【技術實現步驟摘要】
本公開涉及半導體，具體涉及一種輔助推舟裝置、推舟裝置和反應爐系統。
技術介紹
1、在對半導體材料進行加工時，通常需要將待加工的片狀材料送入反應爐，在一定的溫度和壓力條件下進行加工。目前行業內通常采用舟結構來承載待加工的、加工中的或者加工后的片狀材料，舟結構由舟托承載，舟托被放置于懸臂槳結構的槳葉支撐端，懸臂槳結構設置于推舟組件，在推舟組件的驅動下，懸臂槳結構將舟結構以及舟結構承載的片狀材料送入反應爐或從反應爐取出。
2、隨著舟結構的重量和長度的不斷增加，懸臂槳結構的槳通常需要做得很長，槳葉支撐端受自身重力和舟托、舟結構以及片狀材料等重力的影響，不可避免地產生變形下垂，因此，需要設置多組調節結構來調節舟托和舟結構進出反應爐時相對于反應爐的位置，調節難度大。
技術實現思路
1、有鑒于此，本公開實施例提供了一種輔助推舟裝置、推舟裝置和反應爐系統，解決了由于懸臂槳結構的槳變形，導致片材載具進出反應爐時相對于反應爐的位置的調節難度大的問題。
2、第一方面，本公開的實施例提供了一種輔助推舟裝置，應用于反應爐和運輸裝置，所述輔助推舟裝置設置于所述反應爐和所述運輸裝置之間，所述反應爐內具有至少一個第一軌道，所述運輸裝置包括至少一個第二軌道，所述第一軌道和所述第二軌道均被配置為承載片材載具；其中，所述輔助推舟裝置包括：支撐組件；至少一個軌道組件，與所述支撐組件可滑動連接，能夠與所述第一軌道或所述第二軌道對接，被配置為承載所述片材載具；至少一組多級驅動組件，所述多級驅動組件包括
3、在一些實施例中，所述輔助推舟裝置還包括：至少一個第一滑軌，設置于所述支撐組件；至少一個第一滑塊，所述第一滑塊與所述第一滑軌可滑動連接，并與除最后一級所述驅動件之外的至少一個所述驅動件的所述固定部連接。
4、在一些實施例中，至少一個所述第一滑塊與第一級所述驅動件的所述固定部連接。
5、在一些實施例中，所述驅動件包括：氣缸，所述氣缸包括缸筒和缸桿，所述缸筒形成所述固定部，所述缸桿形成所述活動部。
6、在一些實施例中，所述多級驅動組件的數量為多組，多組所述多級驅動組件相對于所述軌道組件對稱設置。
7、在一些實施例中，所述軌道組件包括：滑軌，被配置為承載所述片材載具；多個連接塊，設置于所述滑軌的下方，被配置為支撐所述滑軌；連接板，與所述連接塊連接，并與第一級所述驅動件的所述活動部連接。
8、在一些實施例中，所述片材載具包括滾輪，所述滾輪能夠在所述滑軌、所述第一軌道和所述第二軌道上滾動；其中，所述輔助推舟裝置還包括：限位件，設置于所述滑軌的下方，所述限位件具有限位部，所述限位部延伸至所述滑軌的側面，被配置為對所述片材載具進行限位；彈性件，設置于所述限位件的下方，并與所述連接板連接；其中，在所述片材載具被施加沿所述滑軌的延伸方向的推力或拉力的過程中，所述滾輪對所述限位件施加壓力，以壓縮所述彈性件，使所述滾輪越過所述限位件繼續在所述滑軌上滾動。
9、在一些實施例中，所述滾輪包括：第一限位輪；第二限位輪；連接軸，所述連接軸連接所述第一限位輪和所述第二限位輪；其中，所述連接軸與所述滑軌的頂部接觸，所述第一限位輪與所述滑軌的一側接觸，所述第二限位輪與所述滑軌的另一側接觸；其中，所述限位件具有第一承載槽，所述第一承載槽被配置為容納所述滑軌的底部和與所述滑軌的底部連接的所述滑軌的部分側面；其中，所述限位部的上表面具有弧形凹槽，所述弧形凹槽的延伸方向與所述第一承載槽的延伸方向垂直，所述弧形凹槽能夠容納至少部分所述第一限位輪和/或至少部分所述第二限位輪。
10、第二方面，本公開的實施例提供了一種推舟裝置，應用于反應爐和運輸裝置，所述推舟裝置設置于所述反應爐和所述運輸裝置之間，所述反應爐內包括至少一個第一軌道，所述運輸裝置包括至少一個第二軌道，所述第一軌道和所述第二軌道均被配置為承載片材載具；其中，所述推舟裝置包括：第一方面所述的輔助推舟裝置，被配置為承載所述片材載具，并使所述輔助推舟裝置的軌道組件能夠與所述第一軌道或所述第二軌道對接；推舟驅動，能夠夾持所述片材載具；在所述軌道組件與所述第一軌道對接的情況下，所述推舟驅動能夠將所述片材載具由所述軌道組件驅動至所述第一軌道或將所述片材載具由所述第一軌道驅動至所述軌道組件；在所述軌道組件與所述第二軌道對接的情況下，所述推舟驅動能夠將所述片材載具由所述軌道組件驅動至所述第二軌道或將所述片材載具由所述第二軌道驅動至所述軌道組件。
11、第三方面，本公開的實施例提供了一種反應爐系統，包括：反應爐，所述反應爐內具有至少一個第一軌道，所述第一軌道被配置為承載片材載具；運輸裝置，包括至少一個第二軌道，所述第二軌道被配置為承載所述片材載具；如第二方面所述的推舟裝置，設置于所述反應爐與所述運輸裝置之間，被配置為將所述片材載具驅動至所述第一軌道或從所述第一軌道取出所述片材載具，或者將所述片材載具驅動至所述第二軌道或從所述第二軌道取出所述片材載具。
12、在一些實施例中，所述反應爐系統還包括：搬舟裝置，設置于所述推舟裝置的上方，被配置為將所述推舟裝置上承載的所述片材載具搬走，或將所述片材載具搬至所述推舟裝置。
13、本公開實施例提供的一種輔助推舟裝置，應用于反應爐和運輸裝置，輔助推舟裝置設置于反應爐和運輸裝置之間，反應爐內具有至少一個第一軌道，運輸裝置包括至少一個第二軌道，第一軌道和第二軌道均被配置為承載片材載具。輔助推舟裝置包括支撐組件、至少一個軌道組件和至少一組多級驅動組件。該輔助推舟裝置采用軌道組件、第一軌道和第二軌道承載片材載具，取代了懸臂槳結構，避免了懸臂槳結構變形的問題，從而降低了片材載具進出反應爐時相對于反應爐的位置的調節難度。
14、另外，該輔助推舟裝置采用多級驅動組件驅動軌道組件向靠近第一軌道的方向運動，以使軌道組件與第一軌道對接，從而實現片材載具在輔助推舟裝置與反應爐之間的自動化運輸。多級驅動組件還可以驅動軌道組件向靠近第二軌道的方向運動，以使軌道組件與第二軌道對接，從而實現片材載具在輔助推舟裝置與運輸裝置之間的自動化運輸。
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1.一種輔助推舟裝置，其特征在于，應用于反應爐和運輸裝置，所述輔助推舟裝置設置于所述反應爐和所述運輸裝置之間，所述反應爐內具有至少一個第一軌道，所述運輸裝置包括至少一個第二軌道，所述第一軌道和所述第二軌道均被配置為承載片材載具；
2.根據權利要求1所述的輔助推舟裝置，其特征在于，還包括：
3.根據權利要求2所述的輔助推舟裝置，其特征在于，至少一個所述第一滑塊與第一級所述驅動件的所述固定部連接。
4.根據權利要求1至3任一項所述的輔助推舟裝置，其特征在于，所述驅動件包括：
5.根據權利要求1至3任一項所述的輔助推舟裝置，其特征在于，所述多級驅動組件的數量為多組，多組所述多級驅動組件相對于所述軌道組件對稱設置。
6.根據權利要求1至3任一項所述的輔助推舟裝置，其特征在于，所述軌道組件包括：
7.根據權利要求6所述的輔助推舟裝置，其特征在于，所述片材載具包括滾輪，所述滾輪能夠在所述滑軌、所述第一軌道和所述第二軌道上滾動；
8.根據權利要求7所述的輔助推舟裝置，其特征在于，
9.一種推舟裝置，
10.一種反應爐系統，其特征在于，包括：
11.根據權利要求10所述的反應爐系統，其特征在于，還包括：
...【技術特征摘要】
1.一種輔助推舟裝置，其特征在于，應用于反應爐和運輸裝置，所述輔助推舟裝置設置于所述反應爐和所述運輸裝置之間，所述反應爐內具有至少一個第一軌道，所述運輸裝置包括至少一個第二軌道，所述第一軌道和所述第二軌道均被配置為承載片材載具；
2.根據權利要求1所述的輔助推舟裝置，其特征在于，還包括：
3.根據權利要求2所述的輔助推舟裝置，其特征在于，至少一個所述第一滑塊與第一級所述驅動件的所述固定部連接。
4.根據權利要求1至3任一項所述的輔助推舟裝置，其特征在于，所述驅動件包括：
5.根據權利要求1至3任一項所述的輔助推舟裝置，其特征在于，所述多級驅動組件的數量為多組，多組所述多級驅動組件相對于所述軌道組件對稱設置。...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱太榮，張武，林佳繼，
申請(專利權)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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