【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)屬于激光切割，具體涉及一種用于綠光切割的保護(hù)液及其制備方法與用途。
技術(shù)介紹
1、半導(dǎo)體晶圓切割過(guò)程中常用到的幾種光源為紅光、紫光、綠光等。其中，綠光波長(zhǎng)在紅光和紫光之間，它的光斑很小，焦距更短，屬于冷加工模式，在精密切割加工方面有著不可代替的作用。當(dāng)前用于切割的保護(hù)液多為吸收紫光波長(zhǎng)的保護(hù)液，對(duì)綠光的波長(zhǎng)并無(wú)明顯吸收，導(dǎo)致采用綠光切割后的晶圓熱影響區(qū)域較大，甚至?xí)绊懶酒砻妫蟠蠼档途A切割良率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、申請(qǐng)目的：本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N用于綠光切割的保護(hù)液及其制備方法與用途，提高半導(dǎo)體制造過(guò)程中的良品率和生產(chǎn)率。
2、技術(shù)方案：本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N用于綠光切割的保護(hù)液，以質(zhì)量份計(jì)，包括如下組分：20-40份的水溶性樹(shù)脂，0.25-0.5份的綠光吸收劑，50-100份的溶劑；
3、其中，所述水溶性樹(shù)脂包括水溶性聚酯和聚苯乙烯磺酸鈉；
4、所述綠光吸收劑包括誘惑紅和紫膠酸。
5、在一些實(shí)施例中，所述水溶性聚酯和所述聚苯乙烯磺酸鈉的質(zhì)量比為(2-5):1。
6、在一些實(shí)施例中，所述水溶性聚酯的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為42-58℃；和/或
7、所述水溶性聚酯的數(shù)均分子量為7000-12000；和/或
8、所述聚苯乙烯磺酸鈉的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為40-50℃；和/或
9、所述聚苯乙烯磺酸鈉的數(shù)均分子量為3000-4000。
10、在一些實(shí)施例中，所述水溶性聚酯選自ew100g、ew100
11、在一些實(shí)施例中，所述水溶性聚酯為含有苯環(huán)、酯基的水溶型飽和聚酯樹(shù)脂；
12、所述水溶型飽和聚酯樹(shù)脂選自韓國(guó)sk飽和聚酯樹(shù)脂skybon?ew100g、sk?ew100q、sk?ew210、sk?ew100d中的至少一種。
13、在一些實(shí)施例中，所述誘惑紅和所述紫膠酸的質(zhì)量比為(1-4):1。
14、在一些實(shí)施例中，所述紫膠酸選自紫膠酸a、紫膠酸b、紫膠酸c、紫膠酸e中的至少一種；或者
15、所述綠光吸收劑用于吸收波長(zhǎng)為500-600nm的光。
16、在一些實(shí)施例中，所述溶劑選自去離子水、甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、叔丁醇、異丁醇、乙醚、甲基乙基醚、二正丁醚、丙二醇甲醚、乙二醇丙醚、乙二醇丁醚中的至少一種。
17、在一些實(shí)施例中，所述溶劑由去離子水與乙二醇丁醚組成；其中，所述去離子水和所述乙二醇丁醚的質(zhì)量比為(30-90):(5-40)。
18、在一些實(shí)施例中，本申請(qǐng)還提供一種用于綠光切割的保護(hù)液的制備方法，包括以下步驟：
19、分別稱取20-40份的水溶性樹(shù)脂，0.25-0.5份的綠光吸收劑和50-100份的溶劑；
20、將水溶性樹(shù)脂、綠光吸收劑和溶劑混合，在40-50℃下以200-500rpm的速度攪拌1-5h，得到用于綠光切割的保護(hù)液；
21、其中，所述水溶性樹(shù)脂包括水溶性聚酯和聚苯乙烯磺酸鈉；所述綠光吸收劑包括誘惑紅和紫膠酸。
22、在一些實(shí)施例中，本申請(qǐng)還提供一種用于綠光切割的保護(hù)液在半導(dǎo)體晶圓激光切割和/或等離子切割制程中的用途。
23、有益效果：本申請(qǐng)的一種用于綠光切割的保護(hù)液，以質(zhì)量份計(jì)，包括如下組分：20-40份的水溶性樹(shù)脂，0.25-0.5份的綠光吸收劑，50-100份的溶劑；其中，水溶性樹(shù)脂包括水溶性聚酯和聚苯乙烯磺酸鈉；綠光吸收劑包括誘惑紅和紫膠酸。本申請(qǐng)的水溶性樹(shù)脂采用水溶性聚酯和聚苯乙烯磺酸鈉的組合，不容易被刻蝕，刻蝕選擇比高，可以在保護(hù)膜層損失最少的情況下，滿足基材需要的刻蝕深度；聚苯乙烯磺酸鈉較高的溶解度有助于提高樹(shù)脂固含量，提高膜層厚度，提高保護(hù)液的穩(wěn)定性；此外，綠光吸收劑采用誘惑紅和紫膠酸的組合，可保證溶液穩(wěn)定性以及綠光吸收劑的光穩(wěn)定性。并同時(shí)提高吸收劑添加量，提高吸光度。
24、可以理解的是，本申請(qǐng)實(shí)施例提供的用于綠光切割的保護(hù)液的制備方法和用途等都具有上述保護(hù)液的所有技術(shù)特征以及有益效果，在此不再贅述。
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1.一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，以質(zhì)量份計(jì)，包括如下組分：20-40份的水溶性樹(shù)脂，0.25-0.5份的綠光吸收劑，50-100份的溶劑；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述水溶性聚酯和所述聚苯乙烯磺酸鈉的質(zhì)量比為(2-5):1。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述水溶性聚酯的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為42-58℃；和/或
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述水溶性聚酯選自EW100G、EW100Q、EW210、EW100D中的至少一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述誘惑紅和所述紫膠酸的質(zhì)量比為(1-4):1。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述紫膠酸選自紫膠酸A、紫膠酸B、紫膠酸C、紫膠酸E中的至少一種；或者
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述溶劑選自去離子水、甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、叔丁醇、異丁醇、乙
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述溶劑由去離子水與乙二醇丁醚組成；其中，所述去離子水和所述乙二醇丁醚的質(zhì)量比為(30-90):(5-40)。
9.一種用于綠光切割的保護(hù)液的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
10.一種權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)所述的用于綠光切割的保護(hù)液在半導(dǎo)體晶圓激光切割和/或等離子切割制程中的用途。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，以質(zhì)量份計(jì)，包括如下組分：20-40份的水溶性樹(shù)脂，0.25-0.5份的綠光吸收劑，50-100份的溶劑；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述水溶性聚酯和所述聚苯乙烯磺酸鈉的質(zhì)量比為(2-5):1。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述水溶性聚酯的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度為42-58℃；和/或
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述水溶性聚酯選自ew100g、ew100q、ew210、ew100d中的至少一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于綠光切割的保護(hù)液，其特征在于，所述誘惑紅和所述紫膠酸的質(zhì)量比為(1-4):1。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：褚雨露，侯軍，馬超男，張楠，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：浙江奧首材料科技有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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