【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種手動夾持工具，尤其是涉及一種用于夾持清洗或拋光后的硅片的夾持器。
技術介紹
硅片是制造大規模集成電路的主要材料，在生產過程中通常需要經過拋光、清洗 等工藝過程制造成集成電路級半導體硅片。在拋光和清洗工藝完成后，通常直接用手取出 硅片，此時用手取出經過拋光或清洗的硅片，會引起硅片邊緣及表面劃傷或再次污染，從而 嚴重地影響產品的合格率，造成原材料的浪費，大大地提高制造成本。
技術實現思路
本申請人針對上述的問題，進行了研究改進，提供一種結構簡單、操作方便的硅片 夾持器，減少對經拋光或清洗的硅片的表面劃傷或污染，提高產品的合格率，減少原材料的 浪費，降低制造成本。 為了解決上述技術問題，本技術采用如下的技術方案 —種硅片夾持器，包括操作部及夾持部，所述操作部包括兩個上端鉸接在一起的弧形操作臂，操作臂上部分別設有操作手柄，操作臂的下端連接夾持部，兩個操作臂上部的內側連接有拉簧；所述夾持部為呈V形的夾持桿，夾持桿上設有容片槽。進一步的 所述容片槽的橫截面呈V形。 所述V形容片槽的角度為45。 90° 。 所述V形夾持桿的夾角為90。 130° 。 本技術的技術效果在于 本技術公開的一種硅片夾持器，結構簡單，操作方便，夾持可靠，由于采用V 形的夾持部及V形的容片槽，與硅片的接觸面積小，減小對經拋光或清洗的硅片表面劃傷 或污染的可能，提高產品的合格率，減少原材料的浪費，降低制造成本。附圖說明圖1為本技術的三維結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖對本技術的具體實施方式作進一步詳細的說明。 如圖1所示，本技術包括操作部1及夾持部2，操作部1包括兩個操作臂101， ...
【技術保護點】
一種硅片夾持器，其特征在于：包括操作部及夾持部，所述操作部包括兩個上端鉸接在一起的弧形操作臂，操作臂上部分別設有操作手柄，操作臂的下端連接夾持部，兩個操作臂上部的內側連接有拉簧；所述夾持部為呈Ｖ形的夾持桿，夾持桿上設有容片槽。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：周永清，
申請(專利權)人：宜興市鼎科電子電力器材廠，
類型：實用新型
國別省市：32[中國|江蘇]
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