適配板、雙工位測試機的改裝方法和測試方法技術

本發明專利技術提供一種適配板，用于將單工位的測試機改裝成雙工位的測試機，包括：蜂窩板，將繼電器組件固定于蜂窩板上的插座，以及轉接板；所述轉接板連接所述繼電器組件的引腳，使所述繼電器組件的公共引腳連接單工位測試機、所述繼電器組件的第一信號引腳連接第一待測芯片的測試端、所述繼電器組件的第二信號引腳連接所述第二待測芯片的測試端，所述第一待測芯片位于第一工位上、所述第二待測芯片位于第二工位上；以及利用所述適配板的雙工位測試機、利用所述雙工位測試機的測試方法，以及利用所述適配板將單工位測試機改裝成雙工位測試機的方法。解決了現有技術測試效率低、測試成本高的問題。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及半導體測試領域，特別涉及一種適配板和雙工位測試機的改裝方法和 測試方法。
技術介紹
隨著半導體測試行業不斷向前發展，測試成本的不斷提高。傳統的單工位測試已 經不再滿足現在測試的需要，多工位測試已經成為測試發展的必然趨勢。多工位測試可以有效的縮短探針臺托盤上下移動的次數，從而縮短測試時間，節 約測試成本，提高生產效率。但是并行多工位測試機的價格比單工位測試機的昂貴，目前， 用于測試電源芯片(Power IC)的四臺科進(COGENT)測試機都是單工位測試機，這無疑造 成了資源的浪費。因此，有待于提出一種能將單工位測試機改裝成雙工位測試機甚至多工位測試機 的方法。
技術實現思路
為了解決現有技術中單工位測試機測試時間較長、測量成本很高、測試效率低的 問題，本專利技術提供一種用于將單工位的測試機改裝成雙工位的測試機適配板、利用所述適 配板的雙工位測試機、利用所述雙工位測試機的測試方法，以及利用所述適配板將單工位 測試機改裝成雙工位測試機的方法。根據本專利技術的一方面，提供一種適配板，用于將單工位的測試機改裝成雙工位的 測試機，包括蜂窩板，將繼電器組件固定于蜂窩板上的插座，以及轉接板；所述轉接板連接所述繼電器組件的引腳，使所述繼電器組件的公共引腳連接單工 位測試機、所述繼電器組件的第一信號引腳連接第一待測芯片的測試端、所述繼電器組件 的第二信號引腳連接所述第二待測芯片的測試端，所述第一待測芯片位于第一工位上、所 述第二待測芯片位于第二工位上。優選的，所述繼電器組件中的繼電器為雙刀雙擲繼電器，能同時測量待測芯片的 兩種信號。優選的，所述繼電器的型號為TQ2-5V。優選的，所述繼電器組件由三個相同繼電器組成，所述三個繼電器的第一引腳并 聯同時接5V電源，所述三個繼電器的第十引腳并聯同時接控制線。根據本專利技術的一方面，還提供一種包括上述任一項所述的適配板的雙工位測試 機。根據本專利技術的一方面，還提供一種利用所述的雙工位測試機的測試方法，包括將第一待測芯片和第二待測芯片分別放置于所述適配板上的第一工位和第二工 位；測試所述第一待測芯片的信號并記錄；通過繼電器激活所述第二待測芯片，測試所述第二待測芯片的信號并記錄；輸出所述第一待測芯片和第二待測芯片的測試結果。根據本專利技術的一方面，還提供一種利用上述任一項適配板將單工位測試機改裝成 雙工位測試機的方法，包括確定具有雙工位測試硬件資源的單工位測試機；將所述單工位測試機的程序通過繼電器組件重新設置，使所述繼電器加電時測試 第一待測芯片，所述繼電器不加電時測試第二待測芯片；利用蜂窩板、繼電器組件、插座以及轉接板組裝適配板；連接所述適配板和所述單工位測試機的對應引腳，得到雙工位測試機。優選的，將單工位測試機改裝成雙工位測試機的方法，還包括利用所述雙工位測 試機進行成品測試。優選的，所述繼電器組件中的繼電器為雙刀雙擲繼電器，能同時測量待測芯片的 兩種信號。優選的，所述繼電器的型號為TQ2-5V。優選的，所述繼電器組件由三個相同繼電器組成，所述三個繼電器的第一引腳并 聯同時接5V電源，所述三個繼電器的第十引腳并聯同時接控制線。本實施例的適配板可以將單工位測試機改裝成雙工位測試機，所述適配板的價格 低廉、組裝方便，其約30元左右的成本，但是卻可以很大程度的提高測試效率，節約測試成 本。利用本專利技術的雙工位測試機，可以大大節約時間和節省測試成本。本專利技術，在單工位測試機內部硬件不變的情況下，通過在單工位測試機的外部加 適配板并更改單工位測試機控制程序，實現將單工位測試機改裝成串行雙工位測試機，從 而達到了節省測試資源提高生產效率的目的。附圖說明圖1為本專利技術適配板的結構示意圖。圖2為一種繼電器的結構示意圖。圖3位繼電器組件內繼電器的連接方式。圖4為雙工位測試流程圖。圖5為利用單工位測試機和本專利技術的雙工位測試機進行測試得到的試驗數據對 照表。具體實施例方式為了使本專利技術的內容更加清楚和易懂，下面結合具體實施例和附圖對本專利技術的內 容進行詳細描述。為了能很好的利用現有的單工位測試機和測試系統，但同時又能提高測試效率且 不增加成本，專利技術人想到利用人們常見的資源制作一個適配板，選擇具有雙工位測試所需 要的硬件資源的單工位測試機，在單工位測試機已有的硬件資源不變的情況下，通過在單工位測試機外部連接一個制作的適配板，使原來只能測試單工位的單工位測試機改裝成可 以進行雙工位串行測試的雙工位測試機，從而有效地節約測試時間，合理利用測試資源，提 高生產效益。實施例1本實施例提供一種能將單工位的測試機改裝成雙工位的測試機的適配板，所述適 配板包括蜂窩板，將繼電器組件固定于蜂窩板上的插座，以及轉接板；所述轉接板連接所 述繼電器組件的引腳，使所述繼電器組件的公共引腳連接單工位測試機、所述繼電器組件 的第一信號引腳連接第一待測芯片的測試端、所述繼電器組件的第二信號引腳連接所述第 二待測芯片的測試端，所述第一待測芯片位于第一工位上、所述第二待測芯片位于第二工 位上。圖1為本專利技術適配板的結構示意圖。如圖1所示，所述適配板包括蜂窩板100， 將繼電器組件130固定于蜂窩板100上的插座(未圖示)，以及轉接板140 ；所述轉接板 140連接所述繼電器組件130的引腳，使所述繼電器組件130的公共引腳連接單工位測試機 150、所述繼電器組件130的第一信號引腳連接第一待測芯片110的測試端、所述繼電器組 件130的第二信號引腳連接所述第二待測芯片120的測試端，所述第一待測芯片位于第一 工位(未圖示)上、所述第二待測芯片位于第二工位(未圖示)上。所述繼電器組件130中的繼電器為雙刀雙擲開關，這樣，可以同時測量待測芯片 的兩種信號。圖2為一種繼電器的結構示意圖。如果待測芯片為晶圓，待測信號為晶圓的柵極 感測信號、柵極壓力信號、源極感測信號、源極壓力信號、漏極感測信號、漏極壓力信號，則 所述繼電器組件優選的包括三個相同繼電器，每個所述繼電器的結構如圖2所示。所述繼 電器包括10個引腳，第一引腳1為電源引腳，第十引腳10為控制引腳，當所述第一引腳1連 接高電平，所述第十引腳10連接低電平時，第二引腳2、第三引腳3、第八引腳8和第九引腳 9接通；當所述第一引腳1和所述第十引腳10不加電時，第三引腳3、第四引腳4、第七引腳 7和第八引腳8接通；其中，第二引腳2、第九引腳9、第四引腳4和第七引腳7為信號引腳， 第三引腳3和第八引腳8為公共引腳；所述第二引腳2和第九引腳9作為第一信號引腳，所 述第四引腳4和第七引腳7所為第二信號引腳。所述繼電器可以是市場上型號為TQ2-5V 的繼電器。為敘述方便，所述三個相同繼電器分別稱為第一繼電器、第二繼電器、第三繼電 器。圖3位繼電器組件內繼電器的連接方式，所述三個繼電器的連接方式如圖3所示。如圖3所示，所述三個繼電器的第一引腳1并聯同時接5V電源，所述三個繼電器 的第十引腳10并聯同時接控制線；第一繼電器132的第三引腳3、第八引腳8分別接單工 位測試機150信號接口的漏極感應信號(DS，Drain Sense)端、漏極壓力信號(DF，Drain Force)端，第二引腳2、第九引腳9分別連接適配板上第一待測芯片110的DS端、DF端， 第四引腳4、第七引腳7分別連接適配板上第二待測芯片120的D本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種適配板，用于將單工位的測試機改裝成雙工位的測試機，包括：蜂窩板，將繼電器組件固定于蜂窩板上的插座，以及轉接板；所述轉接板連接所述繼電器組件的引腳，使所述繼電器組件的公共引腳連接單工位測試機、所述繼電器組件的第一信號引腳連接第一待測芯片的測試端、所述繼電器組件的第二信號引腳連接所述第二待測芯片的測試端，所述第一待測芯片位于第一工位上、所述第二待測芯片位于第二工位上。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：嚴大生，岳青，屈微微，郭萬瑾，
申請(專利權)人：中芯國際集成電路制造上海有限公司，
類型：發明
國別省市：31[中國|上海]