【技術實現步驟摘要】
本技術涉及清洗裝置，特別涉及一種單晶硅硅片清洗裝置。
技術介紹
1、在芯片制造行業中，硅片切割是相對基礎的加工，而切割過程中必然會出現各種被切割下的單晶硅碎屑，這些碎屑會影響后續加工給剩余工序帶來額外的誤差，不利于后續精確。
2、現有的清洗裝置在使用時存在一定的弊端，首先，現有的清洗裝置不方便對單晶硅硅片進行翻面，影響清洗效率，其次，現有的清洗裝置不方便進行二次清洗，影響情洗效果，為此，提出一種單晶硅硅片清洗裝置。
技術實現思路
1、本技術的主要目的在于提供一種單晶硅硅片清洗裝置，解決了現有的清洗裝置不方便對單晶硅硅片進行翻面，影響清洗效率，現有的清洗裝置不方便進行二次清洗，影響情洗效果的問題。
2、為實現上述目的，本技術采取的技術方案為：
3、一種單晶硅硅片清洗裝置，包括安裝箱，所述安裝箱的內部下方等距固定連接有兩個第一安裝板，兩個所述第一安裝板的一側均開設有第一安裝孔，兩個所述第一安裝孔內活動套接有第一滾軸，所述第一滾軸的圓周外表面上纏繞有第一傳送帶，所述第一傳送帶的內側纏繞有第二滾軸，所述第二滾軸的兩端均活動套接有第二安裝板，兩個所述第二安裝板的下方均固定連接著安裝箱的內部，兩個所述第二安裝板之間固定連接有弧形的第一導向板，且所述第一導向板的一側抵接著第一傳送帶的表面，所述兩個所述第二安裝板之間固定連接在第一導向板的外側固定連接有弧形的第二導向板，所述安裝箱的內部下方等距固定連接有兩個第三安裝板，兩個所述第三安裝板的一側均開設有第二安裝孔，
4、進一步的，所述第二傳送帶的內側纏繞有第四滾軸，所述第四滾軸的兩端均活動套接有第四安裝板，兩個所述第四安裝板的下方均固定連接著安裝箱的內部，所述第一滾軸的一端固定連接有第一電機，所述第一電機的下方固定連接有第一固定板，所述第一固定板的內側固定連接著鄰近的第一安裝板，所述第四滾軸的一端固定連接有第二電機，所述第二電機的下方固定連接有第二固定板，所述第二固定板的內側固定連接著鄰近的第四安裝板。
5、進一步的，所述安裝箱的上方固定連接有水箱，所述安裝箱的上方開設有第一連接孔，所述水箱的下方固定連接有第一水管，所述第一水管穿過第一連接孔，所述第一水管的下方固定連接有第一噴頭，且所述第一噴頭設置于第一傳送帶的正上方，所述安裝箱的上方開設有第二連接孔，所述水箱的下方固定連接有第二水管，所述第二水管穿過第二連接孔，所述第二水管的下方固定連接有第二噴頭，且所述第二噴頭設置于第二傳送帶的正上方。
6、進一步的，所述第二傳送帶的一側抵接有收集盒，所述收集盒的兩側均固定連接有第五安裝板，兩個所述第五安裝板的下方均固定連接著安裝箱的內部，兩個所述第五安裝板的外側均開設有第三安裝孔，兩個所述第三安裝孔內穿過連接有第一清掃刷輥，兩個所述第五安裝板的外側在第三安裝孔下方均開設有第四安裝孔，兩個所述第四安裝孔內穿過連接有第二清掃刷輥，所述收集盒的中間開設有清洗槽，所述第一清掃刷輥設置于清洗槽的上方，所述第二清掃刷輥設置于清洗槽的下方。
7、進一步的，所述第一清掃刷輥一端固定連接有第一齒輪，所述第一齒輪的外側固定連接有第三電機，所述第三電機的上方固定連接有第三固定板，所述第三固定板的一側固定連接著鄰近的第五安裝板，所述第一齒輪的下方齒接有第二齒輪，所述第二齒輪的內側固定連接著第二清掃刷輥。
8、進一步的，所述安裝箱的下方等距固定連接有四個支腿，所述安裝箱的下方固定連接有排出管，所述安裝箱的一側固定連接有操作面板。
9、與現有技術相比，本技術具有如下有益效果：
10、1.本技術通過第一導向板和第二導向板的設置，方便了將單晶硅硅片進行翻面清洗，提高清洗效率，將單晶硅硅片放置在第一傳送帶上，啟動第一電機，第一電機通過第一滾軸帶動第一傳送帶在第一滾軸和第二滾軸上運動，第一傳送帶帶動單晶硅硅片運動至第一導向板和第二導向板之間，單晶硅片經過第一導向板和第二導向板導向實現翻面，同時單晶硅硅片在第一傳送帶上經過第一噴頭噴淋進行清洗，翻面后的單晶硅硅片受重力作用落在第二傳送帶表面，啟動第二電機，第二電機帶動第四滾軸旋轉，第四滾軸帶動第二傳送帶在第三滾軸和第四滾軸表面運動，第二傳送帶帶動單晶硅硅片運動，單晶硅硅片在第二傳送帶上經過第二噴頭噴淋進行清洗，通過這樣的設置，方便了將單晶硅硅片進行翻面清洗，提高清洗效率。
11、2.本技術通過第一清掃刷輥和第二清掃刷輥的設置，方便了進行二次清洗，提高了清洗效果，單晶硅硅片經過第二傳送帶帶動后落在收集盒上，啟動第三電機，第三電機帶動第一齒輪旋轉，第一齒輪帶動第一清掃刷輥旋轉，同時第一齒輪通過第二齒輪帶動第二清掃刷輥旋轉，第一清掃刷輥和第二清掃刷輥在旋轉過程中對經過收集盒上清洗槽的單晶硅硅片進行清洗，通過這樣的設置，方便了進行二次清洗，提高了清洗效果。
12、該裝置中未涉及部分均與現有技術相同或可采用現有技術加以實現。
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1.一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：包括安裝箱（2），所述安裝箱（2）的內部下方等距固定連接有兩個第一安裝板，兩個所述第一安裝板的一側均開設有第一安裝孔，兩個所述第一安裝孔內活動套接有第一滾軸（8），所述第一滾軸（8）的圓周外表面上纏繞有第一傳送帶（9），所述第一傳送帶（9）的內側纏繞有第二滾軸（10），所述第二滾軸（10）的兩端均活動套接有第二安裝板，兩個所述第二安裝板的下方均固定連接著安裝箱（2）的內部，兩個所述第二安裝板之間固定連接有弧形的第一導向板（22），且所述第一導向板（22）的一側抵接著第一傳送帶（9）的表面，所述兩個所述第二安裝板之間固定連接在第一導向板（22）的外側固定連接有弧形的第二導向板（23），所述安裝箱（2）的內部下方等距固定連接有兩個第三安裝板，兩個所述第三安裝板的一側均開設有第二安裝孔，兩個所述第二安裝孔內活動套接有第三滾軸（13），所述第三滾軸（13）的圓周外表面上纏繞有第二傳送帶（14），且所述第二傳送帶（14）設置于第二導向板（23）的下方。
2.根據權利要求1所述的一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：所述第二傳送帶（14）的內
3.根據權利要求2所述的一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：所述安裝箱（2）的上方固定連接有水箱（4），所述安裝箱（2）的上方開設有第一連接孔，所述水箱（4）的下方固定連接有第一水管，所述第一水管穿過第一連接孔，所述第一水管的下方固定連接有第一噴頭（6），且所述第一噴頭（6）設置于第一傳送帶（9）的正上方，所述安裝箱（2）的上方開設有第二連接孔，所述水箱（4）的下方固定連接有第二水管，所述第二水管穿過第二連接孔，所述第二水管的下方固定連接有第二噴頭（11），且所述第二噴頭（11）設置于第二傳送帶（14）的正上方。
4.根據權利要求3所述的一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：所述第二傳送帶（14）的一側抵接有收集盒（21），所述收集盒（21）的兩側均固定連接有第五安裝板，兩個所述第五安裝板的下方均固定連接著安裝箱（2）的內部，兩個所述第五安裝板的外側均開設有第三安裝孔，兩個所述第三安裝孔內穿過連接有第一清掃刷輥（19），兩個所述第五安裝板的外側在第三安裝孔下方均開設有第四安裝孔，兩個所述第四安裝孔內穿過連接有第二清掃刷輥（20），所述收集盒（21）的中間開設有清洗槽，所述第一清掃刷輥（19）設置于清洗槽的上方，所述第二清掃刷輥（20）設置于清洗槽的下方。
5.根據權利要求4所述的一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：所述第一清掃刷輥（19）一端固定連接有第一齒輪（17），所述第一齒輪（17）的外側固定連接有第三電機（16），所述第三電機（16）的上方固定連接有第三固定板，所述第三固定板的一側固定連接著鄰近的第五安裝板，所述第一齒輪（17）的下方齒接有第二齒輪（18），所述第二齒輪（18）的內側固定連接著第二清掃刷輥（20）。
6.根據權利要求1所述的一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：所述安裝箱（2）的下方等距固定連接有四個支腿（1），所述安裝箱（2）的下方固定連接有排出管（5），所述安裝箱（2）的一側固定連接有操作面板（3）。
...【技術特征摘要】
1.一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：包括安裝箱（2），所述安裝箱（2）的內部下方等距固定連接有兩個第一安裝板，兩個所述第一安裝板的一側均開設有第一安裝孔，兩個所述第一安裝孔內活動套接有第一滾軸（8），所述第一滾軸（8）的圓周外表面上纏繞有第一傳送帶（9），所述第一傳送帶（9）的內側纏繞有第二滾軸（10），所述第二滾軸（10）的兩端均活動套接有第二安裝板，兩個所述第二安裝板的下方均固定連接著安裝箱（2）的內部，兩個所述第二安裝板之間固定連接有弧形的第一導向板（22），且所述第一導向板（22）的一側抵接著第一傳送帶（9）的表面，所述兩個所述第二安裝板之間固定連接在第一導向板（22）的外側固定連接有弧形的第二導向板（23），所述安裝箱（2）的內部下方等距固定連接有兩個第三安裝板，兩個所述第三安裝板的一側均開設有第二安裝孔，兩個所述第二安裝孔內活動套接有第三滾軸（13），所述第三滾軸（13）的圓周外表面上纏繞有第二傳送帶（14），且所述第二傳送帶（14）設置于第二導向板（23）的下方。
2.根據權利要求1所述的一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：所述第二傳送帶（14）的內側纏繞有第四滾軸（15），所述第四滾軸（15）的兩端均活動套接有第四安裝板，兩個所述第四安裝板的下方均固定連接著安裝箱（2）的內部，所述第一滾軸（8）的一端固定連接有第一電機（7），所述第一電機（7）的下方固定連接有第一固定板，所述第一固定板的內側固定連接著鄰近的第一安裝板，所述第四滾軸（15）的一端固定連接有第二電機（12），所述第二電機（12）的下方固定連接有第二固定板，所述第二固定板的內側固定連接著鄰近的第四安裝板。
3.根據權利要求2所述的一種單晶硅硅片清洗裝置，其特征在于：所述安裝箱（2）的上方固定連接有水箱（4），所述安裝箱（2）的上方開...
【專利技術屬性】
技術研發人員：成瑞娥，呂健，姚毅，李志偉，陳立柱，吳坤，陳杰，尤飛，周敏，
申請(專利權)人：無錫中環應用材料有限公司，
類型：新型
國別省市：
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