【技術實現步驟摘要】
本申請涉及等離子加工設備領域，具體而言，涉及一種遠程等離子體加工設備。
技術介紹
1、現有的一些遠程等離子體加工設備利用遠程等離子體源將工作氣體電離形成等離子體，隨后將等離子體輸送至反應腔中，對工件進行刻蝕、表面清潔處理或薄膜沉積等加工處理。這種加工方法在工業生產中得到了廣泛應用，但仍存在一些亟待解決的問題。
2、首先，在遠程等離子體加工設備的工作過程中，反應腔內的溫度通常會達到600度以上的高溫。在這種高溫環境下，反應腔中可能殘留的空氣會受到影響。具體來說，殘留空氣中的氧氣在高溫和等離子體的激化作用下，容易被離化形成氧離子。這些氧離子的存在對設備的正常運行和壽命造成了嚴重威脅。
3、其次，遠程等離子體源生成的等離子體中可能存在氧離子。這是因為工作氣體中常常含有雜質氣體，如空氣。這些雜質氣體在等離子體源中也會被離化，從而產生氧離子等雜質離子。這些雜質離子的存在不僅會影響加工效果，還會對設備造成潛在的損害。
4、最為關鍵的是，上述兩種來源的氧離子在高溫環境下會與反應腔的內壁以及反應腔內的載物臺發生氧化反應。這種氧化反應會導致反應腔內壁和載物臺材料的逐漸劣化，從而大大縮減了反應腔和載物臺的使用壽命。這不僅增加了設備的維護成本，還可能影響加工精度和效率。
5、此外，現有的遠程等離子體加工設備在處理氧化反應問題時，往往采用惰性氣體保護或真空環境等方法。然而，這些方法不僅增加了設備的復雜性和運行成本，而且在某些特定的加工工藝中可能無法完全適用。
6、因此，如何有效解決遠程等離子體
7、針對上述問題，現有技術亟需改進。
技術實現思路
1、本申請的目的在于提供一種遠程等離子體加工設備，能夠抑制反應腔和載物臺的氧化，延長反應腔和載物臺的使用壽命。
2、本申請提供了一種遠程等離子體加工設備，包括遠程等離子體源、反應腔和載物臺，所述遠程等離子體源的等離子體輸出口與所述反應腔連通，所述載物臺設置在所述反應腔內；所述反應腔下部填充有電解質溶液，所述載物臺的下部浸泡在所述電解質溶液中，所述反應腔內設置有陽極金屬件，所述陽極金屬件的活潑性比所述反應腔的內壁材質以及所述載物臺的材質的活潑性高，且所述陽極金屬件部分地伸入所述電解質溶液中。
3、通過在反應腔下部填充電解質溶液并設置活潑性較高的陽極金屬件，可以有效吸收和消耗氧離子，從而抑制反應腔和載物臺的氧化反應，延長反應腔和載物臺的使用壽命。
4、優選地，所述電解質溶液的耐溫溫度不低于600℃；所述陽極金屬件的熔點不低于600℃。
5、優選地，所述反應腔的內壁材質和所述載物臺的材質為鋁合金或鋼；所述陽極金屬件的材質為鈣。
6、優選地，所述陽極金屬件為金屬片、金屬網或多孔狀金屬塊。
7、這種設計可以有效增加陽極金屬件與電解質溶液的接觸面積，從而提高反應效率。
8、優選地，所述遠程等離子體源包括諧振腔和微波頭，所述諧振腔設置有進氣口和等離子體輸出口，所述進氣口用于向所述諧振腔輸送工作氣體，所述微波頭與所述諧振腔連接，并用于向所述諧振腔發送微波以把所述工作氣體離化為等離子體，所述等離子體輸出口用于輸出所述等離子體。
9、優選地，所述等離子體輸出口連接有過濾腔，所述過濾腔內設置有過濾器，所述過濾腔在所述過濾器的下游處連通所述反應腔，所述過濾器能夠過濾氣流中的顆粒物。
10、過濾器能夠捕獲氣流中的顆粒物，防止這些顆粒物進入反應腔，從而提高了加工質量和設備壽命。這種設計不僅能夠保證等離子體氣流的純凈度，還能夠降低設備維護成本，提高加工效率和產品質量。
11、優選地，所述過濾腔連接有雜質輸出管，所述雜質輸出管位于所述過濾器的上游一側并用于排出所述顆粒物。
12、優選地，所述過濾器還用于通過與氣流中的雜質等離子體反應，以濾除氣流中的雜質等離子體；所述雜質等離子體為雜質氣體離化形成的等離子體。
13、優選地，所述過濾器包括多層金屬過濾網，各層所述金屬過濾網的材質不全相同，不同材質的所述金屬過濾網用于與不同的雜質等離子體反應。
14、優選地，所述過濾器能夠與氧離子反應，且所述過濾器與所述陽極金屬件導電連接。
15、有益效果：本申請提供的遠程等離子體加工設備，通過在反應腔下部填充電解質溶液并設置活潑性較高的陽極金屬件，可以有效吸收和消耗氧離子，從而抑制反應腔和載物臺的氧化反應，延長反應腔和載物臺的使用壽命。
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1.一種遠程等離子體加工設備，包括遠程等離子體源（1）、反應腔（2）和載物臺（3），所述遠程等離子體源（1）的等離子體輸出口與所述反應腔（2）連通，所述載物臺（3）設置在所述反應腔（2）內；其特征在于，所述反應腔（2）下部填充有電解質溶液（4），所述載物臺（3）的下部浸泡在所述電解質溶液（4）中，所述反應腔（2）內設置有陽極金屬件（6），所述陽極金屬件（6）的活潑性比所述反應腔（2）的內壁材質以及所述載物臺（3）的材質的活潑性高，且所述陽極金屬件（6）部分地伸入所述電解質溶液（4）中。
2.根據權利要求1所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述電解質溶液（4）的耐溫溫度不低于600℃；所述陽極金屬件（6）的熔點不低于600℃。
3.根據權利要求1所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述反應腔（2）的內壁材質和所述載物臺（3）的材質為鋁合金或鋼；所述陽極金屬件（6）的材質為鈣。
4.根據權利要求1所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述陽極金屬件（6）為金屬片、金屬網或多孔狀金屬塊。
5.根據權利要求1所述的遠程等離子體加
6.根據權利要求5所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述等離子體輸出口連接有過濾腔（9），所述過濾腔（9）內設置有過濾器（10），所述過濾腔（9）在所述過濾器（10）的下游處連通所述反應腔（2），所述過濾器（10）能夠過濾氣流中的顆粒物。
7.根據權利要求6所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述過濾腔（9）連接有雜質輸出管（901），所述雜質輸出管（901）位于所述過濾器（10）的上游一側并用于排出所述顆粒物。
8.根據權利要求6所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述過濾器（10）還用于通過與氣流中的雜質等離子體反應，以濾除氣流中的雜質等離子體；所述雜質等離子體為雜質氣體離化形成的等離子體。
9.根據權利要求8所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述過濾器（10）包括多層金屬過濾網，各層所述金屬過濾網的材質不全相同，不同材質的所述金屬過濾網用于與不同的雜質等離子體反應。
10.根據權利要求8所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述過濾器（10）能夠與氧離子反應，且所述過濾器（10）與所述陽極金屬件（6）導電連接。
...【技術特征摘要】
1.一種遠程等離子體加工設備，包括遠程等離子體源（1）、反應腔（2）和載物臺（3），所述遠程等離子體源（1）的等離子體輸出口與所述反應腔（2）連通，所述載物臺（3）設置在所述反應腔（2）內；其特征在于，所述反應腔（2）下部填充有電解質溶液（4），所述載物臺（3）的下部浸泡在所述電解質溶液（4）中，所述反應腔（2）內設置有陽極金屬件（6），所述陽極金屬件（6）的活潑性比所述反應腔（2）的內壁材質以及所述載物臺（3）的材質的活潑性高，且所述陽極金屬件（6）部分地伸入所述電解質溶液（4）中。
2.根據權利要求1所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述電解質溶液（4）的耐溫溫度不低于600℃；所述陽極金屬件（6）的熔點不低于600℃。
3.根據權利要求1所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述反應腔（2）的內壁材質和所述載物臺（3）的材質為鋁合金或鋼；所述陽極金屬件（6）的材質為鈣。
4.根據權利要求1所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述陽極金屬件（6）為金屬片、金屬網或多孔狀金屬塊。
5.根據權利要求1所述的遠程等離子體加工設備，其特征在于，所述遠程等離子體源（1）包括諧振腔（7）和微波頭（8），所述諧振腔（7）設置有進氣口（701）和等離子體輸出口，所述進氣口（701）用于向所述諧振腔（7）輸...
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙渝寧，黃星星，鄭敬都，安麗，胡強，
申請(專利權)人：季華實驗室，
類型：發明
國別省市：
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