【技術實現步驟摘要】
本申請屬于鍍膜，具體涉及一種鍍膜載板及鍍膜設備。
技術介紹
1、在太陽能電池生產制備工藝中，通常需要采用氣相沉積技術在電池片表面形成鍍膜層，例如，可以采用pecvd技術在異質結電池片表面形成鈍化膜層。在鍍膜腔室的中設有氣盒，其中射頻傳輸帶，射頻饋入點，加熱絲，勻氣板等均設置在氣盒頂部。
2、相關技術中，通常使用鍍膜載板同時承載多個電池片進入鍍膜腔內，鍍膜過程中，載板位于氣盒底層，硅片放置在鍍膜載板上，以進行鍍膜操作。然而，采用相關技術的鍍膜方式，存在載板中不同位置的電池片上的鍍膜層質量差異較大。
技術實現思路
1、本申請旨在提供一種鍍膜載板及鍍膜設備，能夠解決采用相關技術的鍍膜方式，存在載板中不同位置的電池片上的鍍膜層質量差異較大的問題。
2、為了解決上述技術問題，本申請是這樣實現的：
3、第一方面，本申請實施例提出了一種鍍膜載板，包括：載板本體，所述載板本體具有相對的第一面和第二面，所述第一面中設有若干載料單元，所述載料單元設有承載面；所述第一面包括中間區域及環繞于所述中間區域四周的邊緣區域，位于所述中間區域的所述載料單元的承載面與位于所述邊緣區域的所述載料單元的承載面之間存有高度差。
4、可選地，沿垂直于所述第一面的方向，每個所述載料單元的承載面到所
5、述第一面的距離設為載料深度；自所述第一面的四周邊緣到中心的方向，所述載料單元的載料深度逐漸增大。
6、可選地，沿垂直于所述第一面的方向，每個所述載料單元的
7、可選地，相鄰兩個所述載料單元的承載面的高度差為：-10mm-10mm。
8、可選地，所述載料單元12中環繞所述承載面設有限位凸臺，所述限位凸臺自所述承載面朝向所述第一面突起。
9、可選地，所述限位凸臺朝向所述承載面的一側表面與所述承載面之間呈預設夾角，所述預設夾角的大小與所述限位凸臺的高度呈正相關。
10、可選地，沿垂直于所述承載面的方向，所述限位凸臺的高度為：0-10mm；
11、和/或，所述限位凸臺朝向所述承載面的一側表面與所述承載面之間的預設夾角為：90°-180°。
12、可選地，所述承載面中設有鏤空結構，所述鏤空結構貫穿所述載板本體；
13、或，所述承載面的中設有凹槽，所述凹槽自所述承載面朝向所述第二面的方向凹陷。
14、可選地，若干所述載料單元呈陣列排布；和/或，若干所述載料單元的承載面均平行，且均平行于所述第一面。
15、第二方面，本申請實施例提出了一種鍍膜設備，包括：設備主體及上述任一項所述的鍍膜載板，所述設備主體中設有鍍膜腔，所述鍍膜載板用于承載工件進出所述鍍膜腔。
16、在本申請的實施例中，通過在載板本體的第一面中設置若干載料單元，每個載料單元設有用于承載待鍍工件的承載面，進而，設置位于載板本體的中間區域的載料單元的承載面與位于邊緣區域的載料單元的承載面之間存有高度差，以彌補由于鍍膜參數的差異造成的不同位置工件的鍍膜均勻性差異，從而提升鍍膜載板中不同位置的工件鍍膜均勻性，有助于提升鍍膜質量，且使用成本較低。
17、本申請的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本申請的實踐了解到。
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1.一種鍍膜載板，其特征在于，包括：載板本體，所述載板本體具有相對的第一面和第二面，所述第一面中設有若干載料單元，所述載料單元設有承載面；所述第一面包括中間區域及環繞于所述中間區域四周的邊緣區域，位于所述中間區域的所述載料單元的承載面與位于所述邊緣區域的所述載料單元的承載面之間存有高度差。
2.根據權利要求1所述的鍍膜載板，其特征在于，沿垂直于所述第一面的方向，每個所述載料單元的承載面到所述第一面的距離設為載料深度；自所述第一面的四周邊緣到中心的方向，所述載料單元的載料深度逐漸增大。
3.根據權利要求1所述的鍍膜載板，其特征在于，沿垂直于所述第一面的方向，每個所述載料單元的承載面到所述第一面的距離設為載料深度；自所述第一面的四周邊緣到中心的方向，所述載料單元的載料深度逐漸減小。
4.根據權利要求1-3任一項所述的鍍膜載板，其特征在于，相鄰兩個所述載料單元的承載面的高度差為：-10mm-10mm。
5.根據權利要求1所述的鍍膜載板，其特征在于，所述載料單元中環繞所述承載面設有限位凸臺，所述限位凸臺自所述承載面朝向所述第一面突起。>
6.根據權利要求5所述的鍍膜載板，其特征在于，所述限位凸臺朝向所述承載面的一側表面與所述承載面之間呈預設夾角，所述預設夾角的大小與所述限位凸臺的高度呈正相關。
7.根據權利要求5所述的鍍膜載板，其特征在于，沿垂直于所述承載面的方向，所述限位凸臺的高度為：0-10mm；
8.根據權利要求5所述的鍍膜載板，其特征在于，所述承載面中設有鏤空結構，所述鏤空結構貫穿所述載板本體；
9.根據權利要求1所述的鍍膜載板，其特征在于，若干所述載料單元呈陣列排布；和/或，若干所述載料單元的承載面均平行，且均平行于所述第一面。
10.一種鍍膜設備，其特征在于，包括：設備主體及如權利要求1-9中任一項所述的鍍膜載板，所述設備主體中設有鍍膜腔，所述鍍膜載板用于承載工件進出所述鍍膜腔。
...【技術特征摘要】
1.一種鍍膜載板，其特征在于，包括：載板本體，所述載板本體具有相對的第一面和第二面，所述第一面中設有若干載料單元，所述載料單元設有承載面；所述第一面包括中間區域及環繞于所述中間區域四周的邊緣區域，位于所述中間區域的所述載料單元的承載面與位于所述邊緣區域的所述載料單元的承載面之間存有高度差。
2.根據權利要求1所述的鍍膜載板，其特征在于，沿垂直于所述第一面的方向，每個所述載料單元的承載面到所述第一面的距離設為載料深度；自所述第一面的四周邊緣到中心的方向，所述載料單元的載料深度逐漸增大。
3.根據權利要求1所述的鍍膜載板，其特征在于，沿垂直于所述第一面的方向，每個所述載料單元的承載面到所述第一面的距離設為載料深度；自所述第一面的四周邊緣到中心的方向，所述載料單元的載料深度逐漸減小。
4.根據權利要求1-3任一項所述的鍍膜載板，其特征在于，相鄰兩個所述載料單元的承載面的高度差為：-10mm-10mm。
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【專利技術屬性】
技術研發人員：袁隕來，王建波，徐希翔，
申請(專利權)人：隆基綠能科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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