【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及一種平磨一體機(jī)，尤其涉及一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)。
技術(shù)介紹
1、目前，碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料，因其高硬度、化學(xué)穩(wěn)定性和一定的韌性在各類領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，市場(chǎng)需求量大。
2、現(xiàn)有碳化硅工件在進(jìn)行滾磨、平磨、磨面刻槽和晶向檢測(cè)時(shí)，大多都需要使用單獨(dú)的設(shè)備進(jìn)行處理，因此需要配齊多臺(tái)設(shè)備，這導(dǎo)致占地空間大，且多種設(shè)備提高了人工操作的難度和維護(hù)成本；此外，碳化硅工件的每一步處理都需要進(jìn)行裝夾和定位，而每次不同設(shè)備的裝夾都有一定的累計(jì)誤差，人工干預(yù)次數(shù)多，從而影響加工精度和加工效率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決相關(guān)技術(shù)中的問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，解決了多種設(shè)備無(wú)法集成于一體、多次裝夾累計(jì)多次誤差從而影響加工精度的問(wèn)題。
2、技術(shù)方案如下：
3、一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，包括床身，其特點(diǎn)是，所述床身上設(shè)置有立柱，立柱一側(cè)的所述床身上有用于固定工件的主軸機(jī)構(gòu)，所述立柱的側(cè)壁面上設(shè)置有用于檢測(cè)晶向的定向儀，所述床身上有用于驅(qū)動(dòng)所述主軸機(jī)構(gòu)移動(dòng)至所述定向儀的調(diào)整機(jī)構(gòu)，且所述主軸機(jī)構(gòu)沿所述床身的寬度方向移動(dòng)；
4、所述立柱的另一側(cè)壁面上滑動(dòng)設(shè)置有進(jìn)給機(jī)構(gòu)，所述立柱上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)沿所述床身長(zhǎng)度方向移動(dòng)的第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)；
5、所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)中遠(yuǎn)離所述定向儀的側(cè)壁面上滑動(dòng)設(shè)置有第一滑板，且所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)所述第一滑板升降的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)；
6、所述第一滑板的一端固定設(shè)置有滾磨機(jī)構(gòu)，滾
7、通過(guò)上述技術(shù)方案，通過(guò)滾磨機(jī)構(gòu)、平磨機(jī)構(gòu)、刻槽機(jī)構(gòu)和定向儀均集成于進(jìn)給機(jī)構(gòu)上這一設(shè)置，這使本裝置集多種加工設(shè)備于一體，進(jìn)而可以通過(guò)本裝置對(duì)工件進(jìn)行滾磨、平磨、刻槽和晶向檢測(cè)操作，從而降低占地面積且加快工件加工效率，且本一體化裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，裝配難度低，從而降低后續(xù)維護(hù)難度；此外，通過(guò)主軸機(jī)構(gòu)的設(shè)置，工件只需要在對(duì)工件進(jìn)行加工前進(jìn)行一次裝夾即可對(duì)工件進(jìn)行滾磨、平磨、刻槽和晶向檢測(cè)，進(jìn)而避免因多次裝夾工件而導(dǎo)致的誤差，從而提高加工精度和生產(chǎn)效率。
8、進(jìn)一步地，沿所述床身的寬度方向?qū)ΨQ設(shè)置有第一導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌上滑動(dòng)設(shè)置有調(diào)整板，調(diào)整板的底部?jī)啥朔謩e固定設(shè)置有第一滑塊，每個(gè)第一滑塊的底端均設(shè)置有和所述第一導(dǎo)軌相適配的第一滑槽；所述調(diào)整機(jī)構(gòu)包括第一伺服電機(jī)，第一伺服電機(jī)固定設(shè)置在兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌之間對(duì)應(yīng)的所述床身，所述第一伺服電機(jī)的輸出軸固定連接有第一絲桿，第一絲桿沿所述第一導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向設(shè)置，所述第一絲桿上螺紋連接有第一連接件，且第一連接件和所述調(diào)整板固定連接。
9、進(jìn)一步地，所述主軸機(jī)構(gòu)包括固定套、第二伺服電機(jī)和用于固定工件的工裝，所述固定套呈豎直狀設(shè)置，且固定套的外周緣設(shè)置有和所述調(diào)整板呈固定狀配合的連接環(huán)板，所述連接環(huán)板下方的所述固定套穿過(guò)所述調(diào)整板設(shè)置在兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌之間，所述固定套內(nèi)同心固定設(shè)置有軸套，且軸套內(nèi)設(shè)置有和所述軸套的內(nèi)圈呈過(guò)盈狀配合的主軸，主軸的底端通過(guò)聯(lián)軸器和所述第二伺服電機(jī)的輸出軸連接，所述主軸的頂端固定設(shè)置有用于工裝的三爪卡盤。
10、進(jìn)一步地，所述立柱的頂部固定設(shè)置有第二導(dǎo)軌，第二導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向和所述床身的長(zhǎng)度方向一致，所述立柱的底端固定設(shè)置有第三導(dǎo)軌，第三導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向和所述第二導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向一致，且第三導(dǎo)軌設(shè)置在所述立柱中遠(yuǎn)離所述定向儀的側(cè)壁面上；所述進(jìn)給機(jī)構(gòu)包括第二滑板，所述第二滑板呈“l(fā)”形設(shè)置，所述第二滑板包括水平段和豎直段，所述水平段的底端面上固定設(shè)置有第二滑塊，所述第二滑塊的底端設(shè)置有和所述第二導(dǎo)軌相適配的第二滑槽；所述豎直段中靠近所述立柱的一側(cè)固定設(shè)置有第三滑塊，第三滑塊中靠近所述立柱的一端設(shè)置有和所述第三導(dǎo)軌相適配的第三滑槽。
11、所述立柱中靠近所述第二滑板的一端設(shè)置有條形槽，條形槽沿所述第二導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向設(shè)置，且所述條形槽設(shè)置在所述第二導(dǎo)軌和第三導(dǎo)軌之間；所述第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第三伺服電機(jī)，第三伺服電機(jī)的輸出軸固定連接有水平絲桿，水平絲桿沿所述條形槽的長(zhǎng)度方向設(shè)置，所述水平絲桿上螺紋連接有第二連接件，且第二連接件和所述第二滑板固定連接；
12、沿所述第二滑板的高度方向?qū)ΨQ設(shè)置有兩個(gè)結(jié)構(gòu)一致的第四導(dǎo)軌，所述第一滑板中靠近所述第二滑板側(cè)壁面的兩端分別固定設(shè)置有第四滑塊，每個(gè)第四滑塊上均設(shè)置有和所述第四導(dǎo)軌相適配的第四滑槽；
13、所述第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第四伺服電機(jī)，第四伺服電機(jī)固定設(shè)置在兩個(gè)所述第四導(dǎo)軌之間的所述第二滑板上，所述第四伺服電機(jī)的輸出軸固定連接有豎直絲桿，豎直絲桿沿所述第四導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向設(shè)置，所述豎直絲桿上螺紋連接有第三連接件，且第三連接件和所述第一滑板固定連接。
14、通過(guò)上述技術(shù)方案，通過(guò)第二導(dǎo)軌和第三導(dǎo)軌的設(shè)置，因滾磨機(jī)構(gòu)、平磨機(jī)構(gòu)和刻槽機(jī)構(gòu)皆安裝于進(jìn)給機(jī)構(gòu)的第一滑板上，使得第一滑板的重心前傾，而通過(guò)使第二滑板上的第四導(dǎo)軌與立柱上的第二導(dǎo)軌和第三導(dǎo)軌呈互相垂直狀設(shè)置，這更利于第一滑板的受力，從而提高進(jìn)給機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性。
15、進(jìn)一步地，所述滾磨機(jī)構(gòu)包括第一安裝座、第一電主軸和滾磨砂輪，所述第一安裝座固定安裝在所述第一滑板上，所述第一安裝座用于固定所述第一電主軸，且所述第一電主軸呈縱向設(shè)置，所述滾磨砂輪和所述第一電主軸同心連接，且所述滾磨砂輪固定設(shè)置在所述第一電主軸的底端；
16、所述平磨機(jī)構(gòu)包括第二安裝座、第二電主軸和磨面砂輪，所述第二安裝座固定安裝所述第一安裝座一側(cè)的所述第一滑板上，所述第二安裝座用于固定所述第二電主軸，且所述二電主軸呈水平狀設(shè)置，所述磨面砂輪和所述第二電主軸同心連接，且所述磨面砂輪固定設(shè)置在所述第二電主軸的左端；
17、所述刻槽機(jī)構(gòu)包括第三安裝座、第三電主軸和刻槽砂輪，所述第三安裝座固定安裝所述第二安裝座下方對(duì)應(yīng)的所述第一滑板上，所述第三安裝座用于固定所述第三電主軸，且所述三電主軸呈水平狀設(shè)置，所述刻槽砂輪和所述第三電主軸同心連接，且所述磨面砂輪固定設(shè)置在所述第三電主軸的左端。
18、進(jìn)一步地，所述第二滑板左、右兩側(cè)對(duì)應(yīng)的所述立柱上設(shè)置有第一伸縮風(fēng)琴罩，每個(gè)所述第一伸縮風(fēng)琴罩中相互遠(yuǎn)離的一端均和所述立柱呈固定狀配合，每個(gè)所述第一伸縮風(fēng)琴罩中相互靠近的一端均和所述立柱呈滑動(dòng)伸縮狀配合；所述第一滑板上、下兩側(cè)對(duì)應(yīng)的所述第二滑板上設(shè)置有第二伸縮風(fēng)琴罩，每個(gè)所述第二伸縮風(fēng)琴罩中相互遠(yuǎn)離的一端均和所述第二滑板呈固定狀配合，每個(gè)所述第二伸縮風(fēng)琴罩中相互靠近的一端均和所述第二滑板呈滑動(dòng)伸縮狀配合。
19、通過(guò)上述技術(shù)方案，通過(guò)第一伸縮風(fēng)琴罩和第二伸縮風(fēng)琴罩的設(shè)置，可以有效對(duì)進(jìn)給機(jī)構(gòu)中豎直絲桿、水平絲桿、第二導(dǎo)軌、第三導(dǎo)軌和第四導(dǎo)軌等運(yùn)動(dòng)組件起到封閉防護(hù)的作用，避免因灰塵或雜質(zhì)進(jìn)入后影響裝置的正常使用，從而降低維護(hù)難度和成本。
20、綜上所述，一種碳化硅平磨滾本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，包括床身，其特征在于，所述床身上設(shè)置有立柱，立柱一側(cè)的所述床身上有用于固定工件的主軸機(jī)構(gòu)，所述立柱的側(cè)壁面上設(shè)置有用于檢測(cè)晶向的定向儀，所述床身上有用于驅(qū)動(dòng)所述主軸機(jī)構(gòu)移動(dòng)至所述定向儀的調(diào)整機(jī)構(gòu)，且所述主軸機(jī)構(gòu)沿所述床身的寬度方向移動(dòng)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，沿所述床身的寬度方向?qū)ΨQ設(shè)置有第一導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌上滑動(dòng)設(shè)置有調(diào)整板，調(diào)整板的底部?jī)啥朔謩e固定設(shè)置有第一滑塊，每個(gè)第一滑塊的底端均設(shè)置有和所述第一導(dǎo)軌相適配的第一滑槽；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，所述主軸機(jī)構(gòu)包括固定套、第二伺服電機(jī)和用于固定工件的工裝，所述固定套呈豎直狀設(shè)置，且固定套的外周緣設(shè)置有和所述調(diào)整板呈固定狀配合的連接環(huán)板，所述連接環(huán)板下方的所述固定套穿過(guò)所述調(diào)整板設(shè)置在兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌之間，所述固定套內(nèi)同心固定設(shè)置有軸套，且軸套內(nèi)設(shè)置有和所述軸套的內(nèi)圈呈過(guò)盈狀配合的主軸，主軸的底端通過(guò)聯(lián)軸器和所述第二伺服電機(jī)的輸出軸連接，所述主軸的頂端固定設(shè)置有用于工裝的三爪卡盤。
4.根據(jù)
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，所述立柱中靠近所述第二滑板的一端設(shè)置有條形槽，條形槽沿所述第二導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向設(shè)置，且所述條形槽設(shè)置在所述第二導(dǎo)軌和第三導(dǎo)軌之間；所述第一滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括第三伺服電機(jī)，第三伺服電機(jī)的輸出軸固定連接有水平絲桿，水平絲桿沿所述條形槽的長(zhǎng)度方向設(shè)置，所述水平絲桿上螺紋連接有第二連接件，且第二連接件和所述第二滑板固定連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，沿所述第二滑板的高度方向?qū)ΨQ設(shè)置有兩個(gè)結(jié)構(gòu)一致的第四導(dǎo)軌，所述第一滑板中靠近所述第二滑板側(cè)壁面的兩端分別固定設(shè)置有第四滑塊，每個(gè)第四滑塊上均設(shè)置有和所述第四導(dǎo)軌相適配的第四滑槽；
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，所述滾磨機(jī)構(gòu)包括第一安裝座、第一電主軸和滾磨砂輪，所述第一安裝座固定安裝在所述第一滑板上，所述第一安裝座用于固定所述第一電主軸，且所述第一電主軸呈縱向設(shè)置，所述滾磨砂輪和所述第一電主軸同心連接，且所述滾磨砂輪固定設(shè)置在所述第一電主軸的底端；
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，所述第二滑板左、右兩側(cè)對(duì)應(yīng)的所述立柱上設(shè)置有第一伸縮風(fēng)琴罩，每個(gè)所述第一伸縮風(fēng)琴罩中相互遠(yuǎn)離的一端均和所述立柱呈固定狀配合，每個(gè)所述第一伸縮風(fēng)琴罩中相互靠近的一端均和所述立柱呈滑動(dòng)伸縮狀配合；所述第一滑板上、下兩側(cè)對(duì)應(yīng)的所述第二滑板上設(shè)置有第二伸縮風(fēng)琴罩，每個(gè)所述第二伸縮風(fēng)琴罩中相互遠(yuǎn)離的一端均和所述第二滑板呈固定狀配合，每個(gè)所述第二伸縮風(fēng)琴罩中相互靠近的一端均和所述第二滑板呈滑動(dòng)伸縮狀配合。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，包括床身，其特征在于，所述床身上設(shè)置有立柱，立柱一側(cè)的所述床身上有用于固定工件的主軸機(jī)構(gòu)，所述立柱的側(cè)壁面上設(shè)置有用于檢測(cè)晶向的定向儀，所述床身上有用于驅(qū)動(dòng)所述主軸機(jī)構(gòu)移動(dòng)至所述定向儀的調(diào)整機(jī)構(gòu)，且所述主軸機(jī)構(gòu)沿所述床身的寬度方向移動(dòng)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，沿所述床身的寬度方向?qū)ΨQ設(shè)置有第一導(dǎo)軌，第一導(dǎo)軌上滑動(dòng)設(shè)置有調(diào)整板，調(diào)整板的底部?jī)啥朔謩e固定設(shè)置有第一滑塊，每個(gè)第一滑塊的底端均設(shè)置有和所述第一導(dǎo)軌相適配的第一滑槽；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，所述主軸機(jī)構(gòu)包括固定套、第二伺服電機(jī)和用于固定工件的工裝，所述固定套呈豎直狀設(shè)置，且固定套的外周緣設(shè)置有和所述調(diào)整板呈固定狀配合的連接環(huán)板，所述連接環(huán)板下方的所述固定套穿過(guò)所述調(diào)整板設(shè)置在兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌之間，所述固定套內(nèi)同心固定設(shè)置有軸套，且軸套內(nèi)設(shè)置有和所述軸套的內(nèi)圈呈過(guò)盈狀配合的主軸，主軸的底端通過(guò)聯(lián)軸器和所述第二伺服電機(jī)的輸出軸連接，所述主軸的頂端固定設(shè)置有用于工裝的三爪卡盤。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，所述立柱的頂部固定設(shè)置有第二導(dǎo)軌，第二導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向和所述床身的長(zhǎng)度方向一致，所述立柱的底端固定設(shè)置有第三導(dǎo)軌，第三導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向和所述第二導(dǎo)軌的長(zhǎng)度方向一致，且第三導(dǎo)軌設(shè)置在所述立柱中遠(yuǎn)離所述定向儀的側(cè)壁面上；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種碳化硅平磨滾磨一體機(jī)，其特征在于，所述立柱...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：吳福文，鄒根根，姚志雯，倪艷艷，錢程成，趙長(zhǎng)政，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：無(wú)錫連強(qiáng)智能裝備有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
還沒(méi)有人留言評(píng)論。發(fā)表了對(duì)其他瀏覽者有用的留言會(huì)獲得科技券。