【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及密封件，尤其涉及一種耐高溫全氟醚橡膠制備方法。
技術介紹
1、在半導體制造中，彈性體密封件的可靠性非常關鍵，停產更換密封件代價極高，為了避免出現潛在的風險，對密封件的清潔度和純凈度的要求都非常嚴格，同時密封件必須能夠在等離子體環境、高溫環境中長期工作。
2、全氟醚橡膠通常由多種單體共同聚合而成，其中包括四氟乙烯、第三硫化點單體與全氟烷（氧）基乙烯基醚。全氟烷基乙烯基醚可以為全氟甲基乙烯基醚等，全氟烷氧基乙烯基醚可以為全氟-2-丙氧基乙烯基醚等。
3、全氟醚橡膠(ffkm)是當今最耐高溫（最高可達325℃)和最耐化學介質(1800多種)的合成彈性體，也是最昂貴（每千克數萬元）的合成彈性體，同等重量的產品價格接近黃金。ffkm常應用于半導體行業中。全氟醚橡膠受到高溫、等離子體腐蝕后，容易產生裂縫，并在拉伸和壓縮狀態下會迅速發展成貫穿型裂紋，使橡膠斷裂，因此需要進一步提高全氟醚橡膠的耐高溫和耐等離子體性能。
技術實現思路
1、基于
技術介紹
存在的技術問題，本專利技術提出了一種耐高溫全氟醚橡膠制備方法，本專利技術制得的全氟醚橡膠具有良好的導熱性、耐高溫性能、耐等離子體性能。
2、本專利技術提出了一種耐高溫全氟醚橡膠制備方法，包括如下步驟：將全氟醚橡膠、改性碳化硅、改性氮化硼納米片混煉，再加入交聯劑混勻，分段硫化得到耐高溫全氟醚橡膠；
3、其中，在改性氮化硼納米片的制備過程中，將納米碳化硅、氮化硼納米片、聚甲基丙烯酸甲酯、催化劑和溶
4、本專利技術所述全氟醚橡膠的第三硫化點單體為含溴的硫化點單體，如：溴三氟乙烯、1-溴-2,2-二氟乙烯等。
5、優選地，在改性氮化硼納米片的制備過程中，納米碳化硅、氮化硼納米片、聚甲基丙烯酸甲酯、催化劑的重量比為2-2.5:10:3-4:0.4-0.5。
6、優選地，在改性氮化硼納米片的制備過程中，催化劑為二茂鐵。
7、優選地，在改性氮化硼納米片的制備過程中，溶劑為n-甲基吡咯烷酮。
8、優選地，在改性氮化硼納米片的制備過程中，于700-750℃燒結30-40min。
9、優選地，在改性氮化硼納米片的制備過程中，在惰性氣體氛圍中燒結。
10、優選地，改性碳化硅為含碳碳雙鍵的硅烷偶聯劑改性碳化硅。
11、上述含碳碳雙鍵的硅烷偶聯劑可以為γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷等。
12、優選地，改性碳化硅、改性氮化硼納米片的重量比為40-45:8-10。
13、優選地，全氟醚橡膠、改性碳化硅的重量比為100:40-45。
14、優選地，全氟醚橡膠、交聯劑的重量比為100:3-4。
15、優選地，交聯劑為2,5-二甲基-2,5-二（叔丁基過氧基）己烷和三烯丙基異氰脲酸酯。
16、上述耐高溫全氟醚橡膠的原料還可以含有增塑劑、防老劑等。
17、優選地，于160-165℃硫化8-12min，于200-220℃二段硫化20-24h。
18、本專利技術將納米碳化硅、氮化硼納米片、聚甲基丙烯酸甲酯、催化劑混合制成薄膜，然后燒結催化聚甲基丙烯酸甲酯轉變成碳納米管，并使得碳納米管均勻分布在氮化硼納米片層之間，而納米碳化硅均勻分布在氮化硼納米片表面和層間，三者的分布狀態可以在氮化硼納米片的面層、層間間隙形成相互聯通的導熱通道，從而大幅提高氮化硼納米片的導熱性；并且三者的分布狀態可以相互配合，提高耐等離子體的性能；再經含碳碳雙鍵的硅烷偶聯劑接枝改性可以提高其與全氟醚橡膠的相容性；
19、并且接枝碳碳雙鍵的改性氮化硼納米片與接枝碳碳雙鍵的改性碳化硅，一方面可以與全氟醚橡膠具有良好的相容性，另一方面可以與2,5-二甲基-2,5-二（叔丁基過氧基）己烷和三烯丙基異氰脲酸酯相互配合，與全氟醚橡膠的硫化點的接枝交聯，從而使得改性碳化硅、改性氮化硼納米片沿著全氟醚橡膠主鏈均勻分布形成連續的導熱通道和等離子體阻隔層，可以將熱量傳遞出去，從而大幅提高全氟醚橡膠的耐高溫、耐等離子體性能；并且其沿全氟醚橡膠主鏈均勻分布可以大幅提高橡膠的韌性和強度，避免橡膠受到等離子體腐蝕后，容易產生裂縫導致橡膠斷裂的問題。
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1.一種耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，包括如下步驟：將全氟醚橡膠、改性碳化硅、改性氮化硼納米片混煉，再加入交聯劑混勻，分段硫化得到耐高溫全氟醚橡膠；
2.根據權利要求1所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化硼納米片的制備過程中，納米碳化硅、氮化硼納米片、聚甲基丙烯酸甲酯、催化劑的重量比為2-2.5:10:3-4:0.4-0.5。
3.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化硼納米片的制備過程中，催化劑為二茂鐵。
4.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化硼納米片的制備過程中，溶劑為N-甲基吡咯烷酮。
5.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化硼納米片的制備過程中，于700-750℃燒結30-40min。
6.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化硼納米片的制備過程中，在惰性氣體氛圍中燒結。
7.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，改性碳化硅
8.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，改性碳化硅、改性氮化硼納米片的重量比為40-45:8-10。
9.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，全氟醚橡膠、改性碳化硅的重量比為100:40-45。
10.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，全氟醚橡膠、交聯劑的重量比為100:3-4。
...【技術特征摘要】
1.一種耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，包括如下步驟：將全氟醚橡膠、改性碳化硅、改性氮化硼納米片混煉，再加入交聯劑混勻，分段硫化得到耐高溫全氟醚橡膠；
2.根據權利要求1所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化硼納米片的制備過程中，納米碳化硅、氮化硼納米片、聚甲基丙烯酸甲酯、催化劑的重量比為2-2.5:10:3-4:0.4-0.5。
3.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化硼納米片的制備過程中，催化劑為二茂鐵。
4.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化硼納米片的制備過程中，溶劑為n-甲基吡咯烷酮。
5.根據權利要求1或2所述耐高溫全氟醚橡膠制備方法，其特征在于，在改性氮化...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王涌，崔哲，廖蓉，葉寅，
申請(專利權)人：上海熹賈精密技術有限公司，
類型：發明
國別省市：
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