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    光接收元件和光檢測裝置制造方法及圖紙

    技術編號:44501371 閱讀:4 留言:0更新日期:2025-03-04 18:10
    本發明專利技術的目的是提供一種能夠提高位于光接收像素周圍的遮光像素的輸出信號中包括的顏色混合分量的測量精度的光接收元件。使外圍像素區域具有特定像素組,所述特定像素組包括光接收像素和包圍光接收像素的遮光像素。使與特定像素組的光接收像素和遮光像素相對應的第一導電型區域具有比與位于有效像素區域中的有效像素相對應的第一導電型區域更低的第一導電型雜質濃度。因此,由于特定像素組(光接收像素、遮光像素)的第一導電型雜質的濃度低,因此可以削弱pn結強度,并且可以抑制光接收像素和遮光像素中的暗電流。因此,可以降低遮光像素的輸出信號中包含的噪聲,并且可以提高遮光像素的輸出信號中包括的顏色混合分量的測量精度。

    【技術實現步驟摘要】
    【國外來華專利技術】

    本公開涉及光接收元件和光檢測裝置


    技術介紹

    1、在相關技術中,已經提出了一種光接收元件,其包括多個像素,各像素具有包括硅半導體的光電轉換器,并且多個像素中有效像素區域外部的區域中的像素包括遮光像素和相鄰像素都是遮光像素的光接收像素(例如,參見專利文獻1)。在專利文獻1公開的光接收元件中,測量遮光像素的輸出信號中包含的顏色混合分量,并且基于測量結果校正有效像素的輸出信號。

    2、引用文獻列表

    3、專利文件

    4、專利文獻1:日本專利申請特開第2011-66801號


    技術實現思路

    1、專利技術要解決的技術問題

    2、然而,在將專利文獻1公開的技術直接應用于具有包括化合物半導體的光電轉換器的光接收元件的情況下,顏色混合分量的測量精度降低,并且存在即使基于測量結果校正了有效像素的輸出信號,也無法如預期地提高拍攝圖像的圖像質量。

    3、因此,本公開的目的是提供一種能夠提高遮光像素的輸出信號中包含的顏色混合分量的測量精度的光接收元件和光檢測裝置。

    4、技術問題的解決方案

    5、本公開的光接收元件包括:(a)多個像素,其具有包括化合物半導體的共用光電轉換層;和(b)接觸層,其布置在所述光電轉換層的與光入射面相對的表面上的,其中(c)所述接觸層包括相對于所述多個像素以一對一的方式形成的多個第一導電型區域和作為除了所述第一導電型區域之外的區域的第二導電型區域,并且(d)位于布置有所述像素的像素區域中有效像素區域的外部的外圍像素區域包括特定像素組,所述特定像素組包括光接收像素和布置為包圍所述光接收像素的遮光像素,與所述特定像素組的所述光接收像素和所述遮光像素相對應的所述第一導電型區域的第一導電型雜質的濃度比與位于所述有效像素區域中的有效像素相對應的所述第一導電型區域的低。

    6、本公開的光檢測裝置包括:光接收元件,其包括(a)具有包括化合物半導體的共用光電轉換層的多個像素,以及(b)布置在所述光電轉換層的與光入射面相對的表面上的接觸層,(c)所述接觸層包括相對于所述多個像素以一對一的方式形成的多個第一導電型區域和作為除了所述第一導電型區域之外的區域的第二導電型區域,并且(d)位于布置有所述像素的像素區域中有效像素區域之外的外圍像素區域包括特定像素組,所述特定像素組包括光接收像素和布置為包圍所述光接收像素的遮光像素,與所述特定像素組的所述光接收像素和所述遮光像素相對應的所述第一導電型區域的第一導電型雜質的濃度比與所述有效像素區域中的有效像素相對應的所述第一導電型區域的低;(e)顏色混合參數生成單元,其基于所述特定像素組的所述光接收像素和所述遮光像素的輸出信號,生成用于從位于所述光接收元件的所述有效像素區域中的有效像素的各個輸出信號減少從其他有效像素移動的電荷的影響的顏色混合參數;以及(f)輸出信號校正單元,其根據由所述顏色混合參數生成單元生成的所述顏色混合參數來校正所述有效像素的各個輸出信號。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種光接收元件,包括:

    2.根據權利要求1所述的光接收元件,包括:

    3.根據權利要求1所述的光接收元件,其中

    4.根據權利要求3所述的光接收元件,其中

    5.根據權利要求1所述的光接收元件,其中,所述外圍像素區域包括用于獲得光學黑電平的基準信號的OPB像素,所述OPB像素是不同于所述光接收像素和所述遮光像素的所述像素,并且與所述OPB像素相對應的所述第一導電型區域的第一導電型雜質的濃度和與所述有效像素相對應的所述第一導電型區域的第一導電型雜質的濃度相同。

    6.根據權利要求1所述的光接收元件,

    7.一種光檢測裝置,包括:

    8.根據權利要求7所述的光檢測裝置,

    9.根據權利要求8所述的光檢測裝置,

    10.根據權利要求8所述的光檢測裝置,

    11.根據權利要求7所述的光檢測裝置,

    12.根據權利要求7所述的光檢測裝置,

    13.根據權利要求7所述的光檢測裝置,包括:

    【技術特征摘要】
    【國外來華專利技術】

    1.一種光接收元件,包括:

    2.根據權利要求1所述的光接收元件,包括:

    3.根據權利要求1所述的光接收元件,其中

    4.根據權利要求3所述的光接收元件,其中

    5.根據權利要求1所述的光接收元件,其中,所述外圍像素區域包括用于獲得光學黑電平的基準信號的opb像素,所述opb像素是不同于所述光接收像素和所述遮光像素的所述像素,并且與所述opb像素相對應的所述第一導電型區域的第一導電型雜質的濃度和與所述有效像素相...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:中川遙之
    申請(專利權)人:索尼半導體解決方案公司
    類型:發明
    國別省市:

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