【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種磨削機床,尤其是涉及一種用于磨削硅片切割墊塊的弧形凹槽的硅片切割墊塊加工機。
技術介紹
在硅片加工過程中,要將硅棒用線切割加工工藝切割成硅片。在該加工過程中,硅 棒用專用膠粘結在切割墊塊上進行線切割,切割墊塊上有與硅棒配合的弧形凹槽。硅片切 割完成后,切割墊塊上會留有很多切割槽,因此該切割墊塊不能重復使用,用量很大,用普 通機床來加工切割墊塊上的弧形凹槽,生產效率較低。另外,切割墊塊通常用石墨材料制 成,由于石墨是碳質元素結晶礦物,切割過程中會對硅片產生污染,不易清洗,因此有必要 用玻璃替代石墨作為切割墊塊的材料,玻璃的主要成份是二氧化硅,與硅片的材料類似,使 硅片切割后更易清洗,但玻璃的材質較硬,加工較困難,因此需要有專用機床來加工。
技術實現思路
本申請人針對上述的問題,進行了研究改進,提供一種結構簡單、操作方便的硅片切割墊塊加工機,提高加工硅片切割墊塊的生產效率。 為了解決上述技術問題,本技術采用如下的技術方案 —種硅片切割墊塊加工機,包括機架,機架上設置有十字滑臺及升降立柱,升降立 柱位于十字滑臺的一側,磨削工作頭及動力箱連接在升降導套上;十字滑臺上設置有工作 臺,工作臺上固定裝置有切割墊塊夾具。進一步的 所述工作臺上四周設有擋邊,工作臺的一角處設有排水孔,排水孔連接排水管。 本技術的技術效果在于 本技術公開的一種硅片切割墊塊加工機,結構簡單,操作方便,專門用于硅片 切割墊塊的弧形凹槽的加工,提高加工硅片切割墊塊的生產效率。附圖說明圖1為本技術的結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術的具體實施方式作進一步詳細的說明。 如圖1所示,本 ...
【技術保護點】
一種硅片切割墊塊加工機,其特征在于:包括機架,機架上設置有十字滑臺及升降立柱,升降立柱位于十字滑臺的一側,磨削工作頭及動力箱連接在升降導套上;十字滑臺上設置有工作臺,工作臺上固定裝置有切割墊塊夾具。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員:周永清,
申請(專利權)人:宜興市鼎科電子電力器材廠,
類型:實用新型
國別省市:32[中國|江蘇]
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