【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)屬于研磨液，具體涉及一種碳化硅襯底晶片用研磨液及其制備方法。
技術(shù)介紹
1、碳化硅晶片是第三代半導(dǎo)體材料，在新能源領(lǐng)域、通訊領(lǐng)域和軍工國(guó)防領(lǐng)域具有舉足輕重的地位，而在碳化硅晶片的加工過程中，研磨液是其中重要的輔助材料，金剛石研磨液由磨粒分散于介質(zhì)制備而成，是一種具有優(yōu)良化學(xué)機(jī)械性能的研磨產(chǎn)品，可用于硅片、工程陶瓷、化合物晶體、精密光學(xué)器件、液晶面板、寶石、金屬工件等的研磨拋光，而現(xiàn)有的研磨液在長(zhǎng)時(shí)間放置后容易產(chǎn)生沉降的現(xiàn)象，并且不便于將研磨產(chǎn)生的廢屑排出。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為解決上述
技術(shù)介紹
中提出的問題。本專利技術(shù)提供了一種碳化硅襯底晶片用研磨液及其制備方法，具有能夠保證該研磨液長(zhǎng)時(shí)間放置不產(chǎn)生沉降的現(xiàn)象，以及便于研磨產(chǎn)生的廢屑排出的特點(diǎn)。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)提供如下技術(shù)方案：一種碳化硅襯底晶片用研磨液，包括以下重量份數(shù)的組分原料：金剛石微粉5-12份；純水35-80份；懸浮劑15-25份；分散劑10-18份；乳化劑5-10份；潤(rùn)滑劑15-20份；消泡劑0.5-2份。
3、作為本專利技術(shù)的進(jìn)一步方案：所述金剛石微粉為單晶金剛石微粉、類多晶金剛石微粉或多晶金剛石微粉中的一種或幾種的混合，且直徑小于30微米。
4、作為本專利技術(shù)的進(jìn)一步方案：所述純水通過反滲透法制備而成，所述潤(rùn)滑劑為二甘醇、異丙醇、烯丙基乙二醇中的一種或多種的混合物。
5、作為本專利技術(shù)的進(jìn)一步方案：所述分散劑為聚丙烯酸酯、聚丙烯酸鹽、聚羧酸鹽、嵌
6、作為本專利技術(shù)的進(jìn)一步方案：所述乳化劑為烷基酚聚氧乙烯醚、高碳脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯中的一種或多種的混合物。
7、作為本專利技術(shù)的進(jìn)一步方案：所述懸浮劑為聚氧乙烯烷基胺、聚氧乙烯烷基醇酰胺、聚炔醇或脂肪醇聚醚中的一種或多種的混合物。
8、一種碳化硅襯底晶片用研磨液及其制備方法，包括如下步驟：
9、步驟一：將金剛石微粉和純水中注入超聲波分散儀的內(nèi)部進(jìn)行攪拌形成混合液1；
10、步驟二：將步驟一制取的混合液1投放在600目孔徑的篩網(wǎng)上進(jìn)行過濾得到混合液2；
11、步驟三：將分散劑和懸浮劑中注入超聲波分散儀的內(nèi)部進(jìn)行攪拌形成混合液3；
12、步驟四：將潤(rùn)滑劑和乳化劑中注入超聲波分散儀的內(nèi)部進(jìn)行攪拌形成混合液4；
13、步驟五：將混合液2、混合液3和混合液4和消泡劑依次入超聲波分散儀的內(nèi)部進(jìn)行攪拌形成研磨液。
14、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本專利技術(shù)的有益效果是：
15、1、本專利技術(shù)，通過采用分散劑和懸浮劑，當(dāng)工作人員在對(duì)碳化硅襯底晶片用的研磨液進(jìn)行制備的過程中，在分散劑和懸浮劑的配合下，能夠防止顆粒的沉降和凝聚，形成安定懸浮液所需的兩親性試劑，從而能夠保證該研磨液長(zhǎng)時(shí)間放置不產(chǎn)生沉降的現(xiàn)象。
16、2、本專利技術(shù)，通過采用潤(rùn)滑劑和乳化劑，當(dāng)工作人員在對(duì)碳化硅襯底晶片用的研磨液進(jìn)行制備的過程中，在潤(rùn)滑劑和乳化劑的配合下，能夠提高該研磨液的潤(rùn)滑性，并且易于清洗便于研磨產(chǎn)生的廢屑排出，從而能夠保證加工工件高的表面光潔度。
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1.一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：包括以下重量份數(shù)的組分原料：金剛石微粉5-12份；純水35-80份；懸浮劑15-25份；分散劑10-18份；乳化劑5-10份；潤(rùn)滑劑15-20份；消泡劑0.5-2份。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：所述金剛石微粉為單晶金剛石微粉、類多晶金剛石微粉或多晶金剛石微粉中的一種或幾種的混合，且直徑小于30微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：所述純水通過反滲透法制備而成，所述潤(rùn)滑劑為二甘醇、異丙醇、烯丙基乙二醇中的一種或多種的混合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：所述分散劑為聚丙烯酸酯、聚丙烯酸鹽、聚羧酸鹽、嵌段磷酸酯聚合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：所述乳化劑為烷基酚聚氧乙烯醚、高碳脂肪醇聚氧乙烯醚、脂肪酸聚氧乙烯酯中的一種或多種的混合物。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：所述懸浮劑為聚氧乙烯烷基胺、聚氧乙烯烷
7.一種如權(quán)利要求1-7任一所述的碳化硅襯底晶片用研磨液的制備方法，其特征在于：包括如下步驟：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：包括以下重量份數(shù)的組分原料：金剛石微粉5-12份；純水35-80份；懸浮劑15-25份；分散劑10-18份；乳化劑5-10份；潤(rùn)滑劑15-20份；消泡劑0.5-2份。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：所述金剛石微粉為單晶金剛石微粉、類多晶金剛石微粉或多晶金剛石微粉中的一種或幾種的混合，且直徑小于30微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅襯底晶片用研磨液，其特征在于：所述純水通過反滲透法制備而成，所述潤(rùn)滑劑為二甘醇、異丙醇、烯丙基乙二醇中的一種或多種的混合物。
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王來福，王志強(qiáng)，羅俊，李龍飛，馬飛躍，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：河南省惠豐金剛石有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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