濕式鍍膜系統(tǒng)技術(shù)方案

本發(fā)明專利技術(shù)涉及一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其包括選擇性地相互連通的一個(gè)鍍膜室、一個(gè)退火室及一個(gè)設(shè)置在該退火室上的腔門。該鍍膜室內(nèi)包括一個(gè)用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜的濕式鍍膜裝置及一個(gè)夾持手臂。該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動(dòng)。該至少一個(gè)待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該腔門在該退火室內(nèi)進(jìn)行。該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對(duì)該濕式鍍膜裝置產(chǎn)生的鍍膜基板進(jìn)行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。該濕式鍍膜系統(tǒng)，通過在相互連通的鍍膜室、退火室內(nèi)進(jìn)行鍍膜及加熱，從而可避免因該鍍膜基板在空氣中的移動(dòng)而帶來的氧化問題，提升了鍍膜良率。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)涉及一種鍍膜技術(shù)，尤其涉及一種濕式鍍膜系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
目前，薄膜制備技術(shù)一般分為干式鍍膜與濕式鍍膜兩種方法。其中，濕式鍍膜工藝 具有制程設(shè)備簡單、便宜、沉積速率快、易控制沉積厚度及特性、制程溫度低、不受限于形狀 復(fù)雜之基板、適用于多樣性材料、更可將薄膜制備于軟性基材上等優(yōu)點(diǎn)。故，近年來濕式鍍 膜工藝已廣泛被用來沉積陶瓷、高分子、金屬等材料的鍍層。濕式鍍膜產(chǎn)生的已鍍膜的基板 一般需要進(jìn)行退火工藝，即將已鍍膜的基板加熱至400 500°C并持續(xù)一段時(shí)間后，慢慢冷 卻，從而使該基板上的薄膜達(dá)到一定的性能。但是，將基板從鍍膜工藝到退火工藝的轉(zhuǎn)移過程中，由于該鍍膜基板暴露在空氣 中，容易造成該鍍膜基板剛鍍上的薄膜層被氧化。因此，該鍍膜基板鍍膜完成后，會(huì)造成該 鍍膜基板的薄膜層品質(zhì)不佳，從而造成鍍膜良率下降。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
有鑒于此，有必要提供一種能提升鍍膜良率的濕式鍍膜系統(tǒng)。一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其包括選擇性地相互連通的一個(gè)鍍膜室、一個(gè)退火室及一個(gè) 設(shè)置在該退火室上的腔門。該鍍膜室內(nèi)包括一個(gè)用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜的濕 式鍍膜裝置及一個(gè)夾持手臂。該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置 在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動(dòng)。該至少一個(gè)待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該 腔門在該退火室內(nèi)進(jìn)行。該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對(duì)該濕式鍍膜裝置 產(chǎn)生的鍍膜基板進(jìn)行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。與現(xiàn)有技術(shù)相比，所述濕式鍍膜系統(tǒng)，通過在相互連通的鍍膜室、退火室內(nèi)進(jìn)行鍍 膜及加熱，從而可避免因該鍍膜基板在空氣中的移動(dòng)而帶來的氧化問題，提升了鍍膜良率。附圖說明圖1為本專利技術(shù)一種實(shí)施方式提供的濕式鍍膜系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖3為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的另一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖4為圖3中沿IV-IV線的濕式鍍膜裝置的夾持單元的剖面示意圖。圖5為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的又一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖6為圖5中沿VI-VI線的濕式鍍膜裝置的剖面示意圖。圖7為圖1中的濕式鍍膜系統(tǒng)的再一種濕式鍍膜裝置的立體示意圖。圖8為圖7中沿VII-VII線的濕式鍍膜裝置的剖面示意圖。具體實(shí)施例方式下面將結(jié)合附圖對(duì)本專利技術(shù)實(shí)施方式作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。請(qǐng)參閱圖1，為本專利技術(shù)一種實(shí)施方式提供的濕式鍍膜系統(tǒng)70，其包括相互連通的 一個(gè)鍍膜室71、一個(gè)退火室72、一個(gè)裝卸室73及一個(gè)設(shè)置在該裝卸室73上的腔門74。該鍍膜室71內(nèi)包括一個(gè)用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板101進(jìn)行鍍膜的濕式鍍膜裝 置100及一個(gè)夾持手臂77。在本實(shí)施方式中，該夾持手臂77為機(jī)械手臂，其用于夾持該濕 式鍍膜裝置100并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置100在鍍膜室71、退火室72及裝卸室73內(nèi)自由移 動(dòng)。優(yōu)選地，該鍍膜室71與該退火室72之間、該退火室72與該裝卸室73之間均存在一個(gè) 自動(dòng)門75。當(dāng)該夾持手臂77移動(dòng)至自動(dòng)門75前時(shí)，該自動(dòng)門75自動(dòng)打開；當(dāng)該夾持手臂 77遠(yuǎn)離自動(dòng)門75時(shí)，該自動(dòng)門75自動(dòng)關(guān)閉。該待鍍膜基板101通過在一定時(shí)間內(nèi)浸泡在 一待鍍液體102中以達(dá)到鍍膜目的。該待鍍液體102承載在一容器104中，且該待鍍液體 102 一般具有揮發(fā)性，當(dāng)該鍍膜室71內(nèi)存在多種待鍍液體102時(shí)，其揮發(fā)的氣體會(huì)存在相 互干擾待鍍液體102的現(xiàn)象，使得待鍍液體102的純度不高，從而該待鍍膜基板101的鍍膜 品質(zhì)不佳。優(yōu)選地，該鍍膜室71還包括一個(gè)用于導(dǎo)入氮?dú)獾倪M(jìn)氣裝置710及一個(gè)用于導(dǎo)出 氣體的排氣裝置711。該進(jìn)氣裝置710通入的氮?dú)獠灰装l(fā)生化學(xué)反應(yīng)，對(duì)鍍膜工藝沒有影 響。該排氣裝置711優(yōu)選為排氣泵，從而該排氣裝置711產(chǎn)生較大壓強(qiáng)，加速導(dǎo)走該鍍膜室 71內(nèi)的揮發(fā)氣體。為了便于該鍍膜室71內(nèi)的待鍍液體102的排放，該鍍膜室71還包括帶 有第一開關(guān)閥門7130的排液管713，該排液管713具有排液岔管7131，每個(gè)排液岔管7131 與對(duì)應(yīng)的容器104相通并利用第一開關(guān)閥門7130排放該多個(gè)容器104內(nèi)的待鍍液體102。 優(yōu)選地，每個(gè)排液岔管7131設(shè)置在對(duì)應(yīng)的容器104的底壁。再優(yōu)選地，該鍍膜室71內(nèi)還包 括與該排液管713對(duì)應(yīng)的進(jìn)液管714，該進(jìn)液管714帶有一個(gè)第二開關(guān)閥門7140并包括多 個(gè)進(jìn)液岔管7141，每個(gè)進(jìn)液岔管7141利用第二開關(guān)閥門7140將待鍍液體102注入到該多 個(gè)容器104內(nèi)。退火室72內(nèi)包括一個(gè)加熱裝置721，該加熱裝置721用于對(duì)該濕式鍍膜裝置100 鍍膜后的待鍍膜基板101進(jìn)行加熱，使膜層表面的附著性增加。在本實(shí)施方式中，該加熱裝 置721對(duì)該已鍍膜的待鍍膜基板101加熱至400°C 500°C，并持續(xù)一段時(shí)間，然后停止加 熱，使該已鍍膜的待鍍膜基板101自然冷卻。優(yōu)選地，該加熱裝置721為電阻絲或加熱爐管。 優(yōu)選地，該退火室72內(nèi)還包括一個(gè)溫度傳感器723及一個(gè)與該溫度傳感器723電性連接的 控制器725，該溫度傳感器723用于檢測(cè)該加熱裝置721的溫度并將檢測(cè)結(jié)果傳送至該控制 器725，該控制器725用于根據(jù)該檢測(cè)結(jié)果實(shí)時(shí)控制該加熱裝置721進(jìn)行加熱。該已鍍膜的待鍍膜基板101完成加熱后，由該夾持手臂77移動(dòng)至裝卸室73內(nèi)，在 該裝卸室73內(nèi)自然冷卻。可以理解，該待鍍膜基板101的裝卸通過腔門74在該裝卸室73 內(nèi)進(jìn)行。所述濕式鍍膜系統(tǒng)10，通過在相互連通的鍍膜室71、退火室72及裝卸室73內(nèi)進(jìn) 行鍍膜及加熱，從而可避免該已鍍膜的待鍍膜基板101在空氣中的氧化問題，提升了鍍膜 良率。請(qǐng)結(jié)合圖2，為濕式鍍膜系統(tǒng)70中的一種濕式鍍膜裝置100包括分別用于夾持該 多個(gè)待鍍膜基板101的多個(gè)夾持單元11、一個(gè)本體12及用于連接該多個(gè)夾持單元11與該 本體12的多個(gè)連接體13。本體12包括一個(gè)頂壁121、多個(gè)首尾相接的側(cè)壁123及一個(gè)與該頂壁121相對(duì)的底壁125。該多個(gè)側(cè)壁123連接該頂壁121與該底壁125。每個(gè)夾持單元11均包括一個(gè)懸臂110及一個(gè)夾持件113。該懸臂110包括相對(duì) 的兩個(gè)端面IlOaUlOb及一個(gè)連接該兩個(gè)端面IlOaUlOb的側(cè)面110c。每個(gè)連接體13的 一端固接一懸臂110的側(cè)面110c，該連接體13的另一端固接該本體121的其中一個(gè)側(cè)壁 123。該夾持件113設(shè)置在該懸臂110遠(yuǎn)離該本體12的端面IlOb上，該夾持件113用于夾 持該待鍍膜基板101，優(yōu)選地，該夾持件113為夾爪。在本實(shí)施方式中，該待鍍膜基板101的 數(shù)量為6個(gè)，該夾持單元11、該待鍍液體102、該容器104、該側(cè)壁123與該待鍍膜基板101 的數(shù)量一一對(duì)應(yīng)，可以理解，該待鍍膜基板101的數(shù)量可以更多或者更少。進(jìn)一步，為了監(jiān)控該待鍍膜基板101進(jìn)行鍍膜，濕式鍍膜裝置100還包括一個(gè)固接 在該懸臂110的另一個(gè)端面Ila上的監(jiān)控器15。該監(jiān)控器15用于監(jiān)控該待鍍膜基板101 進(jìn)行鍍膜，如監(jiān)控該帶鍍膜基板101浸潤在該待鍍液體102中的深度、時(shí)間等鍍膜參數(shù)。當(dāng) 該待鍍膜基板101達(dá)到最佳浸潤時(shí)間時(shí)，該監(jiān)控器15可發(fā)出報(bào)警動(dòng)作以提示作業(yè)人員。在 本實(shí)施方式中，該監(jiān)控器15采用以下方式實(shí)現(xiàn)自動(dòng)監(jiān)控功能。該夾持件113設(shè)置有一個(gè)與 該監(jiān)控器15電性連接的傳感器1131，該傳感器本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，其包括選擇性地相互連通的一個(gè)鍍膜室、一個(gè)退火室及一個(gè)設(shè)置在該退火室上的腔門，該鍍膜室內(nèi)包括用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜的一個(gè)濕式鍍膜裝置及一個(gè)夾持手臂，該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動(dòng)，該至少一個(gè)待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該腔門在該退火室內(nèi)進(jìn)行，該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對(duì)該濕式鍍膜裝置產(chǎn)生的鍍膜基板進(jìn)行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。

【技術(shù)特征摘要】
一種濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，其包括選擇性地相互連通的一個(gè)鍍膜室、一個(gè)退火室及一個(gè)設(shè)置在該退火室上的腔門，該鍍膜室內(nèi)包括用于對(duì)至少一個(gè)待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜的一個(gè)濕式鍍膜裝置及一個(gè)夾持手臂，該夾持手臂用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝置在鍍膜室及退火室內(nèi)自由移動(dòng)，該至少一個(gè)待鍍膜基板在該濕式鍍膜裝置上的裝卸通過該腔門在該退火室內(nèi)進(jìn)行，該退火室內(nèi)包括一加熱裝置，該加熱裝置用于對(duì)該濕式鍍膜裝置產(chǎn)生的鍍膜基板進(jìn)行加熱，該加熱后的鍍膜基板在該退火室內(nèi)冷卻。2.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該濕式鍍膜系統(tǒng)還包括一個(gè)與該 退火室選擇性連通的裝卸室，該夾持手臂還用于夾持該濕式鍍膜裝置并驅(qū)動(dòng)該濕式鍍膜裝 置在裝卸室內(nèi)自由移動(dòng)，該腔門設(shè)置在該裝卸室上，該待鍍膜基板的裝卸通過該腔門在該 裝卸室內(nèi)進(jìn)行。3.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括一個(gè)用于導(dǎo)入 氮?dú)獾倪M(jìn)氣裝置及一個(gè)用于導(dǎo)出氣體的排氣裝置。4.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括承載有待鍍液 體的多個(gè)容器及帶有第一開關(guān)閥門的排液管，該待鍍液體用于對(duì)該待鍍膜基板進(jìn)行鍍膜， 該排液管包括多個(gè)排液岔管，每個(gè)排液岔管與對(duì)應(yīng)的容器相通并利用該第一開關(guān)閥門排放 該多個(gè)容器內(nèi)的待鍍液體。5.如權(quán)利要求4所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該鍍膜室內(nèi)還包括帶有第二開關(guān) 閥門的進(jìn)液管，該進(jìn)液管包括多個(gè)進(jìn)液岔管，每個(gè)進(jìn)液岔管利用該第二開關(guān)閥門將待鍍液 體注入到該多個(gè)容器內(nèi)。6.如權(quán)利要求1所述的濕式鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，該退火室內(nèi)還包括一個(gè)溫度傳感 器及一個(gè)與該溫度傳感器電性連接的控制器，該溫度傳感器用于檢測(cè)該加熱裝置的溫度并 將檢測(cè)結(jié)果傳送至該控制器，該控制器用于根據(jù)該檢測(cè)結(jié)果...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：黃建豪，裴紹凱，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：鴻富錦精密工業(yè)深圳有限公司，鴻海精密工業(yè)股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：94[中國|深圳]