【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于難熔金屬材料，尤其涉及一種鎳鎢鉭合金靶材及其制備方法。
技術介紹
1、電致變色是基于無機材料的晶格改變機理，在外電壓作用下，電解質離子嵌入到電致變色層引起晶格結構發生變化，從而使材料的顏色發生變化。電致變色器件已經廣泛應用到生活當中，如：智能玻璃、防眩目后視鏡、電致變色顯示器等。
2、鎢鎳合金靶材作為電致變色玻璃濺射鍍膜靶材用已經得到推廣應用。現有專利201910955313.5公開了一種鎢鎳合金靶材及其制備方法，該專利以鎢粉、鎳粉為原料，將二者混合后經過壓制成形、燒結熱、等靜壓處理和熱處理等步驟，制得了致密度達到99.8％以上、鎢相平均粒度小于30微米的鎢鎳合金靶材。但是，該專利需要在燒結的基礎上結合熱等靜壓和熱處理等步驟，才可制得致密度高且各向同性、性能穩定的鎢鎳合金靶材，工藝復雜，步驟繁瑣。
3、因此，亟需一種工藝簡單且制得的合金靶材致密度接近理論密度、組織均勻、鎢相平均粒度小的鎢鎳合金靶材的方法以解決上述問題。
技術實現思路
1、為解決上述技術問題，本專利技術提出了一種鎳鎢鉭合金靶材及其制備方法。
2、為實現上述目的，本專利技術提供了以下技術方案：
3、本專利技術提供了一種鎳鎢鉭合金靶材的制備方法，包括以下步驟：將鎢粉、鎳粉和鉭粉混合，經冷等靜壓和真空燒結，制得鎳鎢鉭合金靶材。
4、優選的，按重量百分比計，所述鎢粉、鎳粉和鉭粉的用量比為(37.5～47.5):(37.5～47.5):(5～25)。p>
5、優選的，所述混合的時間為5～10h。
6、優選的，所述冷等靜壓的壓力為160～240mpa，保壓時間為10～30min。
7、優選的，所述真空燒結的真空度為-1pa，真空燒結的溫度為1370～1420℃，真空燒結的保溫時間為1～3h。
8、優選的，所述真空燒結過程為：以10℃/min的速率升溫至800℃，保溫60min，并抽真空至真空度為-1pa，再以8℃/min的速率升溫至1370～1420℃，保溫1～3h。
9、優選的，所述冷等靜壓所得預制坯的相對密度為50～60％。
10、本專利技術提供了上述技術方案所述的制備方法制備得到的鎳鎢鉭合金靶材。
11、優選的，所述鎳鎢鉭合金靶材的致密度為96.5～98.5％。
12、本專利技術還提供了上述技術方案所述的鎳鎢鉭合金靶材在制備電致變色器件中的應用。
13、與現有技術相比，本專利技術具有如下優點和技術效果：
14、本專利技術提供的鎳鎢鉭合金靶材的制備方法工藝簡單，適合批量化生產，主要采用冷等靜壓和真空燒結處理，使得所制備的鎳鎢鉭合金靶材的致密度接近理論密度，組織均勻，鎢相平均粒度小于30微米。
15、本專利技術提供的方法無污染，制備過程中不會產生任何廢料、廢酸等污染物。
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1.一種鎳鎢鉭合金靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：將鎢粉、鎳粉和鉭粉混合，經冷等靜壓和真空燒結，制得鎳鎢鉭合金靶材。
2.根據權利要求1所述的鎳鎢鉭合金靶材的制備方法，其特征在于，按重量百分比計，所述鎢粉、鎳粉和鉭粉的用量比為(37.5～47.5):(37.5～47.5):(5～25)。
3.根據權利要求1所述的鎳鎢鉭合金靶材的制備方法，其特征在于，所述混合的時間為5～10h。
4.根據權利要求1所述的鎳鎢鉭合金靶材的制備方法，其特征在于，所述冷等靜壓的壓力為160～240MPa，保壓時間為10～30min。
5.根據權利要求1所述的鎳鎢鉭合金靶材的制備方法，其特征在于，所述真空燒結的真空度為-1Pa，真空燒結的溫度為1370～1420℃，真空燒結的保溫時間為1～3h。
6.根據權利要求1或5所述的鎳鎢鉭合金靶材的制備方法，其特征在于，所述真空燒結過程為：以10℃/min的速率升溫至800℃，保溫60min，并抽真空至真空度為-1Pa，再以8℃/min的速率升溫至1370～1420℃，保溫1～3h。
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