【技術實現步驟摘要】
本申請屬于鍍膜，具體涉及一種舟緩存裝置及凈化臺。
技術介紹
1、石墨舟是采用等離子體增強型化學氣相沉積(plasma?enhanced?chemical?vapordeposition，pecvd)工藝進行鍍膜操作的承載工具，通過石墨舟可以承載經過制絨及擴散等工藝處理后的硅片進入pecvd管式爐內進行薄膜鍍層沉積。
2、相關技術中，完成pecvd鍍膜工藝的熱石墨舟，通過機械臂放置到緩存架上進行散熱。現有的緩存架中設有多個緩存位，通常緩存架中已工藝的熱石墨舟和未工藝的冷石墨舟混合存放，沒有合理分配緩存位，導致石墨舟散熱較慢。
技術實現思路
1、本申請旨在提供一種舟緩存裝置及凈化臺，能夠解決現有的緩存架已工藝的熱石墨舟和未工藝的冷石墨舟混合存放，沒有合理分配緩存位，導致石墨舟散熱較慢的問題。
2、為了解決上述技術問題，本申請是這樣實現的：
3、第一方面，本申請實施例提出了一種舟緩存裝置，包括：舟緩存架，所述舟緩存架中設有間隔排布的若干預熱緩存位和若干冷卻緩存位，且所述預熱緩存位均設于所述冷卻緩存位的上方，所述冷卻緩存位用于放置已工藝的熱舟體，所述預熱緩存位用于放置未工藝的冷舟體；
4、所述冷卻緩存位設有第一冷卻機構，所述第一冷卻機構包括第一風機組件和第一冷卻管組件，所述第一冷卻管組件設于所述冷卻緩存位中熱舟體的底部，所述第一冷卻管組件用于流通冷卻介質以對所述熱舟體進行冷卻；所述第一風機組件設于所述冷卻緩存位沿第一方向的一側，所述第一方向垂
5、可選地，所述第一冷卻機構還包括第二風機組件，所述第二風機組件設于所述第一冷卻管組件朝向所述熱舟體的一側，所述第二風機組件上適于放置所述熱舟體，所述第二風機組件用于將所述第一冷卻管組件一側的氣流吹向所述熱舟體。
6、可選地，所述第一冷卻管組件包括導熱板和第一冷卻管，所述導熱板設于所述第二風機組件背離所述熱舟體的一側，所述第一冷卻管嵌設于所述導熱板內，所述第一冷卻管用于流通冷卻介質。
7、可選地，所述第一冷卻管組件還包括若干導熱翅片，若干所述導熱翅片依次間隔設置于所述導熱板的表面。
8、可選地，所述第一冷卻管包括多個直管部和多個彎頭部，所述直管部與所述彎頭部依次首尾連接，多個所述直管部間隔排布，且所述直管部的延伸方向與所述冷卻緩存位中的熱舟體的長度方向一致。
9、可選地，所述第二風機組件包括第二風機板和多個第二風機，所述第二風機板設于所述冷卻緩存位，所述第二風機板設于所述第一冷卻管組件朝向所述熱舟體的一側，多個所述第二風機依次間隔設置于所述第二風機板中，所述第二風機的進風口朝向所述第一冷卻管組件，所述第二風機的出風口朝向所述熱舟體。
10、可選地，所述第一風機組件包括第一風機板和多個第一風機，所述第一風機板設于所述冷卻緩存位沿所述第一方向的一側，多個所述第一風機間隔設置于所述第一風機板中，所述第一風機的進風口朝向所述熱舟體，所述第一風機的出風口朝向遠離所述熱舟體的方向。
11、可選地，所述第一冷卻機構還包括防護網，所述防護網設于所述第一冷
12、卻管組件背離所述第二風機組件的一側；
13、和/或，所述第一冷卻機構還包括：第一檢測件和預警件，所述第一檢測件連接于所述第一冷卻管組件，用于檢測第一冷卻管組件的運行情況，所述預警件與所述第一檢測件電連接，用于基于所述第一檢測件的檢測結果進行預警。
14、可選地，所述舟緩存裝置還包括第二檢測件，所述冷卻緩存位中設有所述第二檢測件，所述第二檢測件用于檢測所述冷卻緩存位中的熱舟體存放情況，以控制所述第一冷卻機構的運行。
15、第二方面，本申請實施例還提供一種凈化臺，包括上述任一項所述的舟緩存裝置。
16、可選地，所述凈化臺還包括槳位架，所述槳位架與所述舟緩存架相對設置；所述槳位架中設有若干間隔排布的槳位，所述槳位中設有第二冷卻機構。
17、可選地，所述第二冷卻機構包括接料盤和第二冷卻管，所述接料盤設于所述槳位中，所述第二冷卻管嵌設于所述接料盤中，所述第二冷卻管用于流通冷卻介質。
18、在本申請的實施例中，通過在舟緩存架中設置若干預熱緩存位和若干冷卻緩存位，以便利用預熱緩存位存放未工藝的冷舟體，以及利用冷卻緩存位存放已工藝的熱舟體，在冷卻緩存位中設置第一冷卻機構，以利用第一冷卻機構對冷卻緩存位存放的熱舟體進行冷卻降溫。進而，利用第一冷卻管組件從熱舟體的底部對熱舟體進行冷卻，以及利用第一風機組件從熱舟體的側面對熱舟體進行散熱，通過第一冷卻管組件和第一風機組件的配合，可以提升熱舟體的降溫效率和冷卻效果，能夠減少由于熱舟體散熱不充分導致的電池片曲翹、劃傷等問題，從而有助于提升良品率。此外，將預熱緩存位設置在冷卻緩存位的上方，進而利用下方的熱舟體散發的熱量可以對上方的冷舟體進行預熱，充分利用熱量，使得舟緩存架的布局結構更合理，有利于冷舟體的預熱以及熱舟體的冷卻，能夠提高生產效率。
19、本申請的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的
20、描述中變得明顯，或通過本申請的實踐了解到。
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1.一種舟緩存裝置，其特征在于，包括：舟緩存架，所述舟緩存架中設有間隔排布的若干預熱緩存位和若干冷卻緩存位，且所述預熱緩存位均設于所述冷卻緩存位的上方，所述冷卻緩存位用于放置已工藝的熱舟體，所述預熱緩存位用于放置未工藝的冷舟體；
2.根據權利要求1所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻機構還包括第二風機組件，所述第二風機組件設于所述第一冷卻管組件朝向所述熱舟體的一側，所述第二風機組件上適于放置所述熱舟體，所述第二風機組件用于將所述第一冷卻管組件一側的氣流吹向所述熱舟體。
3.根據權利要求2所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻管組件包括導熱板和第一冷卻管，所述導熱板設于所述第二風機組件背離所述熱舟體的一側，所述第一冷卻管嵌設于所述導熱板內，所述第一冷卻管用于流通冷卻介質。
4.根據權利要求3所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻管組件還包括若干導熱翅片，若干所述導熱翅片依次間隔設置于所述導熱板的表面。
5.根據權利要求3所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻管包括多個直管部和多個彎頭部，所述直管部與所述彎頭部依次首尾
6.根據權利要求2所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第二風機組件包括第二風機板和多個第二風機，所述第二風機板設于所述冷卻緩存位，所述第二風機板設于所述第一冷卻管組件朝向所述熱舟體的一側，多個所述第二風機依次間隔設置于所述第二風機板中，所述第二風機的進風口朝向所述第一冷卻管組件，所述第二風機的出風口朝向所述熱舟體。
7.根據權利要求2所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻機構還包括防護網，所述防護網設于所述第一冷卻管組件背離所述第二風機組件的一側；
8.根據權利要求1所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一風機組件包括第一風機板和多個第一風機，所述第一風機板設于所述冷卻緩存位沿所述第一方向的一側，多個所述第一風機間隔設置于所述第一風機板中，所述第一風機的進風口朝向所述熱舟體，所述第一風機的出風口朝向遠離所述熱舟體的方向。
9.一種凈化臺，其特征在于，包括如權利要求1-8任一項所述的舟緩存裝置。
10.根據權利要求9所述的凈化臺，其特征在于，所述凈化臺還包括槳位架，所述槳位架與所述舟緩存架相對設置；所述槳位架中設有若干間隔排布的槳位，所述槳位中設有第二冷卻機構；
...【技術特征摘要】
1.一種舟緩存裝置，其特征在于，包括：舟緩存架，所述舟緩存架中設有間隔排布的若干預熱緩存位和若干冷卻緩存位，且所述預熱緩存位均設于所述冷卻緩存位的上方，所述冷卻緩存位用于放置已工藝的熱舟體，所述預熱緩存位用于放置未工藝的冷舟體；
2.根據權利要求1所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻機構還包括第二風機組件，所述第二風機組件設于所述第一冷卻管組件朝向所述熱舟體的一側，所述第二風機組件上適于放置所述熱舟體，所述第二風機組件用于將所述第一冷卻管組件一側的氣流吹向所述熱舟體。
3.根據權利要求2所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻管組件包括導熱板和第一冷卻管，所述導熱板設于所述第二風機組件背離所述熱舟體的一側，所述第一冷卻管嵌設于所述導熱板內，所述第一冷卻管用于流通冷卻介質。
4.根據權利要求3所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻管組件還包括若干導熱翅片，若干所述導熱翅片依次間隔設置于所述導熱板的表面。
5.根據權利要求3所述的舟緩存裝置，其特征在于，所述第一冷卻管包括多個直管部和多個彎頭部，所述直管部與所述彎頭部依次首尾連接，多個所述直管部間隔排布，且所述直管部的延伸方向與所述冷卻緩存位...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張敏，王維濤，申朝鋒，胡滇建，劉學文，
申請(專利權)人：西安隆基樂葉光伏科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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