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【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術屬于單晶硅片脫膠領域,具體的說是一種單晶硅片脫膠設備。
技術介紹
1、由于單晶硅片具有壽命長和穩(wěn)定性好等優(yōu)點,因此其成為了太陽能板的關鍵材料,單晶硅片是通過將硅棒切割而來的,在切割的過程中需要使用膠水將硅棒固定在晶托上,因此需要使用到脫膠設備對單晶硅片和晶托進行分離,才可對單晶硅片進行進一步加工。
2、公開號為cn117259319a的一項專利申請公開了一種單晶硅片生產用自動脫膠設備,包括晶托,還包括:盛裝脫膠液的脫膠池和安裝在脫膠池內的側夾機構,側夾機構用于夾持硅片;通過將硅片與晶托浸泡在脫膠液中的方式,實現(xiàn)對硅片與晶托的分離與脫膠。
3、上述方案通過脫膠液溶解硅片與晶托之間膠水的方式,達到分離硅片與晶托的目的,在浸泡的過程中,膠水先被軟化再被分解,軟化的過程膠水由固態(tài)狀轉變?yōu)榭闪鲃拥囊簯B(tài)狀,由于軟化時,液態(tài)狀的膠水會在重力的作用下,流至硅片的表面,使得硅片表面的膠水占比增大,使得硅片上膠水的分解過程困難,脫膠效率降低。
4、為此,本專利技術提供一種單晶硅片脫膠設備。
技術實現(xiàn)思路
1、為了彌補現(xiàn)有技術的不足,解決
技術介紹
中所提出的至少一個技術問題。
2、本專利技術解決其技術問題所采用的技術方案是:本專利技術所述的一種單晶硅片脫膠設備,包括用于盛裝脫膠液的機體和若干用于支撐單晶硅片的承接組件,還包括:滑動安裝在所述機體內的支架,所述支架用于放置晶托;兩組對稱且滑動安裝在所述機體內的伸縮桿,所述承接組件安裝在兩個對稱設置的所
3、優(yōu)選的,所述承接組件還包括:兩個固定安裝在所述伸縮桿上的固定桿;開設在所述一號半環(huán)板上的凹槽,所述擦塊通過固定板在所述一號半環(huán)板上滑動,所述凹槽上含有若干所述擦塊;轉動安裝在所述固定桿上的二號半環(huán)板;連接所述二號半環(huán)板和所述固定板的連接桿,若干所述連接桿均勻分成兩組,兩組所述連接桿分別與兩個二號半環(huán)板連接;轉動安裝在所述固定桿上的圓塊,所述圓塊用于驅動所述二號半環(huán)板旋轉。
4、優(yōu)選的,所述二號半環(huán)板為異形狀,所述連接桿采用伸縮式結構,所述連接桿驅動所述擦塊在旋轉至與晶托不接觸后,所述擦塊在所述二號半環(huán)板上向遠離硅片的方向滑動。
5、優(yōu)選的,所述二號半環(huán)板上設置有多個一號空腔,所述連接桿采用中空結構,所述一號空腔、所述連接桿和所述固定板之間連通。
6、優(yōu)選的,所述接板上固定安裝有凸塊,所述凸塊位于所述擦塊的移動范圍內,所述凸塊用于擠壓所述海綿塊。
7、優(yōu)選的,所述接板上含有若干所述凸塊,所述海綿塊在旋轉一周的過程中被若干所述凸塊擠壓多次。
8、優(yōu)選的,所述承接組件還包括轉動安裝在所述接板上的二號環(huán)形塊,所述二號環(huán)形塊用于與所述接板組合,將晶體固定在所述二號環(huán)形塊與所述接板之間,該設備還包括上下滑動安裝在所述機體內壁上的滑槽板和滑動安裝在所述滑槽板上的滑塊,所述伸縮桿轉動安裝在所述滑塊上。
9、優(yōu)選的,所述凸塊上設置有漏孔,所述凸塊與所述接板之間形成二號空腔,所述海綿塊通過所述凸塊擠壓時,所述海綿塊內的液體通過所述漏孔流入所述二號空腔內,所述機體內設置有容納腔,所述容納腔內安裝有二號泵體,所述二號泵體與所述二號空腔連通。
10、優(yōu)選的,所述凸塊和所述二號環(huán)形塊靠近硅片側壁的一面上安裝有若干彈性塊。
11、優(yōu)選的,所述固定桿上固定安裝有一號環(huán)形塊,所述二號半環(huán)板的內側上開設有若干圓孔,所述二號半環(huán)板通過所述圓孔與所述一號環(huán)形塊連通,所述機體底部設置有一號泵體,所述一號泵體通過所述固定桿與所述一號環(huán)形塊連通。
12、本專利技術的有益效果如下:
13、1.本專利技術所述的一種單晶硅片脫膠設備,通過設置海綿塊,對軟化后的膠水進行阻擋,避免了膠水在軟化的過程中,流至硅片表面的問題,由于硅片與膠水之間存在黏附力的影響,因此相較于膠水流至硅片表面,該方式減少了硅片與膠水黏力的影響,可加快晶托與硅片的脫膠效率,配合二號半環(huán)板,對多個海綿塊進行旋轉,可以帶動海綿塊附近的脫膠液流動,使得晶托和硅片上的膠水可充分地與脫膠液接觸
14、2.本專利技術所述的一種單晶硅片脫膠設備,通過設置一號抽吸泵,將海綿塊附近的溶液與軟化的膠水被吸附至海綿塊的內部,配合凸塊,將海綿塊內的溶液和軟化膠水擠入二號空腔內,通過二號泵體,將其抽至容納腔內保存,由于海綿塊內吸附的溶液,其被溶解的膠水含量占比較高,脫膠液的占比較少,因此通過二號泵體將該部分的溶液被抽至容納腔內保存,可使得機體內溶液中的脫膠液仍然處于一個較高的占比,有利于硅片與晶托上的膠水與脫膠液充分接觸,硅片與晶托上的膠水快速脫膠。
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1.一種單晶硅片脫膠設備,包括用于盛裝脫膠液的機體(1)和若干用于支撐單晶硅片的承接組件(2),其特征在于,還包括:
2.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述承接組件(2)還包括:
3.根據(jù)權利要求2所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述二號半環(huán)板(28)為異形狀,所述連接桿(29)采用伸縮式結構,所述連接桿(29)驅動所述擦塊(23)在旋轉至與晶托不接觸后,所述擦塊(23)在所述二號半環(huán)板(28)上向遠離硅片的方向滑動。
4.根據(jù)權利要求2所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述二號半環(huán)板(28)上設置有多個一號空腔(5),所述連接桿(29)采用中空結構,所述一號空腔(5)、所述連接桿(29)和所述固定板(231)之間連通。
5.根據(jù)權利要求3所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述接板(22)上固定安裝有凸塊(211),所述凸塊(211)位于所述擦塊(23)的移動范圍內,所述凸塊(211)用于擠壓所述海綿塊(232)。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述
7.根據(jù)權利要求6所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述承接組件(2)還包括轉動安裝在所述接板(22)上的二號環(huán)形塊(212),所述二號環(huán)形塊(212)用于與所述接板(22)組合,將晶體固定在所述二號環(huán)形塊(212)與所述接板(22)之間,該設備還包括上下滑動安裝在所述機體(1)內壁上的滑槽板(6)和滑動安裝在所述滑槽板(6)上的滑塊(7),所述伸縮桿(4)轉動安裝在所述滑塊(7)上。
8.根據(jù)權利要求7所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述凸塊(211)上設置有漏孔(8),所述凸塊(211)與所述接板(22)之間形成二號空腔(9),所述海綿塊(232)通過所述凸塊(211)擠壓時,所述海綿塊(232)內的液體通過所述漏孔(8)流入所述二號空腔(9)內,所述機體(1)內設置有容納腔(11),所述容納腔(11)內安裝有二號泵體(10),所述二號泵體(10)與所述二號空腔(9)連通。
9.根據(jù)權利要求8所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述凸塊(211)和所述二號環(huán)形塊(212)靠近硅片側壁的一面上安裝有若干彈性塊(12)。
10.根據(jù)權利要求9所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述固定桿(24)上固定安裝有一號環(huán)形塊(13),所述二號半環(huán)板(28)的內側上開設有若干圓孔(14),所述二號半環(huán)板(28)通過所述圓孔(14)與所述一號環(huán)形塊(13)連通,所述機體(1)底部設置有一號泵體(15),所述一號泵體(15)通過所述固定桿(24)與所述一號環(huán)形塊(13)連通。
...【技術特征摘要】
1.一種單晶硅片脫膠設備,包括用于盛裝脫膠液的機體(1)和若干用于支撐單晶硅片的承接組件(2),其特征在于,還包括:
2.根據(jù)權利要求1所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述承接組件(2)還包括:
3.根據(jù)權利要求2所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述二號半環(huán)板(28)為異形狀,所述連接桿(29)采用伸縮式結構,所述連接桿(29)驅動所述擦塊(23)在旋轉至與晶托不接觸后,所述擦塊(23)在所述二號半環(huán)板(28)上向遠離硅片的方向滑動。
4.根據(jù)權利要求2所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述二號半環(huán)板(28)上設置有多個一號空腔(5),所述連接桿(29)采用中空結構,所述一號空腔(5)、所述連接桿(29)和所述固定板(231)之間連通。
5.根據(jù)權利要求3所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述接板(22)上固定安裝有凸塊(211),所述凸塊(211)位于所述擦塊(23)的移動范圍內,所述凸塊(211)用于擠壓所述海綿塊(232)。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述接板(22)上含有若干所述凸塊(211),所述海綿塊(232)在旋轉一周的過程中被若干所述凸塊(211)擠壓多次。
7.根據(jù)權利要求6所述的一種單晶硅片脫膠設備,其特征在于:所述承接組件(2)還包括轉動安裝在所述接板(22)上...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員:高樹良,李小鋒,張懌,
申請(專利權)人:連城凱克斯科技有限公司,
類型:發(fā)明
國別省市:
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