【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)屬于資源回收再利用，具體涉及一種噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置及其工作方法和應(yīng)用。
技術(shù)介紹
1、噴砂是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中重要的一環(huán)，在噴砂過程中，細(xì)砂會隨著水的流動(dòng)而流失，據(jù)統(tǒng)計(jì)，一條生產(chǎn)線大概要流失5％-25％的含量，嚴(yán)重影響噴砂過程中的穩(wěn)定性。同時(shí)，噴砂過程中，每個(gè)小時(shí)產(chǎn)生200l左右的廢水，對于常規(guī)的濕式噴砂機(jī)，廢水和廢砂都是直接排放，或者簡單的壓濾后，回收水再回用到噴砂機(jī)上，但是回收水經(jīng)常由于壓濾機(jī)濾布堵塞導(dǎo)致供水不足，造成此噴砂槽內(nèi)低液位，噴水泵浦就會由于液位低保護(hù)而停止工作，非常的不穩(wěn)定。
2、因此，亟需設(shè)計(jì)一種新型的回收利用系統(tǒng)裝置，以確保回收利用過程的穩(wěn)定運(yùn)行，同時(shí)廢料的安全處理和環(huán)境保護(hù)，提高工作效率和經(jīng)濟(jì)效益。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本專利技術(shù)的目的在于提供一種噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置及其工作方法和應(yīng)用。本專利技術(shù)通過設(shè)計(jì)多級集塵過濾捕捉裝置，捕捉不同目數(shù)的廢砂，然后將不同目數(shù)的廢砂回用到相應(yīng)的噴砂機(jī)上，同時(shí)借助廢水處理裝置回收廢水至噴砂機(jī)中。通過上述設(shè)計(jì)，可循環(huán)利用噴砂機(jī)的砂和水，不僅能夠確保回收利用過程的穩(wěn)定運(yùn)行，減少資源消耗和廢料產(chǎn)生，提高工作效率和經(jīng)濟(jì)效益，而且確保了廢料的安全處理和環(huán)境保護(hù)，具有光明的發(fā)展前景。
2、為達(dá)到此專利技術(shù)目的，本專利技術(shù)采用以下技術(shù)方案：
3、第一方面，本專利技術(shù)提供一種噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置，所述噴砂廢料包括廢砂和廢水，所述回收利用系統(tǒng)裝置包
4、所述多級集塵過濾捕捉裝置的一側(cè)集砂口用于輸出600目以下的廢砂液，回用至所述噴砂機(jī)中，另一側(cè)的廢料口用于輸出剩余廢料。
5、所述回收利用系統(tǒng)裝置還包括廢水處理裝置，所述廢水處理裝置與所述多級集塵過濾捕捉裝置的廢料口連接，用于回收廢水至所述噴砂機(jī)中。
6、本專利技術(shù)通過設(shè)計(jì)多級集塵過濾捕捉裝置，捕捉不同目數(shù)的廢砂，然后將不同目數(shù)的廢砂回用到相應(yīng)的噴砂機(jī)上，同時(shí)借助廢水處理裝置回收廢水至噴砂機(jī)中。通過上述設(shè)計(jì)，可循環(huán)利用噴砂機(jī)的砂和水，不僅能夠確保回收利用過程的穩(wěn)定運(yùn)行，減少資源消耗和廢料產(chǎn)生，提高工作效率和經(jīng)濟(jì)效益，而且確保了廢料的安全處理和環(huán)境保護(hù)，具有光明的發(fā)展前景。
7、本專利技術(shù)中，600目以下的廢砂液，例如可以是580目以下的廢砂液、560目以下的廢砂液、540目以下的廢砂液、520目以下的廢砂液或500目以下的廢砂液等。
8、優(yōu)選地，所述多級集塵過濾捕捉裝置沿著廢料運(yùn)動(dòng)的方向包括依次連接的一級集塵過濾捕捉裝置、二級集塵過濾捕捉裝置和三級集塵過濾捕捉裝置，所述一級集塵過濾捕捉裝置的集砂口用于輸出250-300目的廢砂液，例如可以是250目、260目、270目、280目、290目或300目等；所述二級集塵過濾捕捉裝置的集砂口用于輸出350-450目的廢砂液，例如可以是350目、370目、400目、420目或450目等；所述三級集塵過濾捕捉裝置的集砂口用于輸出500-600目的廢砂液，例如可以是500目、520目、540目、560目、580目或600目等。
9、優(yōu)選地，所述回收利用系統(tǒng)裝置還包括砂水濃度自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)和烘干系統(tǒng)。
10、優(yōu)選地，所述砂水濃度自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)用于檢測并判斷所述廢砂液中砂的濃度，若滿足目標(biāo)濃度要求，則廢砂液回用至所述噴砂機(jī)中；若不滿足目標(biāo)濃度要求，則廢砂液輸入至所述烘干系統(tǒng)進(jìn)行烘干儲存。
11、優(yōu)選地，所述廢料收集裝置為明流槽。
12、優(yōu)選地，所述明流槽的底部安裝有曝氣裝置。
13、優(yōu)選地，所述廢料收集裝置和多級集塵過濾捕捉裝置之間設(shè)置有射流器，用于噴射所述廢料收集裝置中的廢料至所述多級集塵過濾捕捉裝置中。
14、優(yōu)選地，所述廢水處理裝置沿著廢料運(yùn)動(dòng)的方向包括依次連接的沉淀裝置、壓濾裝置和過濾裝置。
15、優(yōu)選地，所述沉淀裝置為沉淀池。
16、優(yōu)選地，所述沉淀池中具有絮凝劑。
17、優(yōu)選地，所述壓濾裝置為板框壓泥機(jī)，所述板框壓泥機(jī)具有廢砂出口和廢水出口。
18、優(yōu)選地，所述沉淀裝置和壓濾裝置之間的管路上設(shè)置有隔膜泵。
19、優(yōu)選地，所述過濾裝置包括依次連接的上清液池、砂濾罐和過濾器，所述上清液池的進(jìn)口連接所述板框壓泥機(jī)的廢水出口。
20、優(yōu)選地，所述過濾器的出口連接回用水泵，用于將過濾后的水泵入所述噴砂機(jī)中。
21、第二方面，本專利技術(shù)提供一種如第一方面所述的噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置的工作方法，所述工作方法包括以下步驟：
22、啟動(dòng)噴砂機(jī)，通過廢料收集裝置將噴砂機(jī)產(chǎn)生的廢料進(jìn)行收集，并輸送至多級集塵過濾捕捉裝置中，從集砂口輸出600目以下的廢砂液，將所述廢砂液回收至所述噴砂機(jī)中繼續(xù)使用。
23、從多級集塵過濾捕捉裝置的廢料口輸出的剩余廢料輸送至廢水處理裝置中，進(jìn)行廢水回收處理，并將得到的回用水回流至所述噴砂機(jī)中繼續(xù)使用。
24、優(yōu)選地，所述回收利用系統(tǒng)裝置還包括砂水濃度自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)和烘干系統(tǒng)。
25、優(yōu)選地，所述砂水濃度自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)的判斷標(biāo)準(zhǔn)為：目標(biāo)濃度在100-150g/l的范圍內(nèi)，例如可以是100g/l、110g/l、120g/l、130g/l、140g/l或150g/l等。
26、第三方面，本專利技術(shù)提供一種如第一方面所述的噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置在半導(dǎo)體領(lǐng)域中的應(yīng)用。
27、本專利技術(shù)所述的數(shù)值范圍不僅包括上述列舉的點(diǎn)值，還包括沒有列舉出的上述數(shù)值范圍之間的任意的點(diǎn)值，限于篇幅及出于簡明的考慮，本專利技術(shù)不再窮盡列舉所述范圍包括的具體點(diǎn)值。
28、相對于現(xiàn)有技術(shù)，本專利技術(shù)具有以下有益效果：
29、本專利技術(shù)通過設(shè)計(jì)多級集塵過濾捕捉裝置，捕捉不同目數(shù)的廢砂，然后將不同目數(shù)的廢砂回用到相應(yīng)的噴砂機(jī)上，同時(shí)借助廢水處理裝置回收廢水至噴砂機(jī)中。通過上述設(shè)計(jì)，可循環(huán)利用噴砂機(jī)的砂和水，不僅能夠確保回收利用過程的穩(wěn)定運(yùn)行，減少資源消耗和廢料產(chǎn)生，提高工作效率和經(jīng)濟(jì)效益，而且確保了廢料的安全處理和環(huán)境保護(hù)，具有光明的發(fā)展前景。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述噴砂廢料包括廢砂和廢水，所述回收利用系統(tǒng)裝置包括沿著廢料運(yùn)動(dòng)的方向依次連接的噴砂機(jī)、廢料收集裝置和多級集塵過濾捕捉裝置；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多級集塵過濾捕捉裝置沿著廢料運(yùn)動(dòng)的方向包括依次連接的一級集塵過濾捕捉裝置、二級集塵過濾捕捉裝置和三級集塵過濾捕捉裝置；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述回收利用系統(tǒng)裝置還包括砂水濃度自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)和烘干系統(tǒng)；
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述廢料收集裝置為明流槽；
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述廢水處理裝置沿著廢料運(yùn)動(dòng)的方向包括依次連接的沉淀裝置、壓濾裝置和過濾裝置；
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述壓濾裝置為板框壓泥機(jī)，所述板框壓泥機(jī)具有廢砂出口和廢水出口；
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述過濾裝置包括依次
8.一種如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置的工作方法，其特征在于，所述工作方法包括以下步驟：
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工作方法，其特征在于，所述回收利用系統(tǒng)裝置還包括砂水濃度自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)和烘干系統(tǒng)；
10.一種如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置在半導(dǎo)體領(lǐng)域中的應(yīng)用。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種噴砂機(jī)噴砂廢料的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述噴砂廢料包括廢砂和廢水，所述回收利用系統(tǒng)裝置包括沿著廢料運(yùn)動(dòng)的方向依次連接的噴砂機(jī)、廢料收集裝置和多級集塵過濾捕捉裝置；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述多級集塵過濾捕捉裝置沿著廢料運(yùn)動(dòng)的方向包括依次連接的一級集塵過濾捕捉裝置、二級集塵過濾捕捉裝置和三級集塵過濾捕捉裝置；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述回收利用系統(tǒng)裝置還包括砂水濃度自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng)和烘干系統(tǒng)；
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述廢料收集裝置為明流槽；
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的回收利用系統(tǒng)裝置，其特征在于，所述廢水處理裝置沿著廢料運(yùn)動(dòng)的方向包括依...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王超，金英鎮(zhèn)，邵春偉，
申請(專利權(quán))人：寧波施捷電子有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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