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    一種芯片封裝加工裝置及方法制造方法及圖紙

    技術(shù)編號(hào):44507409 閱讀:0 留言:0更新日期:2025-03-07 13:05
    本發(fā)明專利技術(shù)涉及芯片加工技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種芯片封裝加工裝置及方法,該設(shè)備包括安裝架、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、限位機(jī)構(gòu)、下料機(jī)構(gòu)、點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)、封裝機(jī)構(gòu)和取料機(jī)構(gòu);安裝架內(nèi)部活動(dòng)設(shè)置有傳送帶;驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在安裝架上,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端與傳送帶傳動(dòng)連接用于帶動(dòng)傳送帶運(yùn)動(dòng);限位機(jī)構(gòu)設(shè)置有多組,限位機(jī)構(gòu)等距設(shè)置在傳送帶的表面;下料機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩組,兩組下料機(jī)構(gòu)分別用于封裝基板和芯片的下料;點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)設(shè)置在兩組下料機(jī)構(gòu)之間用于為封裝基板點(diǎn)膠;封裝機(jī)構(gòu)設(shè)置在安裝架上用于對(duì)芯片進(jìn)行封裝;取料機(jī)構(gòu)設(shè)置在安裝架上用于將封裝好的芯片從傳送帶上取下來。本發(fā)明專利技術(shù)通過限位擊鼓和取料機(jī)構(gòu)的配合設(shè)置,使整個(gè)封裝過程進(jìn)行的更加流暢。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及芯片加工,具體涉及一種芯片封裝加工裝置及方法。


    技術(shù)介紹

    1、集成電路是一種微型電子器件或部件,半導(dǎo)體工業(yè)大多數(shù)應(yīng)用的是基于硅的集成電路,集成電路芯片,指內(nèi)含集成電路的硅片,體積很小,常常是計(jì)算機(jī)或其他電子設(shè)備的一部分。集成電路芯片生產(chǎn)過程中較為重要的一個(gè)工序便是封裝,集成電路芯片封裝的過程主要是在基板表面用導(dǎo)熱環(huán)氧樹脂覆蓋硅片的安放點(diǎn),然后將硅片直接安放在基板表面,熱處理至硅片牢固地固定在基板為止,隨后再用絲焊的方法在硅片和基板之間直接建立電氣連接。

    2、公開號(hào)為cn114023661b的中國(guó)專利公開了一種集成電路芯片封裝加工裝置,包括工作臺(tái)、臺(tái)板和輔裝機(jī)構(gòu),所述的工作臺(tái)置于地面上,工作臺(tái)的的上端布置有臺(tái)板,臺(tái)板的上端設(shè)置有輔裝機(jī)構(gòu),本專利技術(shù)采用了調(diào)節(jié)與導(dǎo)向相結(jié)合設(shè)計(jì)理念,本專利技術(shù)設(shè)置的輔裝機(jī)構(gòu)可對(duì)不同尺寸的基板實(shí)施多方位的夾固,裝置整體的加工范圍有所擴(kuò)大,同時(shí)輔裝機(jī)構(gòu)還可對(duì)硅片的放置起到導(dǎo)向與限位的作用,進(jìn)而使得芯片的封裝質(zhì)量得到提高,本專利技術(shù)通過倒u型板及其上的尺寸線、倒l型板和倒u型塊之間的配合可調(diào)整限位板的位置,以此來保證硅片在限位板的導(dǎo)向下與基板上的安放點(diǎn)之間完成正相對(duì)接,進(jìn)而利于提高芯片的封裝質(zhì)量。

    3、但是,上述技術(shù)方案存在如下不足之處:安裝臺(tái)利用伸縮筒配合單向閥使其自身帶有負(fù)壓吸氣固定的功能,不需要外接的電路或氣路進(jìn)行配合就能將封裝基板直接固定到安裝臺(tái)上,然而在實(shí)際的使用過程中,封裝基板一旦被負(fù)壓吸附到安裝臺(tái)上,如果負(fù)壓環(huán)境不被破壞,后續(xù)會(huì)需要施加一個(gè)較大的外力才能將封裝基板從安裝臺(tái)上取下來。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)目的是針對(duì)
    技術(shù)介紹
    中存在的問題,提出一種芯片封裝加工裝置及方法。

    2、本專利技術(shù)的技術(shù)方案:一種芯片封裝加工裝置,包括:

    3、安裝架,其內(nèi)部活動(dòng)設(shè)置有傳送帶;

    4、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),其設(shè)置在安裝架上,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端與傳送帶傳動(dòng)連接用于帶動(dòng)傳送帶運(yùn)動(dòng);

    5、限位機(jī)構(gòu),其設(shè)置有多組,限位機(jī)構(gòu)等距設(shè)置在傳送帶的表面用于對(duì)封裝基板進(jìn)行限位固定;

    6、每組限位機(jī)構(gòu)均包括安裝箱、調(diào)節(jié)組件、傳動(dòng)組件和限位組件;安裝箱的底部通過連接條與傳送帶固定連接,調(diào)節(jié)組件設(shè)置在安裝箱內(nèi),傳動(dòng)組件兩兩一組并設(shè)置有兩組,傳動(dòng)組件的一端與調(diào)節(jié)組件傳動(dòng)連接,限位組件設(shè)置有多組并與傳動(dòng)組件一一對(duì)應(yīng),限位組件滑動(dòng)設(shè)置在安裝箱上,限位組件的一端與傳動(dòng)組件傳動(dòng)連接;

    7、下料機(jī)構(gòu),其設(shè)置有兩組,兩組下料機(jī)構(gòu)分別用于封裝基板和芯片的下料;

    8、點(diǎn)膠機(jī)構(gòu),其設(shè)置在兩組下料機(jī)構(gòu)之間用于為封裝基板點(diǎn)膠;

    9、封裝機(jī)構(gòu),其設(shè)置在安裝架上用于對(duì)芯片進(jìn)行封裝;

    10、取料機(jī)構(gòu),其設(shè)置在安裝架上用于將封裝好的芯片從傳送帶上取下來。

    11、優(yōu)選的,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)輥、從動(dòng)輥和驅(qū)動(dòng)電機(jī);主動(dòng)輥和從動(dòng)輥均轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝架內(nèi)并與傳送帶傳動(dòng)連接,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)輥、從動(dòng)輥和驅(qū)動(dòng)電機(jī);驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端與主動(dòng)輥傳動(dòng)連接。

    12、優(yōu)選的,調(diào)節(jié)組件包括安裝軸、錐齒圈、調(diào)節(jié)蝸輪和調(diào)節(jié)蝸桿;安裝軸轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝箱內(nèi),錐齒圈與安裝軸固定連接,調(diào)節(jié)蝸輪與安裝軸固定連接,調(diào)節(jié)蝸桿的一端與安裝箱的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,調(diào)節(jié)蝸桿的另一端貫穿安裝箱并延伸至安裝箱的外部,調(diào)節(jié)蝸輪與調(diào)節(jié)蝸桿相適配。

    13、優(yōu)選的,每組傳動(dòng)組件均包括傳動(dòng)絲桿、錐齒輪、螺紋套筒和傳動(dòng)塊;傳動(dòng)絲桿的一端與安裝箱的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,錐齒輪與傳動(dòng)絲桿的另一端固定連接,錐齒輪與錐齒圈相互嚙合,螺紋套筒與傳動(dòng)絲桿螺紋連接,傳動(dòng)塊與螺紋套筒固定連接,傳動(dòng)塊貫穿安裝箱并延伸至安裝箱的外部。

    14、優(yōu)選的,限位組件包括頂桿、限位板、限位彈簧和隨動(dòng)板;頂桿貫穿傳動(dòng)塊并與傳動(dòng)塊滑動(dòng)連接,限位板與頂桿的一端固定連接,限位彈簧套設(shè)在頂桿的表面,限位彈簧的一端與傳動(dòng)塊連接,限位彈簧的另一端與限位板連接,隨動(dòng)板與頂桿的另一端固定連接。

    15、優(yōu)選的,取料機(jī)構(gòu)包括置物臺(tái)、支撐架、動(dòng)力組件、抓取組件和觸發(fā)組件;置物臺(tái)與安裝架固定連接,支撐架設(shè)置在安裝架和置物臺(tái)上,動(dòng)力組件設(shè)置在支撐架上,抓取組件活動(dòng)設(shè)置在支撐架上,抓取組件與動(dòng)力組件傳動(dòng)連接,觸發(fā)組件設(shè)置有多組并與限位組件一一對(duì)應(yīng),觸發(fā)組件與抓取組件固定連接。

    16、優(yōu)選的,動(dòng)力組件包括動(dòng)力電機(jī)、搖桿、安裝桿和聯(lián)動(dòng)桿;動(dòng)力電機(jī)與支撐架固定連接,搖桿與動(dòng)力電機(jī)的輸出軸固定連接,安裝桿與搖桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接,聯(lián)動(dòng)桿的一端與安裝桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接,聯(lián)動(dòng)桿的另一端與支撐架轉(zhuǎn)動(dòng)連接,聯(lián)動(dòng)桿與搖桿平行設(shè)置。

    17、優(yōu)選的,抓取組件包括安裝板、限位環(huán)、復(fù)位彈簧和吸盤;安裝桿貫穿安裝板并與安裝板滑動(dòng)連接,限位環(huán)與安裝桿固定連接,復(fù)位彈簧的一端與限位環(huán)固定連接,復(fù)位彈簧的另一端與安裝板固定連接,吸盤與安裝桿固定連接。

    18、優(yōu)選的,每組觸發(fā)組件均包括固定板、固定塊、觸發(fā)塊和調(diào)節(jié)絲桿;固定板與安裝板固定連接,固定塊與固定板固定連接,觸發(fā)塊與固定板滑動(dòng)連接,隨動(dòng)板開設(shè)有與觸發(fā)塊相適配的觸發(fā)孔,調(diào)節(jié)絲桿的一端與觸發(fā)塊轉(zhuǎn)動(dòng)連接,調(diào)節(jié)絲桿的另一端貫穿固定塊并與固定塊螺紋連接。

    19、另一方面,本專利技術(shù)提出一種芯片封裝加工方法,采用上述芯片封裝加工設(shè)備,具體包括以下步驟:

    20、s1、使用前,根據(jù)封裝基板的尺寸調(diào)節(jié)限位板之間的距離,轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)蝸桿通過嚙合作用帶動(dòng)調(diào)節(jié)蝸輪、安裝軸和錐齒圈一起轉(zhuǎn)動(dòng),錐齒圈轉(zhuǎn)動(dòng)通過嚙合作用帶動(dòng)錐齒輪和傳動(dòng)絲桿一起轉(zhuǎn)動(dòng),傳動(dòng)絲桿旋轉(zhuǎn)與螺紋套筒配合,螺紋套筒移動(dòng)通過傳動(dòng)塊和頂桿帶動(dòng)限位板移動(dòng),將限位板之間的距離調(diào)節(jié)到合適大小,同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)絲桿將觸發(fā)塊調(diào)節(jié)到合適位置;

    21、s2、重復(fù)上述步驟將傳送帶上所有限位機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)好;

    22、s3、通過控制面板打開驅(qū)動(dòng)電機(jī)、下料機(jī)構(gòu)、點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)、封裝機(jī)構(gòu)和取料機(jī)構(gòu);

    23、s4、驅(qū)動(dòng)電機(jī)工作通過主動(dòng)輥帶動(dòng)傳送帶轉(zhuǎn)動(dòng),傳送帶轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)限位機(jī)構(gòu)移動(dòng);

    24、s5、限位機(jī)構(gòu)移動(dòng)到左側(cè)的下料機(jī)構(gòu)時(shí),下料機(jī)構(gòu)動(dòng)作將封裝基板放置到限位機(jī)構(gòu)上,帶有封裝基板的限位機(jī)構(gòu)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)到點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)的位置,點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)工作對(duì)封裝基板進(jìn)行點(diǎn)膠,點(diǎn)膠后的封裝基板繼續(xù)運(yùn)動(dòng),右側(cè)的下料機(jī)構(gòu)動(dòng)作將待封裝的芯片放到封裝基板上,帶有封裝基板和芯片的限位機(jī)構(gòu)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)到封裝機(jī)構(gòu)進(jìn)行封裝固化,完成封裝的芯片和限位機(jī)構(gòu)繼續(xù)運(yùn)動(dòng)到取料機(jī)構(gòu);

    25、s6、動(dòng)力電機(jī)工作通過搖桿帶動(dòng)安裝桿運(yùn)動(dòng),安裝桿運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)吸盤運(yùn)動(dòng)到封裝好的芯片上,安裝板通過固定板帶動(dòng)觸發(fā)塊向下運(yùn)動(dòng)插入隨動(dòng)板的觸發(fā)孔,觸發(fā)塊插入觸發(fā)孔的過程中隨動(dòng)板通過頂桿帶動(dòng)限位板運(yùn)動(dòng),限位板運(yùn)動(dòng)對(duì)芯片失去限位作用,吸盤將封裝好的芯片吸起來;

    26、s7、動(dòng)力電機(jī)反向轉(zhuǎn)動(dòng)通過搖桿和安裝桿帶動(dòng)安裝板和吸盤先向上運(yùn)動(dòng),由于復(fù)位彈簧的作用,吸盤先隨安裝桿向上運(yùn)動(dòng)脫離限位板的位置,接著安裝板隨安裝桿一起向上運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)觸發(fā)塊脫離隨動(dòng)板的觸發(fā)孔,限位板在限位彈簧的作用下復(fù)位,動(dòng)力電機(jī)繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)通本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)包括主動(dòng)輥(31)、從動(dòng)輥(32)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33);主動(dòng)輥(31)和從動(dòng)輥(32)均轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝架(1)內(nèi)并與傳送帶(2)傳動(dòng)連接,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)包括主動(dòng)輥(31)、從動(dòng)輥(32)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33);驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33)的輸出端與主動(dòng)輥(31)傳動(dòng)連接。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,調(diào)節(jié)組件(42)包括安裝軸(421)、錐齒圈(422)、調(diào)節(jié)蝸輪(423)和調(diào)節(jié)蝸桿(424);安裝軸(421)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝箱(41)內(nèi),錐齒圈(422)與安裝軸(421)固定連接,調(diào)節(jié)蝸輪(423)與安裝軸(421)固定連接,調(diào)節(jié)蝸桿(424)的一端與安裝箱(41)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,調(diào)節(jié)蝸桿(424)的另一端貫穿安裝箱(41)并延伸至安裝箱(41)的外部,調(diào)節(jié)蝸輪(423)與調(diào)節(jié)蝸桿(424)相適配。

    4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,每組傳動(dòng)組件(43)均包括傳動(dòng)絲桿(431)、錐齒輪(432)、螺紋套筒(433)和傳動(dòng)塊(434);傳動(dòng)絲桿(431)的一端與安裝箱(41)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,錐齒輪(432)與傳動(dòng)絲桿(431)的另一端固定連接,錐齒輪(432)與錐齒圈(422)相互嚙合,螺紋套筒(433)與傳動(dòng)絲桿(431)螺紋連接,傳動(dòng)塊(434)與螺紋套筒(433)固定連接,傳動(dòng)塊(434)貫穿安裝箱(41)并延伸至安裝箱(41)的外部。

    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,限位組件(44)包括頂桿(441)、限位板(442)、限位彈簧(443)和隨動(dòng)板(444);頂桿(441)貫穿傳動(dòng)塊(434)并與傳動(dòng)塊(434)滑動(dòng)連接,限位板(442)與頂桿(441)的一端固定連接,限位彈簧(443)套設(shè)在頂桿(441)的表面,限位彈簧(443)的一端與傳動(dòng)塊(434)連接,限位彈簧(443)的另一端與限位板(442)連接,隨動(dòng)板(444)與頂桿(441)的另一端固定連接。

    6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,取料機(jī)構(gòu)(5)包括置物臺(tái)(51)、支撐架(52)、動(dòng)力組件(53)、抓取組件(54)和觸發(fā)組件(55);置物臺(tái)(51)與安裝架(1)固定連接,支撐架(52)設(shè)置在安裝架(1)和置物臺(tái)(51)上,動(dòng)力組件(53)設(shè)置在支撐架(52)上,抓取組件(54)活動(dòng)設(shè)置在支撐架(52)上,抓取組件(54)與動(dòng)力組件(53)傳動(dòng)連接,觸發(fā)組件(55)設(shè)置有多組并與限位組件(44)一一對(duì)應(yīng),觸發(fā)組件(55)與抓取組件(54)固定連接。

    7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,動(dòng)力組件(53)包括動(dòng)力電機(jī)(531)、搖桿(532)、安裝桿(533)和聯(lián)動(dòng)桿(534);動(dòng)力電機(jī)(531)與支撐架(52)固定連接,搖桿(532)與動(dòng)力電機(jī)(531)的輸出軸固定連接,安裝桿(533)與搖桿(532)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,聯(lián)動(dòng)桿(534)的一端與安裝桿(533)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,聯(lián)動(dòng)桿(534)的另一端與支撐架(52)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,聯(lián)動(dòng)桿(534)與搖桿(532)平行設(shè)置。

    8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種芯片封裝加工裝置及方法,其特征在于,抓取組件(54)包括安裝板(541)、限位環(huán)(542)、復(fù)位彈簧(543)和吸盤(544);安裝桿(533)貫穿安裝板(541)并與安裝板(541)滑動(dòng)連接,限位環(huán)(542)與安裝桿(533)固定連接,復(fù)位彈簧(543)的一端與限位環(huán)(542)固定連接,復(fù)位彈簧(543)的另一端與安裝板(541)固定連接,吸盤(544)與安裝桿(533)固定連接。

    9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,每組觸發(fā)組件(55)均包括固定板(551)、固定塊(552)、觸發(fā)塊(553)和調(diào)節(jié)絲桿(554);固定板(551)與安裝板(541)固定連接,固定塊(552)與固定板(551)固定連接,觸發(fā)塊(553)與固定板(551)滑動(dòng)連接,隨動(dòng)板(444)開設(shè)有與觸發(fā)塊(553)相適配的觸發(fā)孔(555),調(diào)節(jié)絲桿(554)的一端與觸發(fā)塊(553)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,調(diào)節(jié)絲桿(554)的另一端貫穿固定塊(552)并與固定塊(552)螺紋連接。

    10.一種芯片封裝加工方法,采用權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的芯片封裝加工設(shè)備,其特征在于,具體包括以下步驟:

    ...

    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,包括:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)包括主動(dòng)輥(31)、從動(dòng)輥(32)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33);主動(dòng)輥(31)和從動(dòng)輥(32)均轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝架(1)內(nèi)并與傳送帶(2)傳動(dòng)連接,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(3)包括主動(dòng)輥(31)、從動(dòng)輥(32)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33);驅(qū)動(dòng)電機(jī)(33)的輸出端與主動(dòng)輥(31)傳動(dòng)連接。

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,調(diào)節(jié)組件(42)包括安裝軸(421)、錐齒圈(422)、調(diào)節(jié)蝸輪(423)和調(diào)節(jié)蝸桿(424);安裝軸(421)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在安裝箱(41)內(nèi),錐齒圈(422)與安裝軸(421)固定連接,調(diào)節(jié)蝸輪(423)與安裝軸(421)固定連接,調(diào)節(jié)蝸桿(424)的一端與安裝箱(41)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,調(diào)節(jié)蝸桿(424)的另一端貫穿安裝箱(41)并延伸至安裝箱(41)的外部,調(diào)節(jié)蝸輪(423)與調(diào)節(jié)蝸桿(424)相適配。

    4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,每組傳動(dòng)組件(43)均包括傳動(dòng)絲桿(431)、錐齒輪(432)、螺紋套筒(433)和傳動(dòng)塊(434);傳動(dòng)絲桿(431)的一端與安裝箱(41)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接,錐齒輪(432)與傳動(dòng)絲桿(431)的另一端固定連接,錐齒輪(432)與錐齒圈(422)相互嚙合,螺紋套筒(433)與傳動(dòng)絲桿(431)螺紋連接,傳動(dòng)塊(434)與螺紋套筒(433)固定連接,傳動(dòng)塊(434)貫穿安裝箱(41)并延伸至安裝箱(41)的外部。

    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,限位組件(44)包括頂桿(441)、限位板(442)、限位彈簧(443)和隨動(dòng)板(444);頂桿(441)貫穿傳動(dòng)塊(434)并與傳動(dòng)塊(434)滑動(dòng)連接,限位板(442)與頂桿(441)的一端固定連接,限位彈簧(443)套設(shè)在頂桿(441)的表面,限位彈簧(443)的一端與傳動(dòng)塊(434)連接,限位彈簧(443)的另一端與限位板(442)連接,隨動(dòng)板(444)與頂桿(441)的另一端固定連接。

    6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種芯片封裝加工裝置,其特征在于,取料機(jī)構(gòu)(5...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:呂向東,李政達(dá),歐陽(yáng)托日
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:恒爍半導(dǎo)體合肥股份有限公司
    類型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

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