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    一種低壓真空氣相制備的鈣鈦礦薄膜、太陽能電池及方法技術(shù)

    技術(shù)編號:44524843 閱讀:2 留言:0更新日期:2025-03-07 13:16
    本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種低壓真空氣相制備的鈣鈦礦薄膜、太陽能電池及方法,包括以下步驟:S1,用物理氣相法在基片的電荷傳輸層上沉積無機前驅(qū)體;S2,在低真空條件下將第一銨鹵鹽氣化并擴散進入無機前驅(qū)體中,形成第一鈣鈦礦薄膜;和/或,S3,在低真空條件下將第二銨鹵鹽氣化并擴散進入第一鈣鈦礦薄膜中,形成第二鈣鈦礦薄膜;和/或,S4,在低真空條件下將第三銨鹵鹽氣化并擴散進入第二鈣鈦礦薄膜中,形成第三鈣鈦礦薄膜;其中,步驟S2、步驟S3和步驟S4選擇至少一步。本發(fā)明專利技術(shù)通過分步氣化的銨鹵鹽與無機前驅(qū)體進行連續(xù)的固?氣反應(yīng),減少有機源的交叉污染,提高有機材料的利用率,所得鈣鈦礦薄膜組分均一,產(chǎn)品良率高,重復(fù)性好。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)涉及光伏新材料,具體涉及一種低壓真空氣相制備的鈣鈦礦薄膜、太陽能電池及方法


    技術(shù)介紹

    1、光伏發(fā)電是提供綠色能源的關(guān)鍵技術(shù)之一,它的超大規(guī)模社會應(yīng)用取決于進一步的增效降本,即發(fā)電效率的進一步提升,同時發(fā)電成本進一步下降。鈣鈦礦太陽能電池(pscs)采用人工合成的有機-無機雜化鈣鈦礦作為光電轉(zhuǎn)化材料,是一種薄膜光伏發(fā)電技術(shù),具有材料用量少,顏色可調(diào),發(fā)電效率高等特點。然而,目前pscs主要采用濕法工藝,即將電池材料與溶劑混合配置成墨水,隨后采用旋涂、涂布、印刷等技術(shù)方法制備。該工藝不僅存在電池面積放大困難等問題,而且在濕法工藝中,從濕膜到干膜的干燥過程受環(huán)境影響,造成電池性能良率低。此外,濕法制膜中有機溶劑的揮發(fā)和處理等環(huán)保安全問題會顯著增加生產(chǎn)成本。

    2、真空工藝本身具有重復(fù)性高、不需要引入溶劑等優(yōu)勢,能夠解決上述濕法工藝中的各種問題。但鈣鈦礦的真空工藝通常在高真空下采用多源共蒸發(fā)或連續(xù)熱蒸鍍進行,通常需要在高真空(~10-3pa)、高溫度條件下將鈣鈦礦的組分之一,銨鹵鹽通過物理氣相的方式轉(zhuǎn)換成氣態(tài),從而與另一組分,碘化鉛發(fā)生固-氣反應(yīng)生成鈣鈦礦材料。然而,在高溫高真空條件下銨鹵鹽容易分解,造成鈣鈦礦薄膜質(zhì)量不佳、重復(fù)性差、大面積薄膜不均勻等問題。因此,在低真空(>1?pa)條件下實現(xiàn)高質(zhì)量鈣鈦礦薄膜制備是應(yīng)用行業(yè)內(nèi)的難點。


    技術(shù)實現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)的目的在于克服上述技術(shù)不足,提供一種低壓真空氣相制備的鈣鈦礦薄膜、太陽能電池及方法,解決現(xiàn)有技術(shù)中鈣鈦礦薄膜制備時,原料銨鹵鹽在高溫高真空條件下易分解所導(dǎo)致的薄膜良率低和重復(fù)性差的技術(shù)問題。

    2、為達到上述技術(shù)目的,本專利技術(shù)提供的技術(shù)方案是:

    3、第一方面,本專利技術(shù)提供一種低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,包括以下步驟:s1,用物理氣相法在基片的電荷傳輸層上沉積無機前驅(qū)體;s2,在低真空條件下將第一銨鹵鹽氣化并擴散進入無機前驅(qū)體中,形成第一鈣鈦礦薄膜;和/或,s3,在低真空條件下將第二銨鹵鹽氣化并擴散進入第一鈣鈦礦薄膜中,形成第二鈣鈦礦薄膜;和/或,s4,在低真空條件下將第三銨鹵鹽氣化并擴散進入第二鈣鈦礦薄膜中,形成第三鈣鈦礦薄膜;其中,步驟s2、步驟s3和步驟s4選擇至少一步。

    4、第二方面,本專利技術(shù)提供一種上述方法制得的鈣鈦礦薄膜。

    5、第三方面,本專利技術(shù)提供一種太陽能電池,包括電極、第一電荷傳輸層、鈣鈦礦層、第二電荷傳輸層和背電極,鈣鈦礦層為上述的鈣鈦礦薄膜。

    6、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本專利技術(shù)的有益效果包括:

    7、本專利技術(shù)通過在低壓下分步氣化的銨鹵鹽與無機前驅(qū)體進行連續(xù)的固-氣反應(yīng),保持了銨鹵鹽結(jié)構(gòu)的完整性,實現(xiàn)連續(xù)近距離揮發(fā)氣相生長鈣鈦礦;同時本專利技術(shù)通過分步將銨鹵鹽氣化,保持了有機源組分單一穩(wěn)定,減少了有機源的交叉污染;避免了混合有機源中由于氣化速率不一致導(dǎo)致的不能重復(fù)利用問題,提高了有機材料的利用率,從而制備出高質(zhì)量鈣鈦礦薄膜,其組分均一,產(chǎn)品良率高,重復(fù)性好。因此,本專利技術(shù)的鈣鈦礦薄膜采用了全工業(yè)化真空流程制備,簡化了生產(chǎn)流程,銨鹵鹽源可以重復(fù)利用,減少材料浪費,拓寬了光伏建材的生產(chǎn)方式,有利于降本增效。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護點】

    1.一種低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,包括以下步驟:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟S1中,所述電荷傳輸層為n型半導(dǎo)體材料或p型小分子自組裝分子層;

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟S2中,第一銨鹵鹽為氯化甲脒,源溫度為110~130?℃,反應(yīng)壓強為5~100?Pa,反應(yīng)時間為2~15?min。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟S3中,第二銨鹵鹽為溴化甲脒,源溫度為140~160?℃,反應(yīng)壓強為5~100?Pa,反應(yīng)時間為2~15?min。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟S4中,第三銨鹵鹽為碘化甲脒,源溫度為160~180?℃,反應(yīng)壓強為5~100?Pa,反應(yīng)時間為2~15?min。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,鈣鈦礦薄膜是在三源近距離揮發(fā)氣相裝置中制備的;所述三源近距離揮發(fā)氣相裝置包括傳動裝置、載物臺、以及依次連接的進樣室、有機源室和出樣室;

    7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,所述有機源室中設(shè)置有用于隔開有機源和基片的移動式有機源擋板;

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟S2至步驟S4中,銨鹵鹽和基片的反應(yīng)距離為100~500?μm。

    9.如權(quán)利要求1-8任一項所述方法制得的鈣鈦礦薄膜。

    10.一種太陽能電池,其特征在于,包括電極、第一電荷傳輸層、鈣鈦礦層、第二電荷傳輸層和背電極,所述鈣鈦礦層為權(quán)利要求9所述的鈣鈦礦薄膜。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,包括以下步驟:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟s1中,所述電荷傳輸層為n型半導(dǎo)體材料或p型小分子自組裝分子層;

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟s2中,第一銨鹵鹽為氯化甲脒,源溫度為110~130?℃,反應(yīng)壓強為5~100?pa,反應(yīng)時間為2~15?min。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟s3中,第二銨鹵鹽為溴化甲脒,源溫度為140~160?℃,反應(yīng)壓強為5~100?pa,反應(yīng)時間為2~15?min。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低壓真空氣相制備鈣鈦礦薄膜的方法,其特征在于,步驟s4中,第三銨鹵鹽為碘化甲脒,源溫度為160~180?℃,反應(yīng)壓強...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:魯建峰張玉璽
    申請(專利權(quán))人:武漢理工大學(xué)
    類型:發(fā)明
    國別省市:

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