用于干式真空機組的水流檢測裝置制造方法及圖紙

一種用于干式真空機組的水流檢測裝置，屬于干式真空機組技術領域。包括玻璃殼體、針閥、螺母、浮子及進、出水口，所述的玻璃殼體內開有錐形腔和與所述錐形腔相通的進、出水口、用于安裝針閥的通道，針閥的針端伸入進水口，所述針閥與錐形腔垂直，在錐形腔內設有浮子，螺母安裝于錐形腔的端口，在玻璃殼體外壁上安裝有與報警器連接的檢測浮子高度的接近開關。本實用新型專利技術通過在玻璃殼體上加裝針閥來調節水流量，以適應不同的真空環境；在玻璃殼體上安裝用于檢測浮子位置的接近開關，進而實現斷水報警，本實用新型專利技術易于加工、拆卸、維護、耐用、成本低，檢測可靠，進而發揮機組的性能。（*該技術在2020年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術屬于干式真空機組
，具體地說是一種用于干泵真空機組的水 流檢測裝置。
技術介紹
隨著信息產業的發展、半導體行業方興未艾，與之相關的產業更是蓬勃發展，而半 導體行業的各種設備離不開真空獲得裝置，因此干式真空機組因其潔凈無油，維護周期長 等優勢在半導體行業的真空獲得領域有很好的應用前景，干式真空機組的泵體冷卻對于機 組正常工作極其重要，對于機組抽不同的真空氣氛，泵的冷卻水流量不同，同時要求對低于 一定水流量具有斷水報警功能，冷卻水含有雜質或者設備與水發生電化反應產生膠體進而 造成水流檢測裝置堵死或者水流不暢，所以要求水流檢測裝置易于維護和保養。
技術實現思路
針對上述存在的技術問題，本技術提供一種用于干式真空機組的水流檢測裝 置，它是以玻璃殼體為主體，內設浮子，并加裝針閥來調節水流量，通過接近傳感器檢測浮 子位置，進而實現斷水報警。本技術采用的技術方案如下.一種用于干式真空機組的水流檢測裝置，其特征在于包括玻璃殼體、針閥、螺 母、浮子及進、出水口，所述的玻璃殼體內開有錐形腔和與所述錐形腔相通的進、出水口、用 于安裝針閥的通道，針閥的針端伸入進水口，所述針閥與錐形腔垂直，在錐形腔內設有浮 子，螺母安裝于錐形腔的端口，在玻璃殼體外壁上安裝有與報警器連接的檢測浮子高度的 接近傳感器。所述的玻璃殼體內固定有導軌，浮子置于導軌上。所述的玻璃殼體上帶有刻度。本技術的技術方案是與現有技術相比，本技術具有如下有益效果1.本技術采用有機玻璃殼體為主體，易于加工，在有機玻璃殼體上加裝針閥 來調節水流量，通過水流量的調節來適合不同的真空環境。在玻璃殼體內垂直于針閥方向 開有大坡比錐形腔，在錐錐形腔內設置不銹鋼浮子，利用水流對浮子的作用，水流越大，浮 子向上移動越高，通過玻璃殼體上的刻度，測量水流量的大小。在玻璃殼體上安裝的接近傳 感器，用于檢測浮子位置，進而實現斷水報警。2.本技術易于加工、拆卸和維護，各個部件利用螺紋安裝在一起，非常容易拆 卸和維護，做到一個扳手和一個螺絲刀就可維護。3.本技術克服玻璃轉子流量計大坡比管難于吹制，加工繁瑣，成品率低，易碎 的缺點，通過玻璃殼體內的大坡比錐形腔就可以實現干式真空機組對冷卻水流量的要求， 耐用、易于加工、成本低，檢測可靠，進而發揮機組的性能。附圖說明圖1為本技術的結構示意圖。圖中1.針閥，2.玻璃殼體，3.浮子，4.導軌，5.錐形腔，6.螺母，7.出水口，8.固 定架，9.進水口，10.通道，11.固定架。具體實施方式以下結合附圖及實施例對本技術作進一步詳細說明。實施例如圖1所示，本技術包括玻璃殼體2、針閥1、螺母6、浮子3及進、出 水口 9、7，所述的玻璃殼體2內開有錐形腔5和與所述錐形腔5相通的進、出水口 9、7、用于 安裝針閥1的通道10，針閥1的針端伸入進水口 9，所述針閥1與錐形腔5垂直，在錐形腔 5內設有浮子3，螺母6安裝于錐形腔5的端口，在玻璃殼體2外壁上安裝有與報警器連接 的檢測浮子高度的接近傳感器。本例中所述的玻璃殼體2內通過固定架11固定有導軌4，其導軌4為光桿，浮子置 于導軌4上。所述的玻璃殼體2上還帶有刻度，用于觀察水位。所述接近傳感器高度根據 設備需要冷卻水的流量設置，所述的接近傳感器可長距離檢測。本技術的工作過程水從進水口 9流入，通過針閥1來調節水流量，水流進入玻璃殼體2的錐形腔5內， 利用水流對浮子3的作用，水流越大，浮子向上移動越高，通過玻璃殼體2上的刻度，測量水流量的大小，通過在玻璃殼體2上安裝的接近傳感器檢測浮子3所在的位置，實現斷水報m權利要求1.一種用于干式真空機組的水流檢測裝置，其特征在于包括玻璃殼體、針閥、螺母、 浮子及進、出水口，所述的玻璃殼體內開有錐形腔和與所述錐形腔相通的進、出水口、用于 安裝針閥的通道，針閥的針端伸入進水口，所述針閥與錐形腔垂直，在錐形腔內設有浮子， 螺母安裝于錐形腔的端口，在玻璃殼體外壁上安裝有與報警器連接的檢測浮子高度的接近 傳感器。2.根據權利要求1所述的用于干式真空機組的水流檢測裝置，其特征在于所述的玻 璃殼體內固定有導軌，浮子置于導軌上。3.根據權利要求1所述的用于干式真空機組的水流檢測裝置，其特征在于所述的玻 璃殼體上帶有刻度。專利摘要一種用于干式真空機組的水流檢測裝置，屬于干式真空機組
包括玻璃殼體、針閥、螺母、浮子及進、出水口，所述的玻璃殼體內開有錐形腔和與所述錐形腔相通的進、出水口、用于安裝針閥的通道，針閥的針端伸入進水口，所述針閥與錐形腔垂直，在錐形腔內設有浮子，螺母安裝于錐形腔的端口，在玻璃殼體外壁上安裝有與報警器連接的檢測浮子高度的接近開關。本技術通過在玻璃殼體上加裝針閥來調節水流量，以適應不同的真空環境；在玻璃殼體上安裝用于檢測浮子位置的接近開關，進而實現斷水報警，本技術易于加工、拆卸、維護、耐用、成本低，檢測可靠，進而發揮機組的性能。文檔編號G01F1/52GK201885759SQ20102064453公開日2011年6月29日 申請日期2010年12月7日 優先權日2010年12月7日專利技術者張利國, 張寧, 李良進 申請人:中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
１．一種用于干式真空機組的水流檢測裝置，其特征在于：包括玻璃殼體、針閥、螺母、浮子及進、出水口，所述的玻璃殼體內開有錐形腔和與所述錐形腔相通的進、出水口、用于安裝針閥的通道，針閥的針端伸入進水口，所述針閥與錐形腔垂直，在錐形腔內設有浮子，螺母安裝于錐形腔的端口，在玻璃殼體外壁上安裝有與報警器連接的檢測浮子高度的接近傳感器。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：張寧，張利國，李良進，
申請(專利權)人：中國科學院沈陽科學儀器研制中心有限公司，
類型：實用新型
國別省市：89[中國|沈陽]