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    FinFET工藝的布線軌道網格生成方法及相關設備技術

    技術編號:44505316 閱讀:3 留言:0更新日期:2025-03-07 13:03
    本申請公開了一種FinFET工藝的布線軌道網格生成方法及相關設備,涉及EDA軟件領域,該方法包括:將與FinFET的目標布線層相鄰的各個布線層的默認網格投影至目標布線層,以得到目標布線層的備選網格;獲取目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和目標布線層的備選網格的設計檢查規則評估值;根據目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和目標布線層的備選網格設計檢查規則評估值,從目標布線層的默認網格和備選網格中獲取目標布線層的布線軌道網格。

    【技術實現步驟摘要】

    本說明書涉及eda軟件領域,更具體地說,涉及一種finfet工藝的布線軌道網格生成方法及相關設備。


    技術介紹

    1、隨著集成電路技術的發展,芯片設計朝著更高密度、更小尺寸的方向發展。特別是在finfet(fin?field-effect?transistor,鰭式場效應晶體管)工藝中,由于三維結構的引入,多層金屬布線成為設計中的核心環節。在這一過程中,布線層的設計顯得尤為關鍵,它用于在芯片內部連接晶體管、邏輯單元等元件,實現完整電路的功能。

    2、每個布線層由金屬導線組成,導線通過過孔(via)連接不同層次的布線層。在finfet工藝中,多重掩膜技術和高密度布線需求使得布線層的設計規則更加嚴格,在多層布線的場景下,傳統的二維軌道網格往往無法高效處理跨層布線的復雜性的問題?,F有布線方法主要基于目標布線層的單層網格生成,缺乏多層次的網格信息整合,導致路徑選擇的局限性。

    3、因此,有必要提出一種finfet工藝的布線軌道網格生成方法及相關設備,以至少解決上述部分問題。


    技術實現思路

    1、在
    技術實現思路
    部分中引入了一系列簡化形式的概念,這將在具體實施方式部分中進一步詳細說明。本申請的
    技術實現思路
    部分并不意味著要試圖限定出所要求保護的技術方案的關鍵特征和必要技術特征,更不意味著試圖確定所要求保護的技術方案的保護范圍。

    2、第一方面,本申請提出一種finfet工藝的布線軌道網格生成方法,包括:

    3、將與finfet的目標布線層相鄰的各個布線層的默認網格投影至上述目標布線層,以得到上述目標布線層的備選網格;

    4、獲取上述目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和上述目標布線層的備選網格的設計檢查規則評估值;

    5、根據上述目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和上述目標布線層的備選網格設計檢查規則評估值,從上述目標布線層的默認網格和備選網格中獲取上述目標布線層的布線軌道網格。

    6、在一種可行的實施方式中,上述從上述目標布線層的默認網格和備選網格中獲取上述目標布線層的布線軌道網格,包括:

    7、根據全局最優策略,從上述目標布線層的備用選網格中篩選出上述目標布線層的可用備選網格;

    8、根據上述目標布線層的默認網格和上述可用備選網格,獲得上述目標布線層的布線軌道網格。

    9、在一種可行的實施方式中,上述獲取上述目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和上述目標布線層的備選網格的設計檢查規則評估值,包括:

    10、根據預測算法和目標布線層的布線設計規則,獲取上述目標布線層中每個默認網格的網格節點的設計檢查規則評估值;

    11、根據所述預測算法和所述目標布線層的相鄰布線設計規則,獲取上述目標布線層中每個備選網格的網格節點的設計檢查規則評估值;

    12、其中,上述預測算法包括啟發式算法、機器學習算法和最大似然估計中一種或多種,上述布線設計檢查規則包括短路規則、平行走線長度規則、回環規則和多重掩膜技術的特殊規則中的一種或多種。

    13、在一種可行的實施方式中,上述方法還包括:

    14、獲取上述目標布線層的布線參數信息;

    15、根據上述目標布線層的布線參數信息,建立上述目標布線層的預設網格;

    16、基于上述目標布線層的預設網格和上述目標布線層的標準單元的參考坐標進行對齊操作,以生成上述目標布線層的默認網格。

    17、在一種可行的實施方式中,上述方法還包括:

    18、在三維空間中建立上述目標布線層的布線軌道數組;

    19、通過上述布線軌道數組執行生成上述當前布線層的備選網格、獲取當前布線層的可用備選網格和確定當前布線層的可用布線網格的步驟,其中,上述布線軌道數組包括邏輯節點、物理節點、邊、默認方向、自定義方向和設計檢查規則評估值,上述邏輯節點為布線軌道網格中的抽象點,上述物理節點為邏輯節點在實際金屬層上的映射點,上述邊為連接兩個節點的布線路徑,上述默認方向為布線層的默認網格對應的方向、上述自定義方向為上述布線層的備選網格,上述設計檢查規則評估值為上述邏輯節點在六個自由度方向上對應的六個設計檢查規則評估值。

    20、在一種可行的實施方式中,上述方法還包括:

    21、根據finfet工藝文件確定布線工藝;

    22、基于上述布線工藝確定待生成網格的維度信息;

    23、在上述待生成網格的維度信息為三維的情況下,生成投影控制指令,其中,上述投影控制指令用于觸發執行上述將與finfet的目標布線層相鄰的各個布線層的默認網格投影至上述目標布線層的操作。

    24、在一種可行的實施方式中,上述方法還包括:

    25、獲取上述finfet各布線層的軌道網格之間的線距差異信息;

    26、基于多目標優化算法和上述線距差異信息對上述目標布線層的布線軌道網格進行優化,以得到上述目標布線層的優化后布線軌道網格。

    27、第二方面、本申請提出一種finfet工藝的布線軌道網格生成裝置,包括:

    28、投影單元,用于將與finfet的目標布線層相鄰的各個布線層的默認網格投影至上述目標布線層,以得到上述目標布線層的備選網格;

    29、第一獲取單元,用于獲取上述目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和上述目標布線層的備選網格的設計檢查規則評估值;

    30、第二獲取單元,用于根據上述目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和上述目標布線層的備選網格設計檢查規則評估值,從上述目標布線層的默認網格和備選網格中獲取上述目標布線層的布線軌道網格。

    31、第三方面,一種電子設備,包括:存儲器、處理器以及存儲在上述存儲器中并可在上述處理器上運行的計算機程序,上述處理器用于執行存儲器中存儲的計算機程序時實現如上述的第一方面任一項的finfet工藝的布線軌道網格生成方法的步驟。

    32、第四方面,本申請還提出一種計算機可讀存儲介質,其上存儲有計算機程序,上述計算機程序被處理器執行時實現第一方面任一項的finfet工藝的布線軌道網格生成方法。

    33、綜上,本方法通過將相鄰層的默認網格投影到目標布線層,生成了備選網格,相鄰層的默認網格與目標布線層的默認網格一起為布線算法提供多樣化路徑選擇,顯著提高布線資源的利用率。通過設計檢查規則評估值剔除高風險節點,最終生成的布線軌道網格具有更高的設計可靠性,減少了違規問題。通過相鄰層和目標布線層的默認網格的投影和整合,實現了跨層布線路徑的優化,確保布線軌道的連貫性和規則一致性,特別適用于多層布線的復雜場景。本方法通過在生成軌道網格時預先整合多層次的信息和規則評估,大幅減少了布線算法的求解空間,從而提升了算法的效率。finfet工藝由于其三維結構特點,對布線軌道網格的生成提出了更高要求。本方法通過多層次信息的整合和優化,滿足了finfet工藝對高密度布線的設計需求。

    本文檔來自技高網...

    【技術保護點】

    1.一種FinFET的布線軌道網格生成方法,其特征在于,包括:

    2.如權利要求1所述的FinFET的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述從所述目標布線層的默認網格和備選網格中獲取所述目標布線層的布線軌道網格,包括:

    3.根據權利要求1所述的FinFET的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述獲取所述目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和所述目標布線層的備選網格的設計檢查規則評估值,包括:

    4.根據權利要求2所述的FinFET的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述方法還包括:

    5.根據權利要求1所述的FinFET的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述方法還包括:

    6.根據權利要求1所述的FinFET的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述方法還包括:

    7.根據權利要求1所述的FinFET的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述方法還包括:

    8.一種FinFET工藝的布線軌道網格生成裝置,其特征在于,包括:

    9.一種電子設備,包括:存儲器和處理器,其特征在于,所述處理器用于執行存儲器中存儲的計算機程序時實現如權利要求1-7中任一項所述的FinFET的布線軌道網格生成方法的步驟。

    10.一種計算機可讀存儲介質,其上存儲有計算機程序,其特征在于,所述計算機程序被處理器執行時實現如權利要求1-7中任一項所述的FinFET的布線軌道網格生成方法的步驟。

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    【技術特征摘要】

    1.一種finfet的布線軌道網格生成方法,其特征在于,包括:

    2.如權利要求1所述的finfet的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述從所述目標布線層的默認網格和備選網格中獲取所述目標布線層的布線軌道網格,包括:

    3.根據權利要求1所述的finfet的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述獲取所述目標布線層的默認網格的設計檢查規則評估值和所述目標布線層的備選網格的設計檢查規則評估值,包括:

    4.根據權利要求2所述的finfet的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述方法還包括:

    5.根據權利要求1所述的finfet的布線軌道網格生成方法,其特征在于,所述方法還包括:

    ...

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:劉丹
    申請(專利權)人:北京湯谷軟件技術有限公司,
    類型:發明
    國別省市:

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