一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器制造技術

本技術涉及船用壓力傳感器技術領域，具體為一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，包括金屬外殼腔體和主電路板，所述金屬外殼腔體下端設有基底腔體，所述基底腔體內部設有基座腔體，所述基座腔體上連接有主電路板，所述主電路板一側連接有輸出管腳，所述輸出管腳上連接有輸出導線，所述金屬外殼腔體內部下端靠近基底腔體處連接有壓環，所述主電路板上設有擴散硅芯體，所述金屬外殼腔體內部的上部連接有筒體螺紋緊固件，所述基底腔體外部設有外密封圈，所述基底腔體和基座腔體底部連接處設有擴散硅芯體密封圈，所述金屬外殼腔體和基底腔體連接處設有連接螺紋，所述金屬外殼腔體和筒體螺紋緊固件連接處設有緊固螺紋。

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及船用壓力傳感器，具體為一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器。

技術介紹

1、現有技術通過在外殼中部的腔體中填充硅油，使用隔離膜片、金屬外殼以及陶瓷基底。陶瓷基底上制作出焊盤和導線，將導線鍵合在陶瓷基底上，利用陶瓷基底上的導線連通到基座的管腳，避免出現導線斷裂情況；腔體內部密封的硅油將外界力傳遞到擴散硅壓力芯片上，由此來進行壓力測量，且保護芯片。此方案在一定程度上解決了封裝缺陷如氣泡、芯片位移等。

2、此方法雖然在一定程度上解決了壓力測量的問題，但是其結構不適合船用，在船用搖晃環境下易導致密封失效，結構破損，且金屬外殼易被腐蝕，使用壽命短暫。

3、因此，需要設計一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器來解決上述
技術介紹
中的問題。

技術實現思路

1、本技術的目的是為了解決現有技術中問題，而提出的一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器。

2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：

3、一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，包括金屬外殼腔體和主電路板，所述金屬外殼腔體下端設有基底腔體，所述基底腔體內部設有基座腔體，所述基座腔體上連接有主電路板，所述主電路板一側連接有輸出管腳，所述輸出管腳上連接有輸出導線，所述金屬外殼腔體內部下端靠近基底腔體處連接有壓環，所述主電路板上設有擴散硅芯體，所述金屬外殼腔體內部的上部連接有筒體螺紋緊固件，所述基底腔體外部設有外密封圈，所述基底腔體和基座腔體底部連接處設有擴散硅芯體密封圈，所述金屬外殼腔體和基底腔體連接處設有連接螺紋，所述金屬外殼腔體和筒體螺紋緊固件連接處設有緊固螺紋。

4、作為本技術優選的方案，所述外密封圈和擴散硅芯體密封圈為橡膠圈。

5、作為本技術優選的方案，所述基底腔體、基座腔體、金屬外殼腔體、壓環和筒體螺紋緊固件為不銹鋼材質，所述壓環內設有與金屬外殼腔體連通的通孔。

6、作為本技術優選的方案，所述基底腔體中間處設有進水槽，所述基底腔體內的進水槽與擴散硅芯體相通。

7、作為本技術優選的方案，所述筒體螺紋緊固件外部設有外螺紋。

8、作為本技術優選的方案，所述金屬外殼腔體的內部腔體設有信號輸出通道。

9、綜上所述，本技術的技術效果和優點：該基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，針對裝置氣密性封裝中的密封圈使用與壓環的選擇、柱狀不銹鋼外殼與腔體結構的設計，不銹鋼基底和基座的設計，筒體螺紋緊固件密封性的設計以及整體的螺紋選擇與設計進行了優化，加強抗沖擊性，提高芯片保護可靠性，延長設備使用壽命，結構上采用柱狀結構，能夠更好地適用于船舶使用，應對海上惡劣環境，強度有所提升，腔體內部使用多個橡膠圈進行密封，確保傳感器的密封性，水流直接與擴散硅芯體接觸，保證數據的準確性，設有不銹鋼輸出通道，保護輸出導線，且有筒體螺紋緊固件保護輸出端。

本文檔來自技高網...

【技術保護點】

1.一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，包括金屬外殼腔體(9)和主電路板(5)，其特征在于：所述金屬外殼腔體(9)下端設有基底腔體(1)，所述基底腔體(1)內部設有基座腔體(4)，所述基座腔體(4)上連接有主電路板(5)，所述主電路板(5)一側連接有輸出管腳(6)，所述輸出管腳(6)上連接有輸出導線(8)，所述金屬外殼腔體(9)內部下端靠近基底腔體(1)處連接有壓環(12)，所述主電路板(5)上設有擴散硅芯體(13)，所述金屬外殼腔體(9)內部的上部連接有筒體螺紋緊固件(11)，所述基底腔體(1)外部設有外密封圈(2)，所述基底腔體(1)和基座腔體(4)底部連接處設有擴散硅芯體密封圈(3)，所述金屬外殼腔體(9)和基底腔體(1)連接處設有連接螺紋(7)，所述金屬外殼腔體(9)和筒體螺紋緊固件(11)連接處設有緊固螺紋(10)。

2.根據權利要求1所述的一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，其特征在于：所述外密封圈(2)和擴散硅芯體密封圈(3)為橡膠圈。

3.根據權利要求1所述的一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，其特征在于：所述基底腔體(1)、基座腔體(4)、金屬外殼腔體(9)、壓環(12)和筒體螺紋緊固件(11)為不銹鋼材質，所述壓環(12)內設有與金屬外殼腔體(9)連通的通孔。

4.根據權利要求1所述的一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，其特征在于：所述基底腔體(1)中間處設有進水槽，所述基底腔體(1)內的進水槽與擴散硅芯體(13)相通。

5.根據權利要求1所述的一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，其特征在于：所述筒體螺紋緊固件(11)外部設有外螺紋。

6.根據權利要求1所述的一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，其特征在于：所述金屬外殼腔體(9)的內部腔體設有信號輸出通道。

...

【技術特征摘要】

1.一種基于擴散硅壓阻效應的船用壓力傳感器，包括金屬外殼腔體(9)和主電路板(5)，其特征在于：所述金屬外殼腔體(9)下端設有基底腔體(1)，所述基底腔體(1)內部設有基座腔體(4)，所述基座腔體(4)上連接有主電路板(5)，所述主電路板(5)一側連接有輸出管腳(6)，所述輸出管腳(6)上連接有輸出導線(8)，所述金屬外殼腔體(9)內部下端靠近基底腔體(1)處連接有壓環(12)，所述主電路板(5)上設有擴散硅芯體(13)，所述金屬外殼腔體(9)內部的上部連接有筒體螺紋緊固件(11)，所述基底腔體(1)外部設有外密封圈(2)，所述基底腔體(1)和基座腔體(4)底部連接處設有擴散硅芯體密封圈(3)，所述金屬外殼腔體(9)和基底腔體(1)連接處設有連接螺紋(7)，所述金屬外殼腔體(9)和筒體螺紋緊固件(11)連接處設有緊固螺紋(10)。

2.根據權利要求1所述的一種基于擴散硅...

【專利技術屬性】
技術研發人員：王黎明，薛毓銓，閆曉玲，楊碩，敖翔，王家林，趙永輝，
申請(專利權)人：中國人民解放軍海軍工程大學，
類型：新型
國別省市：