【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體檢測裝置，具體涉及一種半導體檢測及測量一體式裝置。
技術介紹
1、半導體芯片制造過程中，經產線光刻工藝后，部分光刻圖形會有表面顆粒、劃傷、沾污、圖形異常等缺陷，需要進行圖像檢測；同時，需要對圖形高度和寬度等數據進行3d測量，判定是否合格。
2、傳統的半導體芯片檢測和測量時，缺陷檢測和3d測量分別在不同設備上進行，中途需轉移芯片，操作麻煩，檢測效率低。
技術實現思路
1、本技術所要解決的技術問題是：如何實現半導體芯片的缺陷檢測與測量一體化，提高檢測效率。
2、本技術解決上述技術問題的技術方案如下：
3、本技術提供了一種半導體檢測及測量一體式裝置，包括主機外罩，所述主機外罩內設有水平運動工作臺，主機外罩的頂部設有ffu空氣凈化器，ffu空氣凈化器的出口正對水平運動工作臺；所述水平運動工作臺上設有龍門架，龍門架的一側設有2d檢測單元，龍門架的另一側設有3d測量頭，2d檢測單元與3d測量頭均朝下正對水平運動工作臺。
4、本技術的有益效果是：
5、采用本技術，通過2d檢測單元和3d測量頭集成在水平運動工作臺上，通過水平運動工作臺控制產品進行xy軸水平運動和θ軸水平轉動，使2d檢測單元和3d測量頭均能采集每件產品的正視圖像，實現了半導體芯片的一體化缺陷檢測與測量，無需轉移芯片，提高了檢測效率；2d檢測單元和3d測量頭分設于龍門架兩側，避免了2d檢測單元和3d測量頭相互干涉。此外，通過主機外罩將水平運動工作臺的工作空間隔
6、在上述技術方案的基礎上，本技術還可以做如下改進。
7、進一步的，所述水平運動工作臺包括大理石平臺、x軸直線電機和y軸直線電機，y軸直線電機的固定端與大理石平臺連接，y軸直線電機的移動端與x軸直線電機的固定端連接，x軸直線電機的移動端設有dd馬達，dd馬達的輸出軸朝上并連接有工作轉盤。
8、實現了三軸運動疊加，便于控制產品靈活移動，能夠采集產品的多方位圖像。
9、進一步的，所述x軸直線電機和y軸直線電機均為氣浮直線電機。
10、通過直線電機，避免了振動傳遞至2d檢測單元下方和3d測量頭影響圖像，運動精度高；提高了檢測和測量精度。
11、進一步的，所述大理石平臺下方還設有機架，機架下方設有減震地腳。
12、便于減小振動，避免外界震動傳遞至水平運動工作臺上，運動精度高。
13、進一步的，所述機架與大理石平臺之間設有隔振墊。
14、減小機架與大理石平臺之間的振動傳遞，避免運動誤差。
15、進一步的，所述2d檢測單元包括安裝板，安裝板上設有顯微鏡，顯微鏡的物鏡端向下布置，顯微鏡的目鏡端設有相機；安裝板固定于所述龍門架上。
16、便于拍攝產品的微觀圖像，檢測精度高；通過安裝板固定于龍門架上，安裝方便。
17、進一步的，所述顯微鏡上還設有光源燈，光源燈的出射端向下布置。
18、便于對顯微鏡的視野補光，提高圖像的清晰度。
19、進一步的，所述主機外罩的一側中部設有上下料門。
20、開啟上下料門時能夠放入或取出產品托盤，操作方便；關閉上下料門時能夠進行產品檢測和測量，保證了檢測環境的封閉性和清潔度。
21、進一步的，所述主機外罩的另外三側還分別設有維修門。
22、在維修時可打開維修門，便于增大維修空間，維護方便。
23、進一步的，所述主機外罩內還設有離子棒，離子棒位于ffu空氣凈化器和水平運動工作臺之間。
24、便于消除ffu空氣凈化器出風的靜電離子，避免了靜電損壞芯片產品；同時避免了2d檢測單元和3d測量頭的工作過程受離子影響。
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1.一種半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：包括主機外罩(1)，所述主機外罩(1)內設有水平運動工作臺(2)，主機外罩(1)的頂部設有FFU空氣凈化器(4)，FFU空氣凈化器(4)的出口正對水平運動工作臺(2)；所述水平運動工作臺(2)上設有龍門架(5)，龍門架(5)的一側設有2D檢測單元(6)，龍門架(5)的另一側設有3D測量頭(7)，2D檢測單元(6)與3D測量頭(7)均朝下正對水平運動工作臺(2)。
2.根據權利要求1所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述水平運動工作臺(2)包括大理石平臺(8)、X軸直線電機(9)和Y軸直線電機(10)，Y軸直線電機(10)的固定端與大理石平臺(8)連接，Y軸直線電機(10)的移動端與X軸直線電機(9)的固定端連接，X軸直線電機(9)的移動端設有DD馬達(11)，DD馬達(11)的輸出軸朝上并連接有工作轉盤(12)。
3.根據權利要求2所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述X軸直線電機(9)和Y軸直線電機(10)均為氣浮直線電機。
4.根據權利要求2所述的半導體檢測及測量一體式
5.根據權利要求4所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述機架(13)與大理石平臺(8)之間設有隔振墊(15)。
6.根據權利要求1所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述2D檢測單元(6)包括安裝板(16)，安裝板(16)上設有顯微鏡(17)，顯微鏡(17)的物鏡端向下布置，顯微鏡(17)的目鏡端設有相機(18)；安裝板(16)固定于所述龍門架(5)上。
7.根據權利要求6所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述顯微鏡(17)上還設有光源燈(19)，光源燈(19)的出射端向下布置。
8.根據權利要求1所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述主機外罩(1)的一側中部設有上下料門(20)。
9.根據權利要求8所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述主機外罩(1)的另外三側還分別設有維修門(21)。
10.根據權利要求1所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述主機外罩(1)內還設有離子棒(22)，離子棒(22)位于FFU空氣凈化器(4)和水平運動工作臺(2)之間。
...【技術特征摘要】
1.一種半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：包括主機外罩(1)，所述主機外罩(1)內設有水平運動工作臺(2)，主機外罩(1)的頂部設有ffu空氣凈化器(4)，ffu空氣凈化器(4)的出口正對水平運動工作臺(2)；所述水平運動工作臺(2)上設有龍門架(5)，龍門架(5)的一側設有2d檢測單元(6)，龍門架(5)的另一側設有3d測量頭(7)，2d檢測單元(6)與3d測量頭(7)均朝下正對水平運動工作臺(2)。
2.根據權利要求1所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述水平運動工作臺(2)包括大理石平臺(8)、x軸直線電機(9)和y軸直線電機(10)，y軸直線電機(10)的固定端與大理石平臺(8)連接，y軸直線電機(10)的移動端與x軸直線電機(9)的固定端連接，x軸直線電機(9)的移動端設有dd馬達(11)，dd馬達(11)的輸出軸朝上并連接有工作轉盤(12)。
3.根據權利要求2所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述x軸直線電機(9)和y軸直線電機(10)均為氣浮直線電機。
4.根據權利要求2所述的半導體檢測及測量一體式裝置，其特征在于：所述大理石平臺(8)下方還設有機架(1...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳雪鋒，楊陽，李偉，商守海，牛怡川，張月濤，曹清朋，李旭陽，
申請(專利權)人：北京兆維智能裝備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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