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速由擠壓桿的伸出速度控制，即擠壓桿在擠壓塊下斜面上的移動(dòng)速度控制，因此控制擠壓桿的下降速度即可控制芯片的轉(zhuǎn)動(dòng)復(fù)位速度，通過芯片的轉(zhuǎn)動(dòng)，去除難以觸及的污垢和顆粒，確保芯片表面的清潔度，從而提高芯片制備的質(zhì)量；在芯片復(fù)位完成后，擠壓桿重新接觸支撐板表面，此時(shí)的芯片保持豎直狀態(tài)進(jìn)入清洗溶液中。
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1.一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，包括反應(yīng)設(shè)備(1)，且反應(yīng)設(shè)備(1)內(nèi)安裝帶有夾持組件的轉(zhuǎn)移裝置(11)、控制模塊(12)和視覺模塊(13)；其特征在于，所述反應(yīng)設(shè)備(1)包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述立桿(32)內(nèi)開設(shè)有液壓腔(35)，且立桿(32)底部設(shè)有吸嘴(36)，清洗容器(15)底部設(shè)有濾棉(37)，吸嘴(36)插入濾棉(37)內(nèi)；所述液壓腔(35)內(nèi)通過彈簧滑動(dòng)連接有液壓塊(38)，液壓塊(38)頂部設(shè)有液壓桿(39)，液壓桿(39)的一端穿過液壓腔(35)內(nèi)壁位于反應(yīng)籃(16)上方；所述立桿(32)一側(cè)均勻設(shè)有噴嘴(4)，且噴嘴(4)傾斜指向芯片；所述清洗容器(15)底部通過彈簧滑動(dòng)連接有卡塊(41)，且截面三角形的卡塊(41)與反應(yīng)籃(16)底部的框架卡合；當(dāng)反應(yīng)籃(16)處于夾持狀態(tài)時(shí)，轉(zhuǎn)移裝置(11)底部通過液壓桿(39)擠壓液壓塊(38)下滑，將液壓腔(35)內(nèi)吸入的溶液排凈；當(dāng)反應(yīng)籃(16)放置于反應(yīng)器(14)內(nèi)時(shí)，液壓塊(38)被彈簧頂至升起，液壓腔(35)通過吸嘴(36)吸入
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述反應(yīng)籃(16)頂部均勻設(shè)有夾持桿(42)，且夾持桿(42)頂部相互連接；所述夾持桿(42)頂部相互連接的部位與轉(zhuǎn)移裝置(11)的夾持組件匹配，多個(gè)視覺模塊(13)的其中一部分設(shè)于噴氣板(21)底部；所述反應(yīng)籃(16)上方設(shè)有升降網(wǎng)格(43)，升降網(wǎng)格(43)滑動(dòng)連接于夾持桿(42)上，且一個(gè)網(wǎng)格下方對應(yīng)一個(gè)芯片，一個(gè)芯片對應(yīng)一個(gè)噴嘴(4)；所述液壓桿(39)頂部與升降網(wǎng)格(43)的底部連接，且升降網(wǎng)格(43)頂部固連有升降桿(44)，升降桿(44)一端位于夾持桿(42)上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述立桿(32)遠(yuǎn)離噴嘴(4)的一側(cè)設(shè)有海綿板(45)，且海綿板(45)位于相鄰安裝框(33)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述安裝框(33)兩側(cè)設(shè)有海綿條(46)；當(dāng)干法清潔芯片時(shí)，安裝框(33)轉(zhuǎn)動(dòng)至水平狀態(tài)，海綿條(46)處于豎直狀圍在芯片四周。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述清洗容器(15)內(nèi)設(shè)有隔板(5)，且隔板(5)一側(cè)與清洗容器(15)之間有反應(yīng)籃(16)，另一側(cè)與清洗容器(15)之間設(shè)有擋板(51)；所述擋板(51)的一側(cè)設(shè)有出水口(52)，另一側(cè)設(shè)有抽水口(53)，且反應(yīng)設(shè)備(1)內(nèi)設(shè)有水箱(54)，水箱(54)內(nèi)存儲(chǔ)有清洗溶液，水箱(54)通過管道分別與出水口(52)和抽水口(53)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述安裝框(33)一側(cè)開設(shè)有U形的清潔槽(6)，且清潔槽(6)內(nèi)通過扭簧轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)，轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)的數(shù)量為三，兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)豎直安裝，一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)水平安裝，水平的轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)與豎直的轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)連接，實(shí)現(xiàn)水平的轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)帶動(dòng)豎直的轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)轉(zhuǎn)動(dòng)；所述海綿條(46)安裝于轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)表面；當(dāng)海綿條(46)沒入溶液時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)縮入清潔槽(6)內(nèi)；當(dāng)海綿條(46)未沒入溶液時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)伸出清潔槽(6)內(nèi)；所述清洗容器(15)底部設(shè)有齒條(62)，齒條(62)穿過安裝框(33)與清潔槽(6)內(nèi)水平的轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)嚙合。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述清潔槽(6)內(nèi)壁為弧形，且清潔槽(6)開口處遠(yuǎn)離芯片的內(nèi)壁剮蹭海綿條(46)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(61)遠(yuǎn)離海綿條(46)的表面設(shè)有密封塊(63)。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述清洗容器(15)底部安裝有清洗桿(64)，且清洗桿(64)位于相鄰安裝框(33)之間，一個(gè)安裝框(33)對應(yīng)一個(gè)清洗桿(64)；所述清洗桿(64)的外圈表面為波浪狀，且清洗桿(64)波浪狀的表面接觸安裝框(33)表面和海綿板(45)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述支撐板(2)上分別設(shè)有一號(hào)滑槽(65)和二號(hào)滑槽(66)，一號(hào)滑槽(65)靠近頂桿并穿過擠壓塊(3)，二號(hào)滑槽(66)靠近清洗桿(64)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，包括反應(yīng)設(shè)備(1)，且反應(yīng)設(shè)備(1)內(nèi)安裝帶有夾持組件的轉(zhuǎn)移裝置(11)、控制模塊(12)和視覺模塊(13)；其特征在于，所述反應(yīng)設(shè)備(1)包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述立桿(32)內(nèi)開設(shè)有液壓腔(35)，且立桿(32)底部設(shè)有吸嘴(36)，清洗容器(15)底部設(shè)有濾棉(37)，吸嘴(36)插入濾棉(37)內(nèi)；所述液壓腔(35)內(nèi)通過彈簧滑動(dòng)連接有液壓塊(38)，液壓塊(38)頂部設(shè)有液壓桿(39)，液壓桿(39)的一端穿過液壓腔(35)內(nèi)壁位于反應(yīng)籃(16)上方；所述立桿(32)一側(cè)均勻設(shè)有噴嘴(4)，且噴嘴(4)傾斜指向芯片；所述清洗容器(15)底部通過彈簧滑動(dòng)連接有卡塊(41)，且截面三角形的卡塊(41)與反應(yīng)籃(16)底部的框架卡合；當(dāng)反應(yīng)籃(16)處于夾持狀態(tài)時(shí)，轉(zhuǎn)移裝置(11)底部通過液壓桿(39)擠壓液壓塊(38)下滑，將液壓腔(35)內(nèi)吸入的溶液排凈；當(dāng)反應(yīng)籃(16)放置于反應(yīng)器(14)內(nèi)時(shí)，液壓塊(38)被彈簧頂至升起，液壓腔(35)通過吸嘴(36)吸入溶液。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述反應(yīng)籃(16)頂部均勻設(shè)有夾持桿(42)，且夾持桿(42)頂部相互連接；所述夾持桿(42)頂部相互連接的部位與轉(zhuǎn)移裝置(11)的夾持組件匹配，多個(gè)視覺模塊(13)的其中一部分設(shè)于噴氣板(21)底部；所述反應(yīng)籃(16)上方設(shè)有升降網(wǎng)格(43)，升降網(wǎng)格(43)滑動(dòng)連接于夾持桿(42)上，且一個(gè)網(wǎng)格下方對應(yīng)一個(gè)芯片，一個(gè)芯片對應(yīng)一個(gè)噴嘴(4)；所述液壓桿(39)頂部與升降網(wǎng)格(43)的底部連接，且升降網(wǎng)格(43)頂部固連有升降桿(44)，升降桿(44)一端位于夾持桿(42)上方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述立桿(32)遠(yuǎn)離噴嘴(4)的一側(cè)設(shè)有海綿板(45)，且海綿板(45)位于相鄰安裝框(33)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)化制備微納復(fù)合結(jié)構(gòu)芯片流水線，其特征在于：所述安裝框(33)兩側(cè)設(shè)有海綿條(46)；當(dāng)干法清潔芯片時(shí)，安裝...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：孟靖昕，王樹濤，包寒，付有，
申請(專利權(quán))人：中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所，
類型：發(fā)明
國別省市：
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