【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于微通道板，特別是涉及一種微通道板成像疵病的檢測裝置及方法。
技術介紹
1、微通道板(microchannel?plate,微通道板)是一種特殊的光學纖維器件，具有體積小、重量輕、分辨率高、增益大、噪聲低和使用電壓低等優點。它利用二次電子發射特性，使得高速碰撞在微通道內壁(通道)上的電子成倍增加，實現電子流的萬倍以上增流。微通道板因其優異的電子倍增功能而成為微光像增強器的核心部件，微通道板的各項性能決定了微光夜視整機性能的好壞。
2、成像是檢測微通道板性能的重要指標之一。微通道板成像的原理主要涉及光電轉換、電子倍增和光發射過程，電子源發出電子，撞擊到微通道板的輸入表面后向真空中激發出數個二次電子，二次電子多次撞擊微通道板內壁實現電子倍增，再經陽極高壓加速，激發熒光屏發光，轉換成亮度增強的光學圖像。人眼獲取熒光屏成像的信息，分析光學圖像，判斷微通道板在成像上的一些疵病。熒光屏上明顯的亮點或暗點即為疵點,有疵點的微通道板記為不合格。
3、現有的測試方法是每片微通道板分別裝在焊有熒光屏的測試夾具上進行成像測試，選中一個工位下方設置電子源，測試時旋轉不同工位至被測處，電子源發出電子對應不同的微通道板和熒光屏，人眼識別熒光屏上的問題來判斷微通道板成像上的疵病。
4、但是這種測試方法存在諸多問題：(1)每片微通道板測試時都要裝上熒光屏，裝卡過程繁瑣，且容易造成微通道板破損。(2)裝卡過程中熒光屏很容易受到損傷，如熒光粉掉落、熒光屏劃傷等，嚴重降低熒光屏使用壽命，增加生產成本。(3)每個熒光屏受
技術實現思路
1、有鑒于此，本專利技術的目的在于提供一種微通道板成像疵病的檢測裝置及方法，所要解決的技術問題是可準確快速地判斷微通道板成像疵病。
2、本專利技術的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現的。依據本專利技術提出的一種微通道板成像疵病的檢測裝置，包括：
3、成像檢測單元，其包括微通道板固定夾具、熒光屏、控制機構及攝像機構；
4、發射源單元，其包括相互連接的電子源和發射源電源；以及
5、真空單元，其兩端分別連接成像檢測單元和發射源單元；所述真空單元括真空腔室及設置于所述真空腔室外部的真空泵組。
6、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述微通道板固定夾具設置于所述真空單元的內部。
7、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述熒光屏通過夾具固定于真空腔室的內部。
8、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述熒光屏的下方涂有熒光粉。
9、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述控制機構設置于真空腔室的外部。
10、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述攝像機構放置于真空腔室的上方；且所述攝像機構與熒光屏的上方正對。
11、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述攝像機構包括光學觀察鏡頭、電荷耦合器件及顯示終端；所述光學觀察鏡頭設置于真空腔室的上方并與所述熒光屏相對設置；所述光學觀察鏡頭上插設有電荷耦合器件，所述電荷耦合器件連接有顯示終端。
12、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述顯示終端為電腦、手機或平板。
13、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述真空腔室為中空圓柱形結構，其頂部安裝有真空上蓋，其內部設置有內圓環結構、與所述內圓環結構相互連接的外圓環結構以及用于承載測試工位的托盤；所述真空上蓋上設有機械臂。
14、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述內圓環結構的內部設有步進電機；所述步進電機連接有托盤。
15、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述托盤的外邊緣均勻分布有多數個測試工位，多數個所述測試工位與所述外圓環結構連接；多數個所述測試工位中的其中一個的上方焊接有熒光屏夾具，所述熒光屏夾具上固定有熒光屏，其余的測試工位上安裝有微通道板固定夾具，所述微通道板固定夾具上夾設有待測的微通道板；所述電子源的出射口與電子源、待測的微通道板、熒光屏及攝像機構正對。
16、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中多數個所述測試工位通過聚四氟乙烯塊與所述外圓環結構連接，所述聚四氟乙烯塊上插設有三根電極探針，每根所述電極探針的兩端分別與控制單元和微通道板固定夾具連接；每個測試工位上墊設有聚四氟乙烯材質的圓環。
17、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測裝置中，其中所述真空泵組包括機械泵和分子泵，所述機械泵和分子泵并聯后與真空腔室相連接。
18、本專利技術的目的及解決其技術問題還可以采用以下技術方案來實現。依據本專利技術提出的一種微通道板成像疵病的檢測方法，包括以下步驟：
19、(1)將熒光屏、標準微通道板、待測的微通道板分別裝入真空腔內相應的測試工位；
20、(2)啟動真空泵組抽真空，至氣壓低于4.9e-3pa時開始測量；
21、(3)開啟顯示終端、控制單元、電子源，在計算機上觀察熒光屏獲得最佳對比度；
22、(4)電子源預熱后開始測量，此時標準微通道板在被測工位先成像，觀察熒光屏，顯示終端拍下此時熒光屏圖像作為標準對比照片；
23、(5)將待測的微通道板通過步進電機依次旋轉到待測工位，電子源發出電子通過微通道板倍增后轟擊到熒光粉上，使熒光屏發光，顯示終端捕獲此時圖像；
24、(6)將待測圖像與標準微通道板圖像通過圖像識別進行處理后，自動實現黑點、亮點、黑斑、白斑的提取；
25、(7)測試結束，關閉電子源和控制機構的所有電壓后，再向真空腔室內充入氮氣，待氣壓變為大氣壓時打開真空上蓋，取出待測微通道板。
26、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測方法中，其中步驟(1)中，所述熒光屏為表面無劃痕，底部熒光粉顆粒細膩光滑、均勻無蹭傷，成像均勻無白斑無黑斑的熒光屏；所述標準微通道板為成像無黑點、亮點、白斑、黑斑的微通道板。
27、優選的，前述的微通道板成像疵病的檢測方法中，其中步驟(6)具體包括：將待測微通道板的熒光屏成像照片與標準微通道板的熒光屏照片進行灰度歸一化處理，利用對比度受限的直方圖均衡化并結合閾值分割的光暈檢測法去除屏上原有瑕疵，實現微通道板成像上4種疵病黑點、亮點、黑斑、白斑的自動提取。
28、借由上述技術方案，本專利技術提出的微通道板成像疵病的檢測裝置及方法至少具有以下有益效果
29、本專利技術可將熒光屏劃痕、灰塵與微通道板成像上的疵病有效區分，精確判斷微通道板成像疵病，可用于所有型號的微通道板的成像測試。累計5個月25892片微通道板成像疵病檢測結果，黑點人眼識別共有13486個，機器識別到12852個，識別準確率為本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述微通道板固定夾具設置于所述真空單元的內部。
3.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述熒光屏通過夾具固定于真空腔室的內部；所述熒光屏的下方涂有熒光粉。
4.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述控制機構設置于真空腔室的外部。
5.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述攝像機構放置于真空腔室的上方；且所述攝像機構與熒光屏的上方正對。
6.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述攝像機構包括光學觀察鏡頭、電荷耦合器件及顯示終端；所述光學觀察鏡頭設置于真空腔室的上方并與所述熒光屏相對設置；所述光學觀察鏡頭上插設有電荷耦合器件，所述電荷耦合器件連接有顯示終端；所述顯示終端有手機、電腦或平板。
7.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述真空腔室為中空圓柱形結構，其頂部安裝有真空上蓋，
8.如權利要求7所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，多數個所述測試工位通過聚四氟乙烯塊與所述外圓環結構連接，所述聚四氟乙烯塊上插設有三根電極探針，每根所述電極探針的兩端分別與控制單元和微通道板夾具連接；每個測試工位上墊設有聚四氟乙烯材質的圓環；所述真空泵組包括機械泵和分子泵，所述機械泵和分子泵并聯后與真空腔室相連接。
9.一種微通道板成像疵病的檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
10.如權利要求9所述的微通道板成像疵病的檢測方法，其特征在于，步驟(1)中，所述熒光屏為表面無劃痕，底部熒光粉顆粒細膩光滑、均勻無蹭傷，成像均勻無白斑無黑斑的熒光屏；所述標準微通道板為成像無黑點、亮點、白斑、黑斑的微通道板；步驟(6)具體包括：將待測微通道板的熒光屏成像照片與標準微通道板的熒光屏照片進行灰度歸一化處理，利用對比度受限的直方圖均衡化并結合閾值分割的光暈檢測法去除屏上原有瑕疵，實現微通道板成像上4種疵病黑點、亮點、黑斑、白斑的自動提取。
...【技術特征摘要】
1.一種微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述微通道板固定夾具設置于所述真空單元的內部。
3.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述熒光屏通過夾具固定于真空腔室的內部；所述熒光屏的下方涂有熒光粉。
4.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述控制機構設置于真空腔室的外部。
5.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述攝像機構放置于真空腔室的上方；且所述攝像機構與熒光屏的上方正對。
6.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述攝像機構包括光學觀察鏡頭、電荷耦合器件及顯示終端；所述光學觀察鏡頭設置于真空腔室的上方并與所述熒光屏相對設置；所述光學觀察鏡頭上插設有電荷耦合器件，所述電荷耦合器件連接有顯示終端；所述顯示終端有手機、電腦或平板。
7.如權利要求1所述的微通道板成像疵病的檢測裝置，其特征在于，所述真空腔室為中空圓柱形結構，其頂部安裝有真空上蓋，其內部設置有內圓環結構、與所述內圓環結構相互連接的外圓環結構以及用于承載測試工位的托盤；所述真空上蓋上設有機械臂；所述內圓環結構的內部設有步進電機；所述步進電機連接有托盤；所述托盤的外邊緣均...
【專利技術屬性】
技術研發人員：谷京，劉暢，馬婧，薄鐵柱，廉姣，張康微，范月妍，李帥奇，秦文靜，潘華龍，李昂，
申請(專利權)人：中國建筑材料科學研究總院有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。