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    半導(dǎo)體裝置制造方法及圖紙

    技術(shù)編號:44532052 閱讀:1 留言:0更新日期:2025-03-07 13:21
    本公開提供能抑制電流崩塌的半導(dǎo)體裝置。半導(dǎo)體裝置具有:阻擋層,該阻擋層的上表面具有氮極性;溝道層,位于所述阻擋層之上,該溝道層的上表面具有氮極性;第一帽層,位于所述溝道層之上,該第一帽層的上表面具有氮極性;以及電介質(zhì)膜,與所述第一帽層的所述上表面相接,所述第一帽層是氮化鋁層。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    本公開涉及半導(dǎo)體裝置。


    技術(shù)介紹

    1、以往,提出了在阻擋層之上形成有溝道層的高電子遷移率晶體管(high?electronmobility?transistor:hemt)。

    2、現(xiàn)有技術(shù)文獻

    3、專利文獻

    4、專利文獻1:國際公開第2005/119787號

    5、近年來,電流崩塌的抑制的要求逐漸提高。


    技術(shù)實現(xiàn)思路

    1、本公開的目的在于提供能抑制電流崩塌的半導(dǎo)體裝置。

    2、本公開的半導(dǎo)體裝置具有:阻擋層,該阻擋層的上表面具有氮極性;溝道層,位于所述阻擋層之上,該溝道層的上表面具有氮極性;第一帽層,位于所述溝道層之上,該第一帽層的上表面具有氮極性;以及電介質(zhì)膜,與所述第一帽層的所述上表面相接,所述第一帽層是氮化鋁層。

    3、專利技術(shù)效果

    4、根據(jù)本公開,能抑制電流崩塌。

    【技術(shù)保護點】

    1.一種半導(dǎo)體裝置,具有:

    2.一種半導(dǎo)體裝置,具有:

    3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

    4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,其中,

    5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,具有:

    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種半導(dǎo)體裝置,具有:

    2.一種半導(dǎo)體裝置,具有:

    3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體裝置,其中...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:吉田成輝,
    申請(專利權(quán))人:住友電氣工業(yè)株式會社,
    類型:發(fā)明
    國別省市:

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