【技術實現步驟摘要】
本技術涉及英爐管領域，具體為一種負壓石英爐管。
技術介紹
1、在光伏行業，高溫擴散爐與其內的石英管相配合使用主要用于對單晶硅片、多晶硅片進行摻雜，形成pn結。目前常規的擴散爐用石英管設置在擴散爐的腔體內，通過加熱擴散爐來升溫，并在石英管上設有進氣口和排氣口，在擴散工藝過程中，待擴散的硅片置于石英管中央，擴散爐開始升溫，雜質源氣體從進氣口進入管內，雜質源氣體在高溫下反應并擴散進入硅片內。
2、根據公開專利202121947856.1可知，一種負壓石英爐管，包括石英爐管主體，所述石英爐管主體的頂端固定連通有進氣管和出氣管，所述進氣管和出氣管的外壁共同套接有連接罩，所述連接罩的上表面固定連接有連接板，所述連接板和連接罩的上表面均開設有兩個與進氣管和出氣管相配合的連接通孔，所述連接罩的內壁與石英爐管主體的內壁活動連接，所述連接罩的下表面固定連接有多個加強桿，在實現本技術的過程中，專利技術人發現現有技術中至少存在以下問題沒有得到解決，通過設置有連接機構和固定機構解決了石英管安裝不穩定和安裝容易出現損壞的問題，使用過程中，傳統的石英管體在爐體內轉動時的摩擦力和勞動人員在轉動石英管體時的勞動強度都比較大，石英管體在爐體內轉動時容易出現外部刮花損壞的現象，而且石英管安裝在爐體內時的速度比較慢，需要使用時拆裝工具對爐體進行安裝固定，降低了石英管和爐體拆裝時的便捷性。為此，需要設計新的技術方案給予解決。
技術實現思路
1、本技術的目的在于克服現有技術的不足，適應現實需要，提供一種負壓石英爐
2、為了實現本技術的目的，本技術所采用的技術方案為：設計一種負壓石英爐管，包括爐體，所述爐體的一端安裝有端蓋，所述爐體的另一端安裝有尾蓋，所述尾蓋的一端安裝有弧形抵置板，所述尾蓋外部的兩側通過安裝板連接有轉動板，所述轉動板的另一端安裝有卡柱，所述卡柱的外部活動連接有第一限位板，所述第一限位板通過彈簧連接有第二限位板，所述爐體另一端的兩側安裝有卡板，所述爐體的內部安裝有限位環，所述限位環通過限位槽連接有滾珠，所述限位環通過滾珠活動連接有石英管體。
3、優選地，所述尾蓋的一端密封連接在所述爐體另一端的內壁，所述弧形抵置板的一端與所述尾蓋的一端固定連接，所述弧形抵置板的另一端抵置在所述石英管體的外表面。
4、優選地，所述安裝板設置有兩個，并且固定連接在所述尾蓋外部的兩側，所述轉動板的一端轉動連接在所述安裝板的另一端，所述卡柱的另一端固定連接在所述轉動板的另一端。
5、優選地，所述彈簧套在所述卡柱的外部，并且與其外部活動連接，所述彈簧的一端抵置在所述第一限位板的一側，所述彈簧的另一端抵置在所述第二限位板的一側，所述第二限位板固定連接在所述卡柱的另一端。
6、優選地，所述卡板的一端固定連接在所述爐體另一端的兩側，并且與兩個所述安裝板的位置相對應。
7、優選地，所述限位環的外部固定連接在所述爐體的內壁，所述限位槽位于所述限位環的內部，所述滾珠設置有多個，并且活動連接在所述限位槽的內壁，其中1/4部位位于所述限位槽的外部。
8、與現有技術相比，本技術的有益效果在于：
9、本技術通過安裝板、轉動板、卡柱、第一限位板、彈簧、第二限位板和卡板的結合，當石英管體安裝到爐體的內部時，首先將石英管體插入到限位環的滾珠上，然后，再將端蓋固定在爐體的一端，再讓石英管體在帶動滾珠在限位槽的內部進行轉動，從而調節石英管體上的出氣管的位置，降低了石英管體在爐體內轉動時的摩擦力和勞動人員在轉動石英管體時的勞動強度，避免了石英管體在爐體內轉動時出現外部刮花的現象；
10、當石英管體的出氣管位置調節好后，再將尾蓋套在石英管體的出氣管外部，并且插入到爐體的內部，這時弧形抵置板抵置在石英管體的外部，從而達到對其位置進行限制，再讓第一限位板對彈簧進行擠壓，同時讓卡柱帶動轉動板在安裝板上轉動，以至于讓卡柱插入到卡板的內部，然后再將第一限位板松開，這時彈簧會將第一限位板抵置到卡板的表面，從而達到對尾蓋的位置進行限制，以至于加快了石英管安裝在爐體內時的速度，避免了使用時拆裝工具對爐體進行安裝固定，提升了石英管和爐體拆裝時的便捷性。
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1.一種負壓石英爐管，包括爐體(1)，其特征在于，所述爐體(1)的一端安裝有端蓋(3)，所述爐體(1)的另一端安裝有尾蓋(11)，所述尾蓋(11)的一端安裝有弧形抵置板(12)，所述尾蓋(11)外部的兩側通過安裝板(13)連接有轉動板(14)，所述轉動板(14)的另一端安裝有卡柱(15)，所述卡柱(15)的外部活動連接有第一限位板(16)，所述第一限位板(16)通過彈簧(17)連接有第二限位板(18)，所述爐體(1)另一端的兩側安裝有卡板(19)，所述爐體(1)的內部安裝有限位環(2)，所述限位環(2)通過限位槽(21)連接有滾珠(22)，所述限位環(2)通過滾珠(22)活動連接有石英管體(23)。
2.如權利要求1所述的一種負壓石英爐管，其特征在于，所述尾蓋(11)的一端密封連接在所述爐體(1)另一端的內壁，所述弧形抵置板(12)的一端與所述尾蓋(11)的一端固定連接，所述弧形抵置板(12)的另一端抵置在所述石英管體(23)的外表面。
3.如權利要求1所述的一種負壓石英爐管，其特征在于，所述安裝板(13)設置有兩個，并且固定連接在所述尾蓋(11)外部的兩
4.如權利要求1所述的一種負壓石英爐管，其特征在于，所述彈簧(17)套在所述卡柱(15)的外部，并且與其外部活動連接，所述彈簧(17)的一端抵置在所述第一限位板(16)的一側，所述彈簧(17)的另一端抵置在所述第二限位板(18)的一側，所述第二限位板(18)固定連接在所述卡柱(15)的另一端。
5.如權利要求1所述的一種負壓石英爐管，其特征在于，所述卡板(19)的一端固定連接在所述爐體(1)另一端的兩側，并且與兩個所述安裝板(13)的位置相對應。
6.如權利要求1所述的一種負壓石英爐管，其特征在于，所述限位環(2)的外部固定連接在所述爐體(1)的內壁，所述限位槽(21)位于所述限位環(2)的內部，所述滾珠(22)設置有多個，并且活動連接在所述限位槽(21)的內壁，其中1/4部位位于所述限位槽(21)的外部。
...【技術特征摘要】
1.一種負壓石英爐管，包括爐體(1)，其特征在于，所述爐體(1)的一端安裝有端蓋(3)，所述爐體(1)的另一端安裝有尾蓋(11)，所述尾蓋(11)的一端安裝有弧形抵置板(12)，所述尾蓋(11)外部的兩側通過安裝板(13)連接有轉動板(14)，所述轉動板(14)的另一端安裝有卡柱(15)，所述卡柱(15)的外部活動連接有第一限位板(16)，所述第一限位板(16)通過彈簧(17)連接有第二限位板(18)，所述爐體(1)另一端的兩側安裝有卡板(19)，所述爐體(1)的內部安裝有限位環(2)，所述限位環(2)通過限位槽(21)連接有滾珠(22)，所述限位環(2)通過滾珠(22)活動連接有石英管體(23)。
2.如權利要求1所述的一種負壓石英爐管，其特征在于，所述尾蓋(11)的一端密封連接在所述爐體(1)另一端的內壁，所述弧形抵置板(12)的一端與所述尾蓋(11)的一端固定連接，所述弧形抵置板(12)的另一端抵置在所述石英管體(23)的外表面。
3.如權利要求1所述的一種負壓石英爐管，其特征在于，所述安裝板(...
【專利技術屬性】
技術研發人員：胡文菊，翟亮，許金華，
申請(專利權)人：江蘇大煦朗寧新材料科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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