【技術實現步驟摘要】
本技術涉及太陽能電池設備，尤其是涉及一種石墨舟及鍍膜系統。
技術介紹
1、等離子體增強化學氣相沉積(plasma?enhanced?chemical?vapor?deposition，pecvd)的技術原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預定的溫度，然后通入適量的反應氣體，氣體經一系列化學反應和等離子體反應，在樣品表面形成固態薄膜。
2、石墨舟是pecvd鍍膜過程中的重要部件，直接影響到電場的分布、等離子的產生、氣流的走向、膜的品質等。目前的石墨舟采用方形結構，而反應爐管主要是圓管結構，這就使得反應爐管的反應腔室內空間利用率較低，單次裝片量較低，產能較低。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種石墨舟及鍍膜系統，以解決現有技術中存在至少一種技術問題。本技術提供的諸多技術方案中的優選技術方案所能產生的諸多技術效果詳見下文闡述。
2、為實現上述目的，本技術提供了以下技術方案：
3、本技術提供的石墨舟，包括多個層疊設置的石墨舟片，其中，多個層疊設置的所述石墨舟片的寬度至少具有兩種尺寸；
4、多個所述石墨舟片從一側到另一側按照寬度依次減小的順序層疊設置；
5、或者，多個所述石墨舟片從中部向兩側按照寬度依次減小的順序層疊設置。
6、作為本技術進一步的改進，多個層疊設置的所述石墨舟片包括兩組以上的舟片組:其中，同一個所述舟片組中的所述石墨舟片的寬度相同，不同所述舟片
7、作為本技術進一步的改進，多個層疊設置的所述石墨舟片包括交替且絕緣設置的第一石墨舟片和第二石墨舟片；多個所述第一石墨舟片電連接在一起，多個所述第二石墨舟片電連接在一起；
8、所述石墨舟還包括支撐桿、第一電極桿和第二電極桿，多個層疊設置的所述石墨舟片設置于所述支撐桿上，所述第一電極桿和所述第二電極桿設置在所述石墨舟底部；
9、所述第一電極桿與多個所述第一石墨舟片電連接，所述第二電極桿與多個所述第二石墨舟片電連接。
10、作為本技術進一步的改進，所述第一電極桿和所述第二電極桿均與所述支撐桿固定連接，所述支撐桿用于對所述第一電極桿和所述第二電極桿起支撐固定作用。
11、作為本技術進一步的改進，多個層疊設置的所述石墨舟片包括沿所述石墨舟長度方向相對的第一端和第二端；
12、所述第一電極桿與多個所述第一石墨舟片的第一端電連接，所述第二電極桿與多個所述第二石墨舟片的第二端電連接。
13、作為本技術進一步的改進，所述第一電極桿和所述第二電極桿分別設置在所述石墨舟長度方向上的同一側。
14、作為本技術進一步的改進，多個所述第一石墨舟片通過正極導電塊與所述第一電極桿連接；多個所述第二石墨舟片通過負極導電塊與所述第二電極桿連接。
15、作為本技術進一步的改進，所述正極導電塊包括第一正電極下支撐塊、第一正電極上支撐塊和多個正極導電隔塊，所述負極導電塊包括第一負電極下支撐塊、第一負電極上支撐塊和多個負極導電隔塊；
16、所述第一正電極下支撐塊和所述第一負電極下支撐塊設置在所述支撐桿上，所述第一正電極下支撐塊與所述第一電極桿連接；所述第一負電極下支撐塊與所述第二電極桿連接；同一舟片組內，間隔設置的兩個所述第一石墨舟片之間通過正極導電隔塊連接，間隔設置的兩個所述第二石墨舟片之間通過負極導電隔塊連接；
17、所述第一正電極上支撐塊與設置在第一舟片組中最靠近第二舟片組的、與所述第一電極桿電連接的石墨舟片連接，所述第一負電極上支撐塊與設置在所述第一舟片組中最靠近第二舟片組的與所述第二電極桿電連接的石墨舟片連接；
18、其中，第一舟片組包括寬度最大的舟片組；所述第二舟片組包括所述石墨舟中除去所述第一舟片組之后剩余的舟片組。
19、作為本技術進一步的改進，所述正極導電塊還包括第二正電極下支撐塊和第二正電極上支撐塊，所述負極導電塊還包括第二負電極下支撐塊和第二負電極上支撐塊；
20、所述第一正電極上支撐塊向所述第二負電極上支撐塊方向延伸，且所述第一正電極上支撐塊和所述第二負電極上支撐塊之間設置有絕緣墊塊，所述第一負電極上支撐塊向所述第二正電極上支撐塊方向延伸，所述第二正電極上支撐塊和所述第一負電極上支撐塊之間設置有絕緣墊塊；
21、所述第一正電極下支撐塊向所述第二負電極下支撐塊方向延伸，且所述第一正電極下支撐塊與第二負電極下支撐塊間設置有絕緣墊塊；所述第一負電極下支撐塊向所述第二正電極下支撐塊方向延伸，所述第二正電極下支撐塊與所述第一負電極下支撐塊間設置有絕緣墊塊。
22、作為本技術進一步的改進，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片均包括至少一個舟耳，所述第一石墨舟片通過所述舟耳與所述正極導電塊中的至少一種連接，所述第二石墨舟片通過所述舟耳與所述負極導電塊中的至少一種連接。
23、作為本技術進一步的改進，在所述石墨舟片的長度方向具有相對設置的第一端和第二端，所述第一端包括一個或兩個舟耳，所述第二端中包括一個或者兩個舟耳。
24、作為本技術進一步的改進，所述石墨舟片設置有一種以上規格尺寸的放置槽，所述放置槽用于放置與所述放置槽尺寸匹配的電極片。
25、作為本技術進一步的改進，一種以上的所述放置槽的長度方向相互平行，一種以上的所述放置槽的寬度方向相互平行。
26、一種鍍膜系統，包含管式鍍膜爐以及至少一組如上所述的石墨舟。
27、作為本技術進一步的改進，所述石墨舟至少設置有兩組，各所述石墨舟沿所述管式鍍膜爐長度方向設置依次設置在管式鍍膜爐內。
28、作為本技術進一步的改進，所述石墨舟的所述石墨舟片呈水平層疊設置或者豎直層疊設置。
29、本技術的有益效果是：本技術提供的石墨舟及鍍膜系統，包括多個層疊設置的石墨舟片，其中，多個層疊設置的所述石墨舟片的寬度至少具有兩種尺寸，多個石墨舟片從一側到另一側按照寬度依次減小的順序層疊設置；或者，多個所述石墨舟片從中部向兩側按照寬度依次減小的順序層疊設置，能夠根據管式鍍膜爐反應腔的內部空間進行合理化布置，充分利用反應腔室內遠離中心的空間，從而能夠增加石墨舟的單次載片量，提高反應腔室的空間利用率，提高產能。
30、進一步地，本技術中，在石墨舟的第一端和第二端分別連接有第一電極桿和第二電極桿，第一電極桿和第二電極桿分別外部的正負電極連接。由于第一電極桿和第二電極桿位于石墨舟的第一端和第二端，因此，在高頻條件下，在石墨舟后端不會產生功率損失，能夠使石墨舟片電磁場分布更加均勻，避免石墨舟后端駐波功率損失以及電磁場分布不均勻的問題，從而有效提升鍍膜質量。
31、另外，本技術中，第一電極桿和第二電極桿設置在管式鍍膜爐內底部，這樣實現了石墨舟放置本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種石墨舟，其特征在于，包括多個層疊設置的石墨舟片，其中，多個層疊設置的所述石墨舟片的寬度至少具有兩種尺寸；
2.根據權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，多個層疊設置的所述石墨舟片包括兩組以上的舟片組:其中，同一個所述舟片組中的所述石墨舟片的寬度相同，不同所述舟片組中的所述石墨舟片的寬度不同。
3.根據權利要求2所述的石墨舟，其特征在于，多個層疊設置的所述石墨舟片包括交替且絕緣設置的第一石墨舟片和第二石墨舟片；多個所述第一石墨舟片電連接在一起，多個所述第二石墨舟片電連接在一起；
4.根據權利要求3所述的石墨舟，其特征在于，所述第一電極桿和所述第二電極桿均與所述支撐桿固定連接，所述支撐桿用于對所述第一電極桿和所述第二電極桿起支撐固定作用。
5.根據權利要求3所述的石墨舟，其特征在于，多個層疊設置的所述石墨舟片包括沿所述石墨舟長度方向相對的第一端和第二端；
6.根據權利要求5所述的石墨舟，其特征在于，所述第一電極桿和所述第二電極桿分別設置在所述石墨舟長度方向上的同一側。
7.根據權利要求3所述的石墨舟，其特征
8.根據權利要求7所述的石墨舟，其特征在于，所述正極導電塊包括第一正電極下支撐塊、第一正電極上支撐塊和多個正極導電隔塊，所述負極導電塊包括第一負電極下支撐塊、第一負電極上支撐塊和多個負極導電隔塊；
9.根據權利要求8所述的石墨舟，其特征在于，所述正極導電塊還包括第二正電極下支撐塊和第二正電極上支撐塊，所述負極導電塊還包括第二負電極下支撐塊和第二負電極上支撐塊；
10.根據權利要求9所述的石墨舟，其特征在于，所述第一石墨舟片和所述第二石墨舟片均包括至少一個舟耳，所述第一石墨舟片通過所述舟耳與所述正極導電塊中的至少一種連接，所述第二石墨舟片通過所述舟耳與所述負極導電塊中的至少一種連接。
11.根據權利要求9所述的石墨舟，其特征在于，在所述石墨舟片的長度方向具有相對設置的第一端和第二端，所述第一端包括一個或兩個舟耳，所述第二端中包括一個或者兩個舟耳。
12.根據權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片設置有一種以上規格尺寸的放置槽，所述放置槽用于放置與所述放置槽尺寸匹配的電極片。
13.根據權利要求12所述的石墨舟，其特征在于，一種以上的所述放置槽的長度方向相互平行，一種以上的所述放置槽的寬度方向相互平行。
14.一種鍍膜系統，其特征在于，包含管式鍍膜爐以及至少一組如權利要求1-13任一所述的石墨舟。
15.根據權利要求14所述鍍膜系統，其特征在于，所述石墨舟至少設置有兩組，各所述石墨舟沿所述管式鍍膜爐長度方向設置依次設置在管式鍍膜爐內。
16.根據權利要求14所述的鍍膜系統，其特征在于，所述石墨舟的所述石墨舟片呈水平層疊設置或者豎直層疊設置。
...【技術特征摘要】
1.一種石墨舟，其特征在于，包括多個層疊設置的石墨舟片，其中，多個層疊設置的所述石墨舟片的寬度至少具有兩種尺寸；
2.根據權利要求1所述的石墨舟，其特征在于，多個層疊設置的所述石墨舟片包括兩組以上的舟片組:其中，同一個所述舟片組中的所述石墨舟片的寬度相同，不同所述舟片組中的所述石墨舟片的寬度不同。
3.根據權利要求2所述的石墨舟，其特征在于，多個層疊設置的所述石墨舟片包括交替且絕緣設置的第一石墨舟片和第二石墨舟片；多個所述第一石墨舟片電連接在一起，多個所述第二石墨舟片電連接在一起；
4.根據權利要求3所述的石墨舟，其特征在于，所述第一電極桿和所述第二電極桿均與所述支撐桿固定連接，所述支撐桿用于對所述第一電極桿和所述第二電極桿起支撐固定作用。
5.根據權利要求3所述的石墨舟，其特征在于，多個層疊設置的所述石墨舟片包括沿所述石墨舟長度方向相對的第一端和第二端；
6.根據權利要求5所述的石墨舟，其特征在于，所述第一電極桿和所述第二電極桿分別設置在所述石墨舟長度方向上的同一側。
7.根據權利要求3所述的石墨舟，其特征在于，多個所述第一石墨舟片通過正極導電塊與所述第一電極桿連接；多個所述第二石墨舟片通過負極導電塊與所述第二電極桿連接。
8.根據權利要求7所述的石墨舟，其特征在于，所述正極導電塊包括第一正電極下支撐塊、第一正電極上支撐塊和多個正極導電隔塊，所述負極導電塊包括第一負電極下支撐塊、第一負電極上...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳森，楊龍，李廣旭，劉德茂，
申請(專利權)人：隆基綠能科技股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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