【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及波前檢測，具體而言，涉及一種片上波導光柵天線相位誤差檢測方法。
技術介紹
1、人類獲取目標信息的75%來自圖像，其中三維圖像信息的獲取和分析日益重要。激光雷達是精確、快速獲取目標三維圖像的主流前沿技術。進入新世紀前后，人類已經成功將激光雷達技術用于探測空間、海洋和地球深部。隨著近期人工智能、無人駕駛、3d打印等技術的興起，激光雷達技術展示了廣闊的應用前景。目前激光雷達技術存在一個致命的缺陷：其目前廣泛采用機械組件來實現往復的激光掃描。這種大型且緩慢的光學機械系統不但對溫度和沖擊十分敏感，且成本極高。以上情況導致其在軍用和民用領域的使用范圍受限。
2、片上波導光柵天線采用相控陣技術實現光束掃描，通過控制表面的大量小型光學天線單元間的相位，控制光波的傳播的方向。
3、波導光柵天線需要高密度片上集成技術實現大的發射和接收口徑。然而，由于制造缺陷，天線間不可避免地存在光路的長度差異，這將誘導處于隨機分布的、并且時間恒定的初始相位誤差。如果沒有適當的相位檢測和校準，會破壞遠場掃描光斑的形態，遠場模式非常混亂，導致主瓣能量降低和旁瓣的增加、甚至掃描光斑的破碎，這將引起探測距離的降低和虛警的產生。
4、目前波導光柵天線的相位誤差檢測和校正主要是以遠場光斑質量為評價指標，并采用迭代算法進行優化，其技術局限性在于：
5、(1)?由于采用迭代優化算法，存在校正時間長的問題。
6、(2)?該方法并沒有直接對波導光柵天線間的相位誤差進行檢測，而是采用遠場信息直接進行校正，并采用遠
技術實現思路
1、為解決以上問題，本專利技術提出一種片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，該方法包括：
2、s110，利用4f光學系統對波導光柵天線近場進行放大，并利用相機對放大后的近場進行接收，其中，激光光源發出的光在到達4f光學系統之前，首先經由光纖輸入到光纖分束器，光纖分束器將輸入光分為兩路：第一路光經過光纖到達耦合器，經由端面耦合或者光柵耦合輸入到片上波導，并被片上分束器分為多路，經由波導光柵天線輻射到自由空間，輻射到自由空間的光經過由顯微物鏡和筒鏡組成的4f系統；
3、s120，通過傾斜入射的平面參考光對相機靶面進行照射，與波導光柵天線放大后的近場發生干涉，形成干涉圖像，利用相機采集該干涉圖像，其中傾斜入射的平面參考光的形成過程為：光纖分束器將輸入光分為兩路：第二路光經過光纖和準直透鏡，形成平面參考光，平面參考光經過放置在筒鏡后的分光鏡反射后形成傾斜入射的平面參考光；
4、s130，通過圖像處理算法，獲取各波導光柵天線單元干涉圖像的一維正弦干涉曲線，計算一維正弦干涉曲線的周期，以及各波導光柵天線單元干涉圖像的一維正弦干涉曲線峰值間的差值，將差值除以周期再乘以波長即為各波導光柵天線單元之間相位誤差的大小。
5、本專利技術相比于現有技術的有益效果在于：
6、(1)?片上波導光柵天線相位誤差檢測裝置可用于對波導光柵天線近場的放大，實現相機對波導光柵天線近場的充分采樣。
7、(2)?片上波導光柵天線相位誤差檢測方法可以實現對波導光柵天線單元間相位誤差的直接檢測。
8、(3)?片上波導光柵天線相位誤差檢測方法及裝置可以實現對波導光柵天線單元間相位誤差校正水平的直接評價。
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1.一種片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據權利要求1所述的片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，
5.根據權利要求1所述的片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，
6.根據權利要求1所述的片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，
7.根據權利要求1所述的片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，還包括：
【技術特征摘要】
1.一種片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據權利要求1所述的片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的片上波導光柵天線相位誤差檢測方法，其特征在于，
4.根據權利要求1所述的片上波導光柵天線...
【專利技術屬性】
技術研發人員：楊旭，李楓，耿超，李新陽，
申請(專利權)人：中國科學院光電技術研究所，
類型：發明
國別省市：
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