【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體器械領(lǐng)域，尤其涉及用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置。
技術(shù)介紹
1、晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來越小，其加工工藝越來越復(fù)雜，加工及測(cè)量設(shè)備越來越先進(jìn)，對(duì)晶圓加工的精度要求也越發(fā)嚴(yán)苛。晶圓的抓取需要專門的機(jī)械設(shè)備來進(jìn)行，例如機(jī)械手，現(xiàn)有機(jī)械手包括執(zhí)行器。
2、目前機(jī)械手的執(zhí)行器安裝時(shí)需要水平的放置安裝在安裝板上，但是現(xiàn)有的執(zhí)行器與安裝板采用分體式結(jié)構(gòu)，即需要單獨(dú)生產(chǎn)制備，然后進(jìn)行組裝，但是在生產(chǎn)制備過程中、組裝過程中，均會(huì)存在誤差或誤操作，導(dǎo)致執(zhí)行器難以達(dá)到設(shè)定的水平狀態(tài)，且也不便于對(duì)執(zhí)行器的水平狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的目的在于提供一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，以便于調(diào)整機(jī)械手執(zhí)行器的水平狀態(tài)。
2、本技術(shù)實(shí)施例提供一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，用于機(jī)械手執(zhí)行器的調(diào)平，包括第一安裝板；安裝外罩，安裝在第一安裝板上；第二安裝板，設(shè)置在第一安裝板的一側(cè)，用于放置機(jī)械手執(zhí)行器；多個(gè)調(diào)整部，安裝在第一安裝板上，分別與第二安裝板的多個(gè)配合部相接觸，所述調(diào)整部能帶動(dòng)配合部沿遠(yuǎn)離和靠近第一安裝板方向移動(dòng)。
3、優(yōu)選的，所述調(diào)整部包括螺紋調(diào)節(jié)件，通過螺紋配合的方式貫穿第一安裝板，所述螺紋調(diào)節(jié)件的一端和第二安裝板相抵。
4、優(yōu)選的，所述調(diào)整部還包括鎖緊件，所述鎖緊件能將第二安裝板鎖緊在螺紋調(diào)節(jié)件的端部上。
5、優(yōu)選的，所述鎖緊件包括擰緊螺釘，所述擰緊螺
6、優(yōu)選的，所述螺紋調(diào)節(jié)件包括設(shè)置在螺紋調(diào)節(jié)件一端的外六角部分。
7、優(yōu)選的，所述第二安裝板上設(shè)有與擰緊螺釘頂端螺紋配合的螺紋孔或螺紋槽。
8、優(yōu)選的，所述螺紋調(diào)節(jié)件外側(cè)通過螺紋套設(shè)有鎖緊螺母。
9、優(yōu)選的，所述調(diào)整部設(shè)置為三個(gè)，三個(gè)所述調(diào)整部在第一安裝板上呈三角形分布。
10、優(yōu)選的，所述擰緊螺釘上絲桿的長(zhǎng)度長(zhǎng)于螺紋調(diào)節(jié)件的長(zhǎng)度。
11、綜上所述，本技術(shù)主要具有以下有益效果：
12、當(dāng)?shù)诙惭b板的水平狀態(tài)未達(dá)到設(shè)定要求時(shí)，就可以根據(jù)第二安裝板的傾斜狀態(tài)，調(diào)整相應(yīng)的調(diào)整部，以帶動(dòng)相應(yīng)的配合部沿靠近或遠(yuǎn)離第一安裝板方向移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)第二安裝板傾斜狀態(tài)的調(diào)整，從而便于將第二安裝板的水平狀態(tài)調(diào)整至設(shè)定狀態(tài)。
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1.一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，用于機(jī)械手執(zhí)行器(6)的調(diào)平，包括
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整部(4)包括
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整部(4)還包括鎖緊件，所述鎖緊件能將第二安裝板(3)鎖緊在螺紋調(diào)節(jié)件(41)的端部上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述鎖緊件包括擰緊螺釘(42)，所述擰緊螺釘(42)的螺紋桿沿螺紋調(diào)節(jié)件(41)的軸向有間隙的貫穿螺紋調(diào)節(jié)件(41)、并與第二安裝板(3)螺紋配合，所述擰緊螺釘(42)的螺帽與螺紋調(diào)節(jié)件(41)的另一端相抵。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述螺紋調(diào)節(jié)件(41)包括設(shè)置在螺紋調(diào)節(jié)件(41)一端的外六角部分(411)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述第二安裝板(3)上設(shè)有與擰緊螺釘(42)頂端螺紋配合的螺紋孔或螺紋槽。p>
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述螺紋調(diào)節(jié)件(41)外側(cè)通過螺紋套設(shè)有鎖緊螺母(5)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整部(4)設(shè)置為三個(gè)，三個(gè)所述調(diào)整部(4)在第一安裝板(2)上呈三角形分布。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，用于機(jī)械手執(zhí)行器(6)的調(diào)平，包括
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整部(4)包括
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)整部(4)還包括鎖緊件，所述鎖緊件能將第二安裝板(3)鎖緊在螺紋調(diào)節(jié)件(41)的端部上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于機(jī)械手執(zhí)行器的水平調(diào)整裝置，其特征在于，所述鎖緊件包括擰緊螺釘(42)，所述擰緊螺釘(42)的螺紋桿沿螺紋調(diào)節(jié)件(41)的軸向有間隙的貫穿螺紋調(diào)節(jié)件(41)、并與第二安裝板(3)螺紋配合，所述擰緊螺釘(42)的螺帽與螺紋調(diào)節(jié)件(41...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：朱玉東，何海龍，溫寧，趙余，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中科芯微智能裝備沈陽(yáng)有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
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