【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及一種將從蝕刻裝置、cvd裝置等半導體制造裝置的處理腔室排出的廢氣移送至除害反應器的流路系統，尤其是涉及一種具有流路切換功能的流路系統。
技術介紹
1、在制造半導體器件、液晶面板、led等的半導體制造過程中，將處理氣體導入真空的處理腔室內，進行蝕刻處理、cvd處理等各種處理。處理腔室和與處理腔室連接的排氣系統設備通過使清潔氣體流過而定期地進行清洗。這些處理氣體、清潔氣體等廢氣含有硅烷系氣體、鹵素氣體、pfc氣體等，可能對人體產生不良影響，或成為全球變暖的原因等而對地球環境產生不良影響，不能直接向大氣放出。因此，這些廢氣在通過設置于半導體制造裝置的下游側的除害反應器進行無害化處理后釋放至大氣中。
2、圖8是表示用于從半導體制造裝置的處理腔室向除害反應器輸送廢氣的流路系統的一例的示意圖。處理氣體、清潔氣體等廢氣從處理腔室400通過未圖示的真空泵被排出，通過廢氣移送管500送往除害反應器510。在廢氣移送管500配置有由球閥構成的三通閥501。該三通閥501的入口505和第一出口506與廢氣移送管500連接，三通閥501的第二出口507與繞過除害反應器510的旁通管502連接。三通閥501的閥芯508以使入口505與第一出口506或第二出口507中的任一方連通的方式進行動作。
3、當除害反應器510正常動作時，如圖8所示，三通閥501的入口505與第一出口506連通，廢氣通過三通閥501被送往除害反應器510。另一方面，在除害反應器510發生了嚴重故障時或者除害反應器510停止時，如圖9所示，操作三
4、現有技術文獻
5、專利文獻
6、專利文獻1：日本特開2022-170680號公報
7、專利技術所要解決的技術問題
8、用于半導體制造工序的處理氣體、清潔氣體有時形成作為升華性生成物的粉體(例如sio2)。當廢氣中的粉體堆積在三通閥501的閥芯508時，三通閥501的閥芯508有時不能正常動作，或者三通閥501的密封性受到損害。尤其是，當閥芯508旋轉時，形成于閥芯508內的流路通過密封面，因此粉體容易夾在閥芯508與密封面之間，有失去密封性的擔憂。其結果是，有廢氣的一部分沒有被送往除害反應器510，通過旁通管502而向大氣放出的擔憂。
9、為了防止升華性生成物的堆積，有通過在三通閥501安裝夾套加熱器，將三通閥501的內部升溫至升華溫度以上(例如200℃)的情況。然而，升華溫度以上的高溫與常溫之間的溫度變化有使三通閥501的樹脂制、橡膠制的密封部件因受熱歷程而收縮，無法確保必要的密封面壓，而產生廢氣的泄漏的擔憂。
技術實現思路
1、因此，本專利技術提供一種能夠防止送往除害反應器的廢氣的泄漏并確保安全性的流路系統。
2、用于解決技術問題的技術手段
3、在一方式中，提供一種流路系統，具備：廢氣移送管，該廢氣移送管用于將廢氣移送至除害反應器；第一二通閥，該第一二通閥安裝于所述廢氣移送管；旁通管，該旁通管在所述第一二通閥的上游側的位置從所述廢氣移送管分支，繞過所述除害反應器；以及第二二通閥，該第二二通閥安裝于所述旁通管，所述第一二通閥和所述第二二通閥是所述廢氣的流路沿縱向延伸的縱向放置狀態。
4、在一方式中，所述廢氣移送管具有沿縱向延伸的縱區間，所述旁通管具有向上方延伸的上升區間，所述第一二通閥配置于所述縱區間，所述第二二通閥配置于所述上升區間。
5、在一方式中，所述第二二通閥位于比所述第一二通閥高的位置。
6、在一方式中，所述流路系統還具備非活性氣體供給線路，該非活性氣體供給線路向所述旁通管內供給非活性氣體，所述非活性氣體供給線路在所述第二二通閥的下方的位置與所述旁通管連結。
7、在一方式中，所述流路系統還具備加熱裝置，該加熱裝置加熱所述非活性氣體供給線路內的所述非活性氣體。
8、在一方式中，所述第一二通閥和所述第二二通閥分別是球閥。
9、專利技術的效果
10、根據本專利技術，不使用三通閥，而使用第一二通閥和第二二通閥的組合。由于第一二通閥和第二二通閥是廢氣的流路沿縱向延伸的縱向放置狀態，因此廢氣中的粉體(例如sio2)難以堆積在第一二通閥和第二二通閥內，能夠維持第一二通閥和第二二通閥的正常的動作。尤其是，廢氣中的粉體難以到達第二二通閥。其結果是，能夠防止廢氣從第一二通閥和第二二通閥的泄漏并確保安全性。
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1.一種流路系統，其特征在于，具備：
2.根據權利要求1所述的流路系統，其特征在于，
3.根據權利要求1所述的流路系統，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的流路系統，其特征在于，
5.根據權利要求4所述的流路系統，其特征在于，
6.根據權利要求1所述的流路系統，其特征在于，
【技術特征摘要】
1.一種流路系統，其特征在于，具備：
2.根據權利要求1所述的流路系統，其特征在于，
3.根據權利要求1所述的流路系統，其特征在于，
【專利技術屬性】
技術研發人員：青柳諒，宮崎一知，松島圭亮，
申請(專利權)人：株式會社荏原制作所，
類型：發明
國別省市：
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