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    尺蠖式壓電馬達(dá)及其驅(qū)動(dòng)方法技術(shù)

    技術(shù)編號(hào):44512439 閱讀:0 留言:0更新日期:2025-03-07 13:08
    本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)涉及馬達(dá)領(lǐng)域,提供了一種尺蠖式壓電馬達(dá),其包括:動(dòng)子和多個(gè)鉗位模塊。每個(gè)鉗位模塊包括柔性鉗位鉸鏈、導(dǎo)向架和壓電陶瓷。壓電陶瓷通電形變位移時(shí),帶動(dòng)柔性鉗位鉸鏈的下斜坡部在斜坡空間內(nèi)與導(dǎo)向架的上斜坡部貼合,以使上斜坡部通過(guò)擠壓下斜坡部,給柔性鉗位鉸鏈?zhǔn)┘訅合騽?dòng)子的軸心的力,夾緊動(dòng)子,且通過(guò)壓電陶瓷形變的累積,使動(dòng)子移動(dòng)。本申請(qǐng)還涉及尺蠖式壓電馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)方法。本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)旨在提供一種壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的長(zhǎng)行程、大推力、高分辨率、高定位精度的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),可以為半導(dǎo)體、航空航天、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)提供一種高精度直線運(yùn)動(dòng)解決方案。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專(zhuān)利技術(shù)涉及壓電馬達(dá)領(lǐng)域,特別涉及一種尺蠖式壓電馬達(dá)及其驅(qū)動(dòng)方法。


    技術(shù)介紹

    1、在傳統(tǒng)尺蠖式壓電馬達(dá)中,驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為軸向形變陶瓷片、切向形變陶瓷片與柔性鉸鏈或彈性元件的組合。這種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)動(dòng)子提供的夾持力有限,且壓電陶瓷片會(huì)承受剪切力,因而馬達(dá)能夠提供的推力有限,目前主流產(chǎn)品也只能提供幾十牛頓的最大推力也只有幾十牛頓。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、本專(zhuān)利技術(shù)的目的在于提供一種尺蠖式壓電馬達(dá),該尺蠖式壓電馬達(dá)包括動(dòng)子和多個(gè)鉗位模塊。每個(gè)鉗位模塊包括柔性鉗位鉸鏈、導(dǎo)向架和壓電陶瓷。柔性鉗位鉸鏈沿著遠(yuǎn)離柔性鉗位鉸鏈中央的方向延伸的下斜坡部,導(dǎo)向架沿著遠(yuǎn)離導(dǎo)向架中央的方向延伸的上斜坡部。壓電陶瓷通電形變位移時(shí),帶動(dòng)柔性鉗位鉸鏈的下斜坡部在斜坡空間內(nèi)與導(dǎo)向架的上斜坡部貼合,以使上斜坡部通過(guò)擠壓下斜坡部,給柔性鉗位鉸鏈?zhǔn)┘訅合騽?dòng)子的軸心的力,夾緊動(dòng)子,且通過(guò)壓電陶瓷形變的累積,使動(dòng)子移動(dòng)。

    2、為解決上述問(wèn)題,本專(zhuān)利技術(shù)提供以下技術(shù)方案。

    3、在第一方面中,本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N尺蠖式壓電馬達(dá),其包括:

    4、動(dòng)子;

    5、多個(gè)鉗位模塊,每個(gè)鉗位模塊包括:

    6、柔性鉗位鉸鏈,所述柔性鉗位鉸鏈與動(dòng)子接觸,以?shī)A持所述動(dòng)子;柔性鉗位鉸鏈上沿著動(dòng)子的軸向的左、右端分別設(shè)置有沿著遠(yuǎn)離柔性鉗位鉸鏈中央的方向延伸的下斜坡部;所述柔性鉗位鉸鏈上設(shè)置有至少兩個(gè)第一容置空間;

    7、導(dǎo)向架,所述導(dǎo)向架上設(shè)置第二容置空間,所述柔性鉗位鉸鏈套設(shè)于所述第二容置空間內(nèi),所述柔性鉗位鉸鏈與導(dǎo)向架連接;導(dǎo)向架上沿著動(dòng)子的軸向的左、右端設(shè)置有沿著遠(yuǎn)離導(dǎo)向架中央的方向延伸的上斜坡部,以使第一容置空間的沿著動(dòng)子的軸向的左、右端在上斜坡部的下部分別延伸成左、右端的斜坡空間;

    8、至少兩塊壓電陶瓷,所述壓電陶瓷套設(shè)于所述第一容置空間內(nèi),所述壓電陶瓷通電形變位移時(shí),帶動(dòng)所述柔性鉗位鉸鏈的下斜坡部在所述斜坡空間內(nèi)與上斜坡部貼合,以使上斜坡部通過(guò)擠壓下斜坡部,給柔性鉗位鉸鏈?zhǔn)┘訅合騽?dòng)子的軸心的力,夾緊動(dòng)子,且通過(guò)壓電陶瓷形變的累積,使動(dòng)子移動(dòng)。

    9、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述動(dòng)子為段狀動(dòng)子或環(huán)狀動(dòng)子。

    10、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述下斜坡部設(shè)置于c字形截面的兩個(gè)自由端。

    11、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述尺蠖式壓電馬達(dá)包括:4個(gè)鉗位模塊,每?jī)蓚€(gè)鉗位模塊為一組,一組內(nèi)的鉗位模塊沿動(dòng)子的徑向相對(duì)設(shè)置;每個(gè)鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈上的左、右端各設(shè)置有一個(gè)第一容置空間,每個(gè)鉗位模塊的左端的第一容置空間內(nèi)套設(shè)有左壓電陶瓷,每個(gè)鉗位模塊的右端的第一容置空間內(nèi)套設(shè)有右壓電陶瓷。

    12、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,第一組的鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加第一電壓信號(hào),且第二組的鉗位模塊的左壓電陶瓷保持非供電狀態(tài)時(shí),第一組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向左移動(dòng);

    13、第一組鉗位模塊的左壓電陶瓷放電,同時(shí)第二組鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加第二電壓信號(hào),第二組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子繼續(xù)向左移動(dòng);或者,

    14、第一組的鉗位模塊的右壓電陶瓷被施加第一電壓信號(hào),且第二組的鉗位模塊的右壓電陶瓷保持非供電狀態(tài)時(shí),第一組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向右移動(dòng);

    15、第一組鉗位模塊的右壓電陶瓷放電,同時(shí)第二組鉗位模塊的右壓電陶瓷被施加第二電壓信號(hào),第二組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子繼續(xù)向右移動(dòng)。

    16、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,同一組的鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加超前電壓信號(hào),同一組的鉗位模塊的右壓電陶瓷被施加滯后電壓信號(hào),且超前電壓信號(hào)與滯后電壓信號(hào)存在相位差,同一組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向左移動(dòng);或者,

    17、同一組的鉗位模塊的右壓電陶瓷被施加超前電壓信號(hào),同一組的鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加滯后電壓信號(hào),且超前電壓信號(hào)與滯后電壓信號(hào)存在相位差,同一組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向右移動(dòng)。

    18、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,同一組鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加不同供電電壓大小的電壓信號(hào)時(shí),該組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向左進(jìn)行nm級(jí)移動(dòng);

    19、同一組鉗位模塊的右壓電陶瓷被施加不同供電電壓大小的電壓信號(hào)時(shí),該組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向右進(jìn)行nm級(jí)移動(dòng)。

    20、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,每個(gè)鉗位模塊的左壓電陶瓷的正極施加壓電陶瓷最高工作電壓,每個(gè)鉗位模塊的右壓電陶瓷的負(fù)極接地,每個(gè)鉗位模塊的左壓電陶瓷的負(fù)極和右壓電陶瓷的正極通過(guò)連接線串接,電壓信號(hào)施加于連接線上。

    21、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,二組鉗位模塊,互相垂直設(shè)置或平行設(shè)置。

    22、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述柔性鉗位鉸鏈上的部分區(qū)域開(kāi)設(shè)有形變槽道。

    23、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述第一容置空間的尺寸大于壓電陶瓷的外輪廓尺寸,以為壓電陶瓷形預(yù)留形變伸長(zhǎng)的空間;所述第二容置空間的尺寸大于所述柔性鉗位鉸鏈的外輪廓尺寸,以為柔性鉗位鉸鏈預(yù)留形變伸長(zhǎng)的空間。

    24、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述柔性鉗位鉸鏈的夾持所述動(dòng)子的接觸面上設(shè)置有耐磨材料。

    25、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述耐磨材料包括:氧化鋯耐磨陶瓷片、氧化鋁耐磨陶瓷片和碳化硅耐磨陶瓷片中的任一種。

    26、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,還包括封閉所述動(dòng)子和鉗位模塊的殼體,所述殼體包括兩個(gè)互相配合的u型的上機(jī)殼和下機(jī)殼,每個(gè)上機(jī)殼和下機(jī)殼分別包括底壁和兩個(gè)連接在底壁上的側(cè)壁,兩個(gè)側(cè)壁相對(duì)設(shè)置;所述動(dòng)子的兩端從兩個(gè)上機(jī)殼和下機(jī)殼的底壁穿出。

    27、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述導(dǎo)向架與所述殼體連接固定。

    28、進(jìn)一步的,在上述尺蠖式壓電馬達(dá)中,所述壓電陶瓷的形變方向與動(dòng)子運(yùn)動(dòng)方向一致。

    29、在第二方面中,本申請(qǐng)?zhí)峁┤绲谝环矫嫠龅某唧妒綁弘婑R達(dá)的驅(qū)動(dòng)方法,可通過(guò)下述中驅(qū)動(dòng)模式一、驅(qū)動(dòng)模式二和驅(qū)動(dòng)模式三中的任意一種驅(qū)動(dòng)模式來(lái)驅(qū)動(dòng)所述尺蠖式壓電馬達(dá):

    30、驅(qū)動(dòng)模式一:步進(jìn)模式;

    31、在第一時(shí)間段內(nèi),使至少兩塊壓電陶瓷中的一塊通電,驅(qū)動(dòng)動(dòng)子朝著第一方向移動(dòng),在第二時(shí)間段,使所述至少兩塊壓電陶瓷中的另一塊通電,而已經(jīng)通電的壓電陶瓷則保持放電狀態(tài),使得動(dòng)子朝著第二方向移動(dòng),該第二方向與第一方向相反;

    32、驅(qū)動(dòng)模式二:連續(xù)運(yùn)動(dòng)模式;

    33、以?xún)陕肪哂幸欢ㄏ辔徊畹闹芷谛噪妷盒盘?hào)分別驅(qū)動(dòng)所述至少兩塊壓電陶瓷,使得動(dòng)子進(jìn)行連續(xù)移動(dòng);

    34、驅(qū)動(dòng)模式三:電壓模式;

    35、同時(shí)對(duì)所述至少兩塊壓電陶瓷通電,通過(guò)控制該供電電壓的大小,使動(dòng)子產(chǎn)生微量位移以達(dá)到nm級(jí)定位精度。

    36、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本專(zhuān)利技術(shù)包括:動(dòng)子;多本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,包括:

    2.如權(quán)利要求1所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,所述動(dòng)子為段狀動(dòng)子或環(huán)狀動(dòng)子;

    3.如權(quán)利要求1所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,所述尺蠖式壓電馬達(dá)包括:4個(gè)鉗位模塊,每?jī)蓚€(gè)鉗位模塊為一組,一組內(nèi)的鉗位模塊沿動(dòng)子的徑向相對(duì)設(shè)置;每個(gè)鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈上的左、右端各設(shè)置有一個(gè)第一容置空間,每個(gè)鉗位模塊的左端的第一容置空間內(nèi)套設(shè)有左壓電陶瓷,每個(gè)鉗位模塊的右端的第一容置空間內(nèi)套設(shè)有右壓電陶瓷。

    4.如權(quán)利要求3所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,第一組的鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加第一電壓信號(hào),且第二組的鉗位模塊的左壓電陶瓷保持非供電狀態(tài)時(shí),第一組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向左移動(dòng);

    5.如權(quán)利要求3所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,同一組的鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加超前電壓信號(hào),同一組的鉗位模塊的右壓電陶瓷被施加滯后電壓信號(hào),且超前電壓信號(hào)與滯后電壓信號(hào)存在相位差,同一組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向左移動(dòng);或者,

    6.如權(quán)利要求3所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,同一組鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加不同供電電壓大小的電壓信號(hào)時(shí),該組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向左進(jìn)行nm級(jí)移動(dòng);

    7.如權(quán)利要求6所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,每個(gè)鉗位模塊的左壓電陶瓷的正極施加壓電陶瓷最高工作電壓,每個(gè)鉗位模塊的右壓電陶瓷的負(fù)極接地,每個(gè)鉗位模塊的左壓電陶瓷的負(fù)極和右壓電陶瓷的正極通過(guò)連接線串接,電壓信號(hào)施加于連接線上。

    8.如權(quán)利要求3所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,二組鉗位模塊,互相垂直設(shè)置或平行設(shè)置;

    9.如權(quán)利要求1所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,還包括封閉所述動(dòng)子和鉗位模塊的殼體,所述殼體包括兩個(gè)互相配合的U型的上機(jī)殼和下機(jī)殼,每個(gè)上機(jī)殼和下機(jī)殼分別包括底壁和兩個(gè)連接在底壁上的側(cè)壁,兩個(gè)側(cè)壁相對(duì)設(shè)置;所述動(dòng)子的兩端從兩個(gè)上機(jī)殼和下機(jī)殼的底壁穿出;

    10.如權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的尺蠖式壓電馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)方法,其特征在于,可通過(guò)下述中驅(qū)動(dòng)模式一、驅(qū)動(dòng)模式二和驅(qū)動(dòng)模式三中的任意一種驅(qū)動(dòng)模式來(lái)驅(qū)動(dòng)所述尺蠖式壓電馬達(dá):

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,包括:

    2.如權(quán)利要求1所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,所述動(dòng)子為段狀動(dòng)子或環(huán)狀動(dòng)子;

    3.如權(quán)利要求1所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,所述尺蠖式壓電馬達(dá)包括:4個(gè)鉗位模塊,每?jī)蓚€(gè)鉗位模塊為一組,一組內(nèi)的鉗位模塊沿動(dòng)子的徑向相對(duì)設(shè)置;每個(gè)鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈上的左、右端各設(shè)置有一個(gè)第一容置空間,每個(gè)鉗位模塊的左端的第一容置空間內(nèi)套設(shè)有左壓電陶瓷,每個(gè)鉗位模塊的右端的第一容置空間內(nèi)套設(shè)有右壓電陶瓷。

    4.如權(quán)利要求3所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,第一組的鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加第一電壓信號(hào),且第二組的鉗位模塊的左壓電陶瓷保持非供電狀態(tài)時(shí),第一組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向左移動(dòng);

    5.如權(quán)利要求3所述的尺蠖式壓電馬達(dá),其特征在于,同一組的鉗位模塊的左壓電陶瓷被施加超前電壓信號(hào),同一組的鉗位模塊的右壓電陶瓷被施加滯后電壓信號(hào),且超前電壓信號(hào)與滯后電壓信號(hào)存在相位差,同一組鉗位模塊的柔性鉗位鉸鏈夾緊動(dòng)子并夾持動(dòng)子向左移動(dòng);或者,

    6.如...

    【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:孫源,薛世龍李青松,
    申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人:銳云威科技上海有限公司,
    類(lèi)型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

    相關(guān)技術(shù)
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