三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置制造方法及圖紙

一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，該輸送裝置包括儀表風輸送管道和氮氣輸送管道，儀表風輸送管道一端接儀表風氣源，管道上依次設有電接點壓力表Ｐ２和閥門ＫＶ２，氮氣管道一端接氮氣氣源，管道上依次設有電接點壓力表Ｐ１和閥門ＫＶ１，儀表風輸送管道和氮氣輸送管道匯合后與程控閥連接。通過對程閥程氣源的改造，延長了程控閥的使用壽命，減少了停車次數，確保了正常生產。（*該技術在2020年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置
本技術屬化工
，具體涉及一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源 輸送裝置。
技術介紹
PSA尾氣回收裝置是近幾年來化工領域廣泛采用的尾氣分離技術，以程控閥 多、動作頻繁、自動化程度高而著稱。原程控閥所用儀表風氣體含有水份，易與尾氣中 的三氯氫硅反應生成氯化氫氣體，對程控閥造成腐蝕，導致程控閥檢修頻繁，最終影響 PSA尾氣回收裝置正常運行。
技術實現思路
本技術的目的在于解決現有技術中的上述問題，提供一種三氯氫硅尾氣回 收裝置程控閥氣源輸送裝置。使其程控閥的氣源可在儀表風和氮氣之間進行切換，延長 程控閥的使用壽命，從而保證正常生產。為解決上述技術問題，本技術采用的技術方案如下本技術的三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，該輸送裝置包括儀 表風輸送管道和氮氣輸送管道，儀表風輸送管道一端接儀表風氣源，管道上依次設有電 接點壓力表P2和閥門KV2，氮氣管道一端接氮氣氣源，管道上依次設有電接點壓力表Pl 和閥門KVl，儀表風輸送管道和氮氣輸送管道匯合后與程控閥連接。本技術優選在在氮氣輸送管道上設有逆止閥。本技術在程控閥氣源總管上設了氮氣和儀表風兩種氣源，且兩種氣源根據 壓力變化可以通過閥門相互切換。因空氣的78%是氮氣，將空氣進行壓縮、干燥、除 塵、分離后即得到高純度氮氣，生產中多用于檢修后的設備置換或作為動力輸送硅粉 等。為了保證生產安全，氮氣必須是高純度，不可污染。而儀表風只是將空氣進行初步 處理，往往含有水份和雜質。為了防止儀表風氣竄入氮氣管道，要求氮氣壓力一定高于 儀表風壓力，并在氮氣管道上加裝逆止閥。尾氣回收裝置的程控閥有開啟和關閉兩種狀態，氣源壓力要求0.45 Mpa以上， 該裝置是在全自動狀態下通過多臺程控閥的開啟和關閉完成吸附、順放、均降、逆放、 抽空、均升、終沖等步驟的運行。為了保證程控閥的正常運行，本專利技術用高純度的氮氣 作為程控閥的啟動氣源。當氮氣壓力不能保證程控閥的開啟時，切換使用儀表風。切換 操作有手動和自動兩種方式。通過對程閥程氣源的改造，延長了程控閥的使用壽命，減少了停車次數，確保 了正常生產。附圖說明圖1是本技術的結構示意圖。具體實施方式本技術的三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，該輸送裝置包括儀 表風輸送管道和氮氣輸送管道，儀表風輸送管道一端接儀表風氣源3，管道上依次設有電 接點壓力表:P2 2和程控閥KV2 1，氮氣管道一端接氮氣氣源8，管道上依次設有電接點壓 力表PJ和閥門KVA，在氮氣輸送管道上設有逆止閥5。儀表風輸送管道和氮氣輸送管 道匯合后與程控閥4連接。工作過程中1、保證P1>P2，防止儀表風壓力高于氮氣壓力，對設備置換、三氯氫硅裝 車、硅粉輸送等操作造成不良影響。2、設定Pl的最低壓力為0.45Mpa，如果Pl出現低限報警后，程序會自動打開 KV2關閉KV1，由氮氣切換至儀表風。此時，嚴密關注公用工程的氮氣壓力，當Pl> 0.45 Mpa時，且壓力值平穩后，手動開啟KV1，關閉KV2，氣源由儀表風切換回氮氣。3、合成工序在硅粉上料(每班一次，時間為一小時左右)和精餾工序三氯氫 硅、四氯化硅裝車期間，使用氮氣量較大，主控操作人員需提前手動將氮氣切換為儀表 風，保證程序運行的穩定。合成和精餾工序其它地方用氮氣量少而影響到氮氣壓力時， 可由程序自動切換完成。權利要求1.一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，其特征在于該輸送裝置包括 儀表風輸送管道和氮氣輸送管道，儀表風輸送管道一端接儀表風氣源(3)，管道上依次 設有電接點壓力表P2 (2)和程控閥KV2 (1)，氮氣管道一端接氮氣氣源(8)，管 道上依次設有電接點壓力表Pl (7)和閥門KVl (6)，儀表風輸送管道和氮氣輸送管 道匯合后與程控閥(4)連接。2.根據權利要求1所述的三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，其特征在于 在氮氣輸送管道上設有逆止閥(5)。專利摘要一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，該輸送裝置包括儀表風輸送管道和氮氣輸送管道，儀表風輸送管道一端接儀表風氣源，管道上依次設有電接點壓力表P2和閥門KV2，氮氣管道一端接氮氣氣源，管道上依次設有電接點壓力表P1和閥門KV1，儀表風輸送管道和氮氣輸送管道匯合后與程控閥連接。通過對程閥程氣源的改造，延長了程控閥的使用壽命，減少了停車次數，確保了正常生產。文檔編號F17C5/00GK201810985SQ20102055018公開日2011年4月27日 申請日期2010年9月30日 優先權日2010年9月30日專利技術者石如彥, 秦永紅, 陳建祥, 馬盈利 申請人:河南尚宇新能源股份有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種三氯氫硅尾氣回收裝置程控閥氣源輸送裝置，其特征在于：該輸送裝置包括儀表風輸送管道和氮氣輸送管道，儀表風輸送管道一端接儀表風氣源（３），管道上依次設有電接點壓力表Ｐ２（２）和程控閥ＫＶ２（１），氮氣管道一端接氮氣氣源（８），管道上依次設有電接點壓力表Ｐ１（７）和閥門ＫＶ１（６），儀表風輸送管道和氮氣輸送管道匯合后與程控閥（４）連接。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：陳建祥，秦永紅，石如彥，馬盈利，
申請(專利權)人：河南尚宇新能源股份有限公司，
類型：實用新型
國別省市：41[中國|河南]