【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及薄膜沉積設(shè)備，尤其涉及一種半導(dǎo)體蝶閥及其薄膜沉積設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、薄膜沉積設(shè)備用蝶閥與其他蝶閥設(shè)備不同，為了避免臟污堵塞卡死閥門，閥板與閥體間會(huì)保持一定間隙，但為了保證控壓效果，間隙不能過大。一般閥板與閥體間隙在0.025-0.1mm之間。由于薄膜沉積設(shè)備使用中會(huì)產(chǎn)生大量的粉末(多為s?i?o)通過排氣端；在蝶閥上游殘余氣體反應(yīng)附著在管路內(nèi)壁，累積后受抽力剝落；或殘余氣體發(fā)生反應(yīng)附著控壓蝶閥內(nèi)，使得閥板間隙越來越小，影響控壓效果，乃至閥板卡死。為解決此問題，現(xiàn)有設(shè)備只能定期維護(hù)，拆卸蝶閥，手動(dòng)清理。因需要停止真空泵以及將設(shè)備回填至常壓狀態(tài)等操作極其耗費(fèi)時(shí)間，因此影響設(shè)備生產(chǎn)效率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種半導(dǎo)體蝶閥及其薄膜沉積設(shè)備，以解決現(xiàn)有蝶閥容易殘留粉末或容易卡死的技術(shù)問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)采用以下技術(shù)方案：
3、第一方面，本專利技術(shù)的實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體蝶閥，其包括：閥體和閥板，所述閥體上設(shè)有裝配孔，所述閥板轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述裝配孔中；其中，所述閥板的上板面和/或下板面上還設(shè)有若干溝槽。
4、其中，所述溝槽為沿所述閥板的徑向延伸的通槽。
5、其中，若干所述溝槽以所述閥板的中心呈輻射狀設(shè)置。
6、其中，所述溝槽的軸向截面呈三角形、矩形、圓形或楔形。
7、其中，若干所述溝槽以所述閥板的中心為圓心呈等圓心角分布。
8、其中，所
9、其中，所述凹槽沿所述裝配孔的軸向方向延伸設(shè)置。
10、其中，若干所述凹槽均勻開設(shè)于所述裝配孔的孔壁上。
11、其中，所述半導(dǎo)體蝶閥還包括連接于所述閥體的連接座，連接于所述連接座的控制驅(qū)動(dòng)單元，所述閥板上還連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸穿設(shè)于所述閥體，且轉(zhuǎn)軸的下端部連接于所述控制驅(qū)動(dòng)單元。
12、第二方面，本專利技術(shù)的實(shí)施例提供了一種薄膜沉積設(shè)備，所述薄膜沉積設(shè)備包括如上任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體蝶閥。
13、本專利技術(shù)的半導(dǎo)體蝶閥及其薄膜沉積設(shè)備，其通過在閥板和/或閥體上增設(shè)溝槽或凹槽，通過溝槽和凹槽對(duì)殘留脫落至蝶閥上的粉末進(jìn)行引導(dǎo)，以防止殘留粉末堵塞閥板，延長(zhǎng)設(shè)備維護(hù)周期，降低維護(hù)成本，提高工藝效率。
14、上述說明僅是本專利技術(shù)技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本專利技術(shù)技術(shù)手段，可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本專利技術(shù)的上述和其它目的、特征及優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，詳細(xì)說明如下。
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1.一種半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，包括：閥體和閥板，所述閥體上設(shè)有裝配孔，所述閥板轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述裝配孔中；其中，所述閥板的上板面和/或下板面上還設(shè)有若干溝槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，所述溝槽為沿所述閥板的徑向延伸的通槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，若干所述溝槽以所述閥板的中心呈輻射狀設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，所述溝槽的軸向截面呈三角形、矩形、圓形或楔形。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，若干所述溝槽以所述閥板的中心為圓心呈等圓心角分布。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，所述裝配孔的孔壁上還設(shè)有若干凹槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，所述凹槽沿所述裝配孔的軸向方向延伸設(shè)置。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，若干所述凹槽均勻開設(shè)于所述裝配孔的孔壁上。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，所述半導(dǎo)體蝶閥還包括連接于所述閥體的連
10.一種薄膜沉積設(shè)備，其特征在于，所述薄膜沉積設(shè)備包括如權(quán)利要求1至9任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體蝶閥。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，包括：閥體和閥板，所述閥體上設(shè)有裝配孔，所述閥板轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述裝配孔中；其中，所述閥板的上板面和/或下板面上還設(shè)有若干溝槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，所述溝槽為沿所述閥板的徑向延伸的通槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，若干所述溝槽以所述閥板的中心呈輻射狀設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，所述溝槽的軸向截面呈三角形、矩形、圓形或楔形。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體蝶閥，其特征在于，若干所述溝槽以所述閥板的中心為圓心呈等圓心角分布。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：鞠子辰，章志敏，武越，劉啟超，馮鵬，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：拓荊創(chuàng)益沈陽(yáng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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