【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】
本專(zhuān)利技術(shù)涉及聚羥基酰胺樹(shù)脂與可借助光產(chǎn)生酸的化合物的正型感光性樹(shù)脂組合物，以及聚羥基酰胺樹(shù)脂。該樹(shù)脂組合物適合作為半導(dǎo)體、印刷基板等電路基板的保護(hù)皮膜、絕緣皮膜等使用。
技術(shù)介紹
由以具有卓越的機(jī)械特性、高耐熱性的感光性聚酰亞胺樹(shù)脂為代表的感光性樹(shù)脂制作的感光性樹(shù)脂絕緣膜，其用途不斷擴(kuò)展，不僅在半導(dǎo)體領(lǐng)域，甚至開(kāi)始普及到顯示器領(lǐng)域，因而前所未有地對(duì)絕緣膜要求可靠性。 現(xiàn)在使用的正型感光性樹(shù)脂組合物大多是通過(guò)在基材聚合物中添加感光性溶解抑止劑(DNQ重氮萘醌)而制作的。由該樹(shù)脂組合物制作涂膜，然后介由掩模進(jìn)行曝光，通過(guò)使曝光部溶解在作為代表性的水溶性堿性顯影液的四甲基氫氧化銨(TMAH)中，從而得到正型圖案。 因?yàn)榇硇缘木埘啺废嫡透泄庑詷?shù)脂組合物對(duì)TMAH的溶解性過(guò)高，所以人們使用下述方法，即通過(guò)使用三乙胺那樣的堿性有機(jī)化合物，減少聚酰胺酸的酸度，從而抑制向堿性顯影液的溶解速度這樣的方法(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。 另一方面，因?yàn)榫哿u基酰胺樹(shù)脂在TMAH中具有適宜的溶解性，所以有適合作為正型感光性樹(shù)脂組合物使用的報(bào)告(例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。 就使用聚羥基酰胺樹(shù)脂的正型感光性樹(shù)脂組合物所要求的特性而言，可列舉在電絕緣性、耐熱性、機(jī)械強(qiáng)度等方面具有優(yōu)異的膜物性，可以形成高分辨率電路圖案等。近年來(lái)，這些正型感光性樹(shù)脂組合物所要求的特性越來(lái)越嚴(yán)格。 聚羥基酰胺樹(shù)脂通常是使用二羧酰氯和二羥胺在堿性條件下合成的(非專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。但是，因?yàn)樵谏鲜龇椒ㄖ校磻?yīng)溶液中存在氯化物離子等無(wú)機(jī)離子，所以在反應(yīng)結(jié)束之后必須將聚合物進(jìn)行分離純化。另外因?yàn)榈玫降恼透泄庑詷?shù)脂組合物...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種正型感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，含有聚羥基酰胺樹(shù)脂（Ａ）和可借助光產(chǎn)生酸的化合物（Ｂ），所述聚羥基酰胺樹(shù)脂（Ａ）是含有式（１）所示的重復(fù)單元、且重均分子量為３０００～１０００００的至少１種聚羥基酰胺樹(shù)脂， ＊＊＊ （１） 上式中，Ｘ表示４價(jià)的脂肪族基團(tuán)或芳香族基團(tuán)， Ｒ↑［１］和Ｒ↑［２］各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)１～１０的烷基， Ａｒ↑［１］和Ａｒ↑［２］各自獨(dú)立地表示芳香族基團(tuán)， Ｙ表示含有被至少１個(gè)ＯＨ基取代的芳香族基團(tuán)的有機(jī)基 團(tuán)， ｎ表示１以上的整數(shù)， ｌ和ｍ各自獨(dú)立地表示０或１以上的整數(shù)，且滿(mǎn)足ｌ＋ｍ≤２。
【技術(shù)特征摘要】
【國(guó)外來(lái)華專(zhuān)利技術(shù)】JP 2007-6-5 149088/20071.一種正型感光性樹(shù)脂組合物，其特征在于，含有聚羥基酰胺樹(shù)脂(A)和可借助光產(chǎn)生酸的化合物(B)，所述聚羥基酰胺樹(shù)脂(A)是含有式(1)所示的重復(fù)單元、且重均分子量為3000～100000的至少1種聚羥基酰胺樹(shù)脂，上式中，X表示4價(jià)的脂肪族基團(tuán)或芳香族基團(tuán)，R1和R2各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)1～10的烷基，Ar1和Ar2各自獨(dú)立地表示芳香族基團(tuán)，Y表示含有被至少1個(gè)OH基取代的芳香族基團(tuán)的有機(jī)基團(tuán)，n表示1以上的整數(shù)，l和m各自獨(dú)立地表示0或1以上的整數(shù)，且滿(mǎn)足l+m≤2。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述X表示脂肪族基團(tuán)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述X表示具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)的脂肪族基團(tuán)。4.根據(jù)權(quán)利要求1～3的任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，在所述X中，X-Ar1鍵和X-C(O)鍵分別結(jié)合在X中的相鄰原子上，X-Ar2鍵和另一個(gè)X-C(O)鍵分別結(jié)合在X中的相鄰原子上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，在上述式(1)中，基具有下述式(2)所示結(jié)構(gòu)，上式中，Ar1、Ar2、Y、l和m表示與上述相同的含義，R3～R6各自獨(dú)立地表示氫原子或碳原子數(shù)1～10的烷基。6.根據(jù)權(quán)利要求1～5的任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Ar1和Ar2各自獨(dú)立地表示苯環(huán)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述-Ar1(OH)l基和-Ar2(OH)m基具有下述式(3)所示結(jié)構(gòu)，上式中，R7～R10各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基、磺酰基、可以被W1取代的苯基、可以被W1取代的萘基、可以被W1取代的噻吩基或可以被W1取代的呋喃基，W1表示碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、羥基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基或磺酰基。8.根據(jù)權(quán)利要求1～7的任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Y表示含有被至少1個(gè)OH基取代的苯環(huán)的有機(jī)基團(tuán)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Y表示含有2個(gè)以上的被至少1個(gè)OH基取代的苯環(huán)的有機(jī)基團(tuán)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Y具有下述式(4)所示結(jié)構(gòu)，上式中，R11～R16各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、羥基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基、磺酰基、可以被W2取代的苯基、可以被W2取代的萘基、可以被W2取代的噻吩基或可以被W2取代的呋喃基，W2表示碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、羥基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基或磺酰基，Z1表示單鍵、可以被W3取代的碳原子數(shù)1～10的亞烷基、-C(O)O-、-C(O)NH-、-O-、-S-、-S(O)2-或-C(O)-，W3表示碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基或碳原子數(shù)1～10的烷氧基。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Z1表示單鍵、-CH2-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、-C(O)NH-、-O-、-S(O)2-或-C(O)-。12.根據(jù)權(quán)利要求1～11的任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述聚羥基酰胺樹(shù)脂(A)還含有下述式(5)所示的至少1種重復(fù)單元，上式中，X、Ar1、Ar2、R1、R2、l和m表示與上述相同的含義，Q表示2價(jià)的有機(jī)基團(tuán)，其中不含OH基，P表示1以上的整數(shù)。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Q表示含有芳香族基團(tuán)的有機(jī)基團(tuán)。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Q表示含有苯環(huán)的有機(jī)基團(tuán)。15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Q表示含有2個(gè)以上苯環(huán)的有機(jī)基團(tuán)。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述Q表示含有選自下述式(6)～式(8)的至少1種重復(fù)結(jié)構(gòu)單元的有機(jī)基團(tuán)，式(6)中，R17～R24各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基、磺酰基、可以被W4取代的苯基、可以被W4取代的萘基、可以被W4取代的噻吩基或可以被W4取代的呋喃基，W4表示碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、羥基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基或磺酰基，式(7)和式(8)中，R25～R51各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基、磺酰基、可以被W4取代的苯基、可以被W4取代的萘基、可以被W4取代的噻吩基或可以被W4取代的呋喃基，W4表示與上述相同的含義，并且，式(6)～式(8)中，Z2～Z7各自獨(dú)立地表示單鍵、可以被W5取代的碳原子數(shù)1～10的亞烷基、-C(O)O-、-C(O)NH-、-O-、-S-、-S(O)2-或-C(O)-，W5表示碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基或碳原子數(shù)1～10的烷氧基。17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述式(6)～式(8)中，Z2～Z7各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～3的亞烷基、-O-、-S-、-S(O)2-或-C(O)-。18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述式(6)中，Z2表示-O-。19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述式(7)中，Z3和Z4表示-O-。20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述式(8)中，Z5和Z7表示-O-，Z6表示-S(O)2-。21.根據(jù)權(quán)利要求1～20的任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述聚羥基酰胺樹(shù)脂(A)還含有下述式(9)所示的至少1種重復(fù)單元，上式中，X、Ar1、Ar2、R1、R2、l和m表示與上述相同的含義，R52～R56各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基、磺酰基、可以被W6取代的苯基、可以被W6取代的萘基、可以被W6取代的噻吩基或可以被W6取代的呋喃基，W6表示碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基、碳原子數(shù)1～10的烷氧基、羥基、鹵原子、硝基、甲酰基、氰基、羧基、膦酰基或磺酰基，Z8～Z10各自獨(dú)立地表示單鍵、可以被W7取代的碳原子數(shù)1～10的亞烷基、-C(O)O-、-C(O)NH-、-O-、-S-、-S(O)2-或-C(O)-，W7表示碳原子數(shù)1～10的烷基、碳原子數(shù)1～10的鹵烷基或碳原子數(shù)1～10的烷氧基，并且，q表示1以上的整數(shù)。22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述式(9)中，Z8～Z10各自獨(dú)立地表示碳原子數(shù)1～3的亞烷基、-O-、-S-、-S(O)2-或-C(O)-。23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，所述式(9)中，Z8和Z10表示亞丙基，Z9表示-O-。24.根據(jù)權(quán)利要求1～23的任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，相對(duì)于100質(zhì)量份的所述聚羥基酰胺樹(shù)脂(A)，含有0.01～100質(zhì)量份的所述可借助光產(chǎn)生酸的化合物(B)。25.根據(jù)權(quán)利要求1～24的任一項(xiàng)所述的正型感光性樹(shù)脂組合物，還含有交聯(lián)性化合物(C)。...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：江原和也，鈴木秀雄，田村隆行，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：日產(chǎn)化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：JP[日本]
還沒(méi)有人留言評(píng)論。發(fā)表了對(duì)其他瀏覽者有用的留言會(huì)獲得科技券。