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    一種光纖SPR傳感器及其制備方法技術(shù)

    技術(shù)編號:44532219 閱讀:3 留言:0更新日期:2025-03-07 13:21
    本發(fā)明專利技術(shù)屬于光纖傳感器技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種光纖SPR傳感器及其制備方法。本發(fā)明專利技術(shù)提供的光纖SPR傳感器包括第一光纖、毛細(xì)管光纖和多模光纖,第一光纖為能夠?qū)崿F(xiàn)雙路光傳輸?shù)墓饫w,毛細(xì)管光纖的表面鍍有金屬薄膜,毛細(xì)管光纖的兩端分別與第一光纖、多模光纖焊接;沿第一光纖的第一路傳輸?shù)墓庑盘柸肷渲撩?xì)管光纖的內(nèi)壁發(fā)生全反射,并與金屬薄膜相互作用,產(chǎn)生SPR,被多模光纖接收,用于外界折射率傳感;沿第一光纖的第二路傳輸?shù)墓庑盘柸肷渲撩?xì)管光纖的空氣腔內(nèi),經(jīng)過空氣腔后被多模光纖接收,在輸出端兩路光信號形成馬赫—澤德干涉,用于外界溫度傳感。本發(fā)明專利技術(shù)能夠同時測量外界折射率和溫度變化,能夠避免交叉串?dāng)_,具有高靈敏度。

    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)屬于光纖傳感器,更具體地,涉及一種光纖spr傳感器及其制備方法。


    技術(shù)介紹

    1、spr(surface?plasmon?resonance,表面等離子共振)傳感器作為一種無標(biāo)記光學(xué)傳感器,具有高靈敏度和高選擇性,被廣泛應(yīng)用于生物傳感、化學(xué)檢測、醫(yī)療診斷以及環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域。早期的spr傳感器主要是基于棱鏡的spr傳感器,包括otto型和kretschmann型。此類傳感器體積較大,設(shè)備昂貴,無法用于遠距離傳感測量。相比于棱鏡型spr傳感器,基于光纖的spr傳感器具有體積小,結(jié)構(gòu)緊湊,成本低,可用于在線遠程控制等優(yōu)勢,得到了快速發(fā)展。一些典型的結(jié)構(gòu)包括在線傳輸型結(jié)構(gòu),反射型結(jié)構(gòu),異質(zhì)芯結(jié)構(gòu)和d型光纖結(jié)構(gòu)等。傳統(tǒng)的光纖spr傳感器只能對外界折射率變化進行傳感測量,無法實時監(jiān)測外界溫度變化,然而材料的熱光效應(yīng)導(dǎo)致折射率與溫度密切相關(guān),因此一種能夠同時測量外界折射率和溫度的光纖spr傳感器對于研究待測樣品的參數(shù)性能具有重要意義。

    2、近年來,也有一些學(xué)者提出了能夠同時測量外界折射率和溫度的光纖傳感器方案,但是現(xiàn)有方案存在一些問題,例如,通過測量反射信號強度實現(xiàn)折射率傳感,但是折射率測量采用光強調(diào)制易受環(huán)境光干擾,靈敏度較低。


    技術(shù)實現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)通過提供一種光纖spr傳感器及其制備方法,解決現(xiàn)有技術(shù)中同時測量外界折射率和溫度的光纖傳感器的靈敏度較低的問題。

    2、本專利技術(shù)提供一種光纖spr傳感器,包括:第一光纖、毛細(xì)管光纖和多模光纖;所述第一光纖為能夠?qū)崿F(xiàn)雙路光傳輸?shù)墓饫w,所述毛細(xì)管光纖的表面鍍有金屬薄膜,所述毛細(xì)管光纖的一端與所述第一光纖焊接,所述毛細(xì)管光纖的另一端與所述多模光纖焊接,所述第一光纖作為輸入光纖,所述多模光纖作為輸出光纖;

    3、沿所述第一光纖的第一路傳輸?shù)墓庑盘柸肷渲了雒?xì)管光纖的內(nèi)壁,發(fā)生全反射,并與所述毛細(xì)管光纖表面鍍的金屬薄膜相互作用,產(chǎn)生表面等離子共振spr,被所述多模光纖接收,用于外界折射率傳感;

    4、沿所述第一光纖的第二路傳輸?shù)墓庑盘柸肷渲了雒?xì)管光纖的空氣腔內(nèi),經(jīng)過所述毛細(xì)管光纖的空氣腔后被所述多模光纖接收,在輸出端兩路光信號形成馬赫—澤德干涉,用于外界溫度傳感。

    5、優(yōu)選的,所述第一光纖為同軸雙波導(dǎo)光纖,所述同軸雙波導(dǎo)光纖包括包層、環(huán)形纖芯和單模纖芯;沿所述環(huán)形纖芯傳輸?shù)墓庑盘栕鳛檠厮龅谝还饫w的第一路傳輸?shù)墓庑盘枺厮鰡文@w芯傳輸?shù)墓庑盘栕鳛檠厮龅谝还饫w的第二路傳輸?shù)墓庑盘枴?/p>

    6、優(yōu)選的,所述環(huán)形纖芯與所述毛細(xì)管光纖的內(nèi)壁對齊。

    7、優(yōu)選的,所述表面等離子共振spr的工作波段為可見光波段,所述馬赫—澤德干涉的工作波段為近紅外波段。

    8、優(yōu)選的,所述多模光纖為階躍型多模光纖或漸變型多模光纖。

    9、優(yōu)選的,所述毛細(xì)管光纖的空氣腔內(nèi)填充有熱敏材料,所述熱敏材料為pdms、瓊脂、乙醇、葡萄糖溶液中的一種。

    10、優(yōu)選的,所述毛細(xì)管光纖的長度為500至1000μm,所述毛細(xì)管光纖為柱狀的毛細(xì)管光纖。

    11、優(yōu)選的,所述金屬薄膜為金膜、銀膜、銅膜、復(fù)合金屬膜中的一種;所述復(fù)合金屬膜為金鉻復(fù)合膜、金銀復(fù)合膜中的一種;所述金鉻復(fù)合膜中金作為下層,鉻作為上層;所述金銀復(fù)合膜中銀作為下層,金作為上層。

    12、另一方面,本專利技術(shù)提供一種如上述的光纖spr傳感器的制備方法,包括以下步驟:

    13、將毛細(xì)管光纖的一端與第一光纖焊接;

    14、對所述毛細(xì)管光纖進行切割,使所述毛細(xì)管光纖的長度達到預(yù)設(shè)長度;

    15、將切割后的毛細(xì)管光纖的另一端與多模光纖焊接;

    16、在所述毛細(xì)管光纖的表面鍍上金屬薄膜,制備得到光纖spr傳感器。

    17、優(yōu)選的,在將毛細(xì)管光纖的一端與第一光纖焊接之前,還包括:對所述毛細(xì)管光纖進行腐蝕處理,使所述毛細(xì)管光纖的內(nèi)壁厚度達到預(yù)設(shè)厚度。

    18、本專利技術(shù)中提供的一個或多個技術(shù)方案,至少具有如下技術(shù)效果或優(yōu)點:

    19、(1)本專利技術(shù)提供的一種光纖spr傳感器包括第一光纖、毛細(xì)管光纖和多模光纖,第一光纖為能夠?qū)崿F(xiàn)雙路光傳輸?shù)墓饫w,毛細(xì)管光纖的表面鍍有金屬薄膜,毛細(xì)管光纖的一端與第一光纖焊接,毛細(xì)管光纖的另一端與多模光纖焊接,第一光纖作為輸入光纖,多模光纖作為輸出光纖;沿第一光纖的第一路傳輸?shù)墓庑盘柸肷渲撩?xì)管光纖的內(nèi)壁,發(fā)生全反射,并與毛細(xì)管光纖表面鍍的金屬薄膜相互作用,產(chǎn)生表面等離子共振spr,被多模光纖接收,用于外界折射率傳感;沿第一光纖的第二路傳輸?shù)墓庑盘柸肷渲撩?xì)管光纖的空氣腔內(nèi),經(jīng)過毛細(xì)管光纖的空氣腔后被多模光纖接收,在輸出端兩路光信號形成馬赫—澤德干涉,用于外界溫度傳感。即本專利技術(shù)利用波分復(fù)用技術(shù)產(chǎn)生表面等離子共振spr和馬赫—澤德干涉mzi,分別進行折射率和溫度傳感,兩個通道彼此獨立,避免了交叉串?dāng)_的問題,不僅能夠同時測量外界折射率和溫度,還具有靈敏度高的優(yōu)點。

    20、(2)本專利技術(shù)采用毛細(xì)管光纖的內(nèi)壁作為折射率傳感區(qū)域,毛細(xì)管光纖的內(nèi)壁直接暴露在空氣中,引起較強的倏逝場,且表面積相比傳統(tǒng)纖芯可以做的更大,能夠使表面等離子體激元與分析物產(chǎn)生更多的重疊,可進一步提高折射率靈敏度和響應(yīng)速度。本專利技術(shù)采用毛細(xì)管光纖的空氣腔作為溫度傳感區(qū)域,引入空腔模式與內(nèi)壁模產(chǎn)生馬赫—澤德干涉,能夠?qū)崿F(xiàn)溫度響應(yīng)。

    21、(3)本專利技術(shù)中的第一光纖采用同軸雙波導(dǎo)光纖時,利用同軸雙波導(dǎo)光纖引入雙路波導(dǎo),實現(xiàn)雙參量測量,能夠簡化器件的制備過程,并提高器件的集成度,得到結(jié)構(gòu)緊湊的光纖傳感器。

    22、(4)本專利技術(shù)中的毛細(xì)管光纖采用柱狀的毛細(xì)管光纖時,相比于方形或其他多邊形的毛細(xì)管光纖,可以最大限度地利用傳感面積,使表面等離子體激元與待測物產(chǎn)生最大重疊,進一步提高檢測精度。

    23、(5)本專利技術(shù)通過向空氣腔內(nèi)填充pdms、瓊脂、乙醇和葡萄糖溶液等熱敏材料,能夠進一步提高溫度傳感性能。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護點】

    1.一種光纖SPR傳感器,其特征在于,包括:第一光纖、毛細(xì)管光纖和多模光纖;所述第一光纖為能夠?qū)崿F(xiàn)雙路光傳輸?shù)墓饫w,所述毛細(xì)管光纖的表面鍍有金屬薄膜,所述毛細(xì)管光纖的一端與所述第一光纖焊接,所述毛細(xì)管光纖的另一端與所述多模光纖焊接,所述第一光纖作為輸入光纖,所述多模光纖作為輸出光纖;

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖SPR傳感器,其特征在于,所述第一光纖為同軸雙波導(dǎo)光纖,所述同軸雙波導(dǎo)光纖包括包層、環(huán)形纖芯和單模纖芯;沿所述環(huán)形纖芯傳輸?shù)墓庑盘栕鳛檠厮龅谝还饫w的第一路傳輸?shù)墓庑盘枺厮鰡文@w芯傳輸?shù)墓庑盘栕鳛檠厮龅谝还饫w的第二路傳輸?shù)墓庑盘枴?/p>

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光纖SPR傳感器,其特征在于,所述環(huán)形纖芯與所述毛細(xì)管光纖的內(nèi)壁對齊。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖SPR傳感器,其特征在于,所述表面等離子共振SPR的工作波段為可見光波段,所述馬赫—澤德干涉的工作波段為近紅外波段。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖SPR傳感器,其特征在于,所述多模光纖為階躍型多模光纖或漸變型多模光纖。

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖SPR傳感器,其特征在于,所述毛細(xì)管光纖的空氣腔內(nèi)填充有熱敏材料,所述熱敏材料為PDMS、瓊脂、乙醇、葡萄糖溶液中的一種。

    7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖SPR傳感器,其特征在于,所述毛細(xì)管光纖的長度為500至1000μm,所述毛細(xì)管光纖為柱狀的毛細(xì)管光纖。

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖SPR傳感器,其特征在于,所述金屬薄膜為金膜、銀膜、銅膜、復(fù)合金屬膜中的一種;所述復(fù)合金屬膜為金鉻復(fù)合膜、金銀復(fù)合膜中的一種;所述金鉻復(fù)合膜中金作為下層,鉻作為上層;所述金銀復(fù)合膜中銀作為下層,金作為上層。

    9.一種如權(quán)利要求1-8中任一項所述的光纖SPR傳感器的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

    10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光纖SPR傳感器的制備方法,其特征在于,在將毛細(xì)管光纖的一端與第一光纖焊接之前,還包括:對所述毛細(xì)管光纖進行腐蝕處理,使所述毛細(xì)管光纖的內(nèi)壁厚度達到預(yù)設(shè)厚度。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種光纖spr傳感器,其特征在于,包括:第一光纖、毛細(xì)管光纖和多模光纖;所述第一光纖為能夠?qū)崿F(xiàn)雙路光傳輸?shù)墓饫w,所述毛細(xì)管光纖的表面鍍有金屬薄膜,所述毛細(xì)管光纖的一端與所述第一光纖焊接,所述毛細(xì)管光纖的另一端與所述多模光纖焊接,所述第一光纖作為輸入光纖,所述多模光纖作為輸出光纖;

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖spr傳感器,其特征在于,所述第一光纖為同軸雙波導(dǎo)光纖,所述同軸雙波導(dǎo)光纖包括包層、環(huán)形纖芯和單模纖芯;沿所述環(huán)形纖芯傳輸?shù)墓庑盘栕鳛檠厮龅谝还饫w的第一路傳輸?shù)墓庑盘枺厮鰡文@w芯傳輸?shù)墓庑盘栕鳛檠厮龅谝还饫w的第二路傳輸?shù)墓庑盘枴?/p>

    3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光纖spr傳感器,其特征在于,所述環(huán)形纖芯與所述毛細(xì)管光纖的內(nèi)壁對齊。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖spr傳感器,其特征在于,所述表面等離子共振spr的工作波段為可見光波段,所述馬赫—澤德干涉的工作波段為近紅外波段。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖spr傳感器,其特征在于,所述多...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:劉威
    申請(專利權(quán))人:江蘇科技大學(xué)
    類型:發(fā)明
    國別省市:

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