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    硅片切割墊塊加工機制造技術

    技術編號:4781987 閱讀:169 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
    本實用新型專利技術涉及一種硅片切割墊塊加工機,專門用于磨削硅片切割墊塊的弧形凹槽,其特征在于包括機架,機架上設置有十字滑臺及升降立柱,升降立柱位于十字滑臺的一側,磨削工作頭及動力箱連接在升降導套上;十字滑臺上設置有工作臺,工作臺上固定裝置有切割墊塊夾具。本實用新型專利技術結構簡單,操作方便,提高加工硅片切割墊塊的生產效率。(*該技術在2019年保護過期,可自由使用*)

    【技術實現步驟摘要】

    本技術涉及一種磨削機床,尤其是涉及一種用于磨削硅片切割墊塊的弧形凹槽的硅片切割墊塊加工機
    技術介紹
    在硅片加工過程中,要將硅棒用線切割加工工藝切割成硅片。在該加工過程中,硅 棒用專用膠粘結在切割墊塊上進行線切割,切割墊塊上有與硅棒配合的弧形凹槽。硅片切 割完成后,切割墊塊上會留有很多切割槽,因此該切割墊塊不能重復使用,用量很大,用普 通機床來加工切割墊塊上的弧形凹槽,生產效率較低。另外,切割墊塊通常用石墨材料制 成,由于石墨是碳質元素結晶礦物,切割過程中會對硅片產生污染,不易清洗,因此有必要 用玻璃替代石墨作為切割墊塊的材料,玻璃的主要成份是二氧化硅,與硅片的材料類似,使 硅片切割后更易清洗,但玻璃的材質較硬,加工較困難,因此需要有專用機床來加工。
    技術實現思路
    本申請人針對上述的問題,進行了研究改進,提供一種結構簡單、操作方便的硅片切割墊塊加工機,提高加工硅片切割墊塊的生產效率。 為了解決上述技術問題,本技術采用如下的技術方案 —種硅片切割墊塊加工機,包括機架,機架上設置有十字滑臺及升降立柱,升降立 柱位于十字滑臺的一側,磨削工作頭及動力箱連接在升降導套上;十字滑臺上設置有工作 臺,工作臺上固定裝置有切割墊塊夾具。進一步的 所述工作臺上四周設有擋邊,工作臺的一角處設有排水孔,排水孔連接排水管。 本技術的技術效果在于 本技術公開的一種硅片切割墊塊加工機,結構簡單,操作方便,專門用于硅片 切割墊塊的弧形凹槽的加工,提高加工硅片切割墊塊的生產效率。附圖說明圖1為本技術的結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術的具體實施方式作進一步詳細的說明。 如圖1所示,本技術包括機架l,機架1上設置有十字滑臺2及升降立柱4,升 降立柱4位于十字滑臺2的一側,磨削工作頭7及動力箱5連接在升降導套8上,磨削工作 頭7由動力箱5提供動力旋轉,十字滑臺2上設置有工作臺3,十字滑臺2通過手柄調整工 作臺3在X、 Y向的位置,升降導套8在升降立柱4上升降調整磨削工作頭7及動力箱5的 Z向位置,磨削工作頭7用于磨削切割墊塊10的弧形凹槽。工作臺3上固定裝置切割墊塊夾具6,切割墊塊夾具6通過螺釘固定切割墊塊10。工作臺3四周設有擋邊301,工作臺3 的右下角處設有排水孔,排水孔連接排水管9,擋邊301擋住磨削時使用的冷卻液,磨削時 的冷卻液及磨屑通過排水管9排出。權利要求一種硅片切割墊塊加工機,其特征在于包括機架,機架上設置有十字滑臺及升降立柱,升降立柱位于十字滑臺的一側,磨削工作頭及動力箱連接在升降導套上;十字滑臺上設置有工作臺,工作臺上固定裝置有切割墊塊夾具。2. 按照權利要求1所述的硅片切割墊塊加工機,其特征在于所述工作臺上四周設有 擋邊,工作臺的一角處設有排水孔,排水孔連接排水管。專利摘要本技術涉及一種硅片切割墊塊加工機,專門用于磨削硅片切割墊塊的弧形凹槽,其特征在于包括機架,機架上設置有十字滑臺及升降立柱,升降立柱位于十字滑臺的一側,磨削工作頭及動力箱連接在升降導套上;十字滑臺上設置有工作臺,工作臺上固定裝置有切割墊塊夾具。本技術結構簡單,操作方便,提高加工硅片切割墊塊的生產效率。文檔編號B24B19/22GK201446476SQ20092004548公開日2010年5月5日 申請日期2009年5月19日 優先權日2009年5月19日專利技術者周永清 申請人:宜興市鼎科電子電力器材廠本文檔來自技高網...

    【技術保護點】
    一種硅片切割墊塊加工機,其特征在于:包括機架,機架上設置有十字滑臺及升降立柱,升降立柱位于十字滑臺的一側,磨削工作頭及動力箱連接在升降導套上;十字滑臺上設置有工作臺,工作臺上固定裝置有切割墊塊夾具。

    【技術特征摘要】

    【專利技術屬性】
    技術研發人員:周永清
    申請(專利權)人:宜興市鼎科電子電力器材廠
    類型:實用新型
    國別省市:32[中國|江蘇]

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