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    三氯氫硅粗單體的凈化裝置制造方法及圖紙

    技術(shù)編號:6286397 閱讀:231 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
    本實(shí)用新型專利技術(shù)公開了一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置,包括精餾塔和位于其下面的塔釜,所述精餾塔的塔頂設(shè)置有冷凝器,所述塔釜設(shè)有進(jìn)料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。本實(shí)用新型專利技術(shù)采用精餾原理,根據(jù)三氯氫硅與氯化物和硅粉揮發(fā)性的差異,同時(shí)多次利用部分汽化、部分冷凝的方法,使氯化物和硅粉富集在釜底,塔頂采出氯化物和硅粉含量較低的三氯氫硅粗單體,解決了三氯氫硅后續(xù)精制中存在堵塞精制設(shè)備冷凝器的問題,有很強(qiáng)的實(shí)用性;并且本實(shí)用新型專利技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單,方便操作。(*該技術(shù)在2020年保護(hù)過期,可自由使用*)

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本技術(shù)涉及一種化工原料的凈化裝置,特別涉及一種脫除三氯氫硅粗單體中 的氯化物和硅粉的凈化裝置。
    技術(shù)介紹
    三氯氫硅是一種用途廣泛的有機(jī)硅單體,主要用于生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅和多晶 硅,同時(shí)還是制造硅烷偶聯(lián)劑和其它有機(jī)硅產(chǎn)品的重要中間體。三氯氫硅通過硅粉和氯化 氫發(fā)生反應(yīng)制備,由于硅粉中夾帶硼、磷及金屬雜質(zhì),這些雜質(zhì)在制備三氯氫硅的同時(shí),也 將與氯化氫反應(yīng)形成三氯化硼、三氯化磷及金屬氯化物等物質(zhì)。在三氯氫硅后續(xù)精制過程 中,生成的氯化物和硅粉容易造成精制設(shè)備冷凝器的堵塞。
    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
    本技術(shù)為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問題而提供一種三氯氫硅粗單體的凈 化裝置,該裝置能夠脫除三氯氫硅粗單體中的氯化物和硅粉。本技術(shù)為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是一種三氯氫 硅粗單體的凈化裝置,包括精餾塔和位于其下面的塔釜,所述精餾塔的塔頂設(shè)置有冷凝器, 所述塔釜設(shè)有進(jìn)料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。所述塔釜的底部置放有富集網(wǎng)板。所述精餾塔為板式塔或填料塔。本技術(shù)具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是采用精餾原理,根據(jù)三氯氫硅與氯化物和 硅粉揮發(fā)性的差異,同時(shí)多次利用部分汽化、部分冷凝的方法,使氯化物和硅粉富集在釜 底,塔頂采出氯化物和硅粉含量較低的三氯氫硅粗單體,解決了三氯氫硅后續(xù)精制中存在 堵塞精制設(shè)備冷凝器的問題,有很強(qiáng)的實(shí)用性;并且本技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單,方便操作。附圖說明圖1是本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本技術(shù)塔釜的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、冷凝器,2、精餾塔,3、塔釜,4、進(jìn)料口,5、熱物流入口,6、排液口,7、熱物流排出口,8、富集網(wǎng)板。具體實(shí)施方式為能進(jìn)一步了解本技術(shù)的專利技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)及功效,茲例舉以下實(shí)施例,并配合 附圖詳細(xì)說明如下請參閱圖1 圖2,本技術(shù)一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置,包括精餾塔2和 位于其下面的塔釜3,精餾塔2的塔頂設(shè)置有冷凝器1,塔釜3設(shè)有進(jìn)料口 4、熱物流入口 5、 熱物流排出口 7和排液口 6。精餾塔2可采用板式塔或填料塔。塔釜3的底部可以置放富集網(wǎng)板8,以便富集大部分氯化物和硅粉,由于富集網(wǎng)板 便于安裝拆卸,從而可定期及時(shí)進(jìn)行清理,縮短維護(hù)時(shí)間,提高設(shè)備運(yùn)行效率。本技術(shù)的工作原理三氯氫硅粗單體原料從塔釜進(jìn)入,在塔釜內(nèi)與進(jìn)入塔釜的熱物流換熱,三氯氫硅 粗單體汽化上升富集到塔頂并進(jìn)入冷凝器,冷凝后的液相三氯氫硅粗單體部分回流到精餾 塔內(nèi),部分流向后續(xù)三氯氫硅精制設(shè)備;而高沸點(diǎn)的硅粉和氯化物在塔釜底富集,從而實(shí)現(xiàn) 三氯氫硅粗單體原料中的氯化物和硅粉的脫除。盡管上面結(jié)合附圖對本技術(shù)的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行了描述,但是本技術(shù)并不 局限于上述的具體實(shí)施方式,上述的具體實(shí)施方式僅僅是示意性的,并不是限制性的,本領(lǐng) 域的普通技術(shù)人員在本技術(shù)的啟示下,在不脫離本技術(shù)宗旨和權(quán)利要求所保護(hù)的 范圍情況下,還可以做出很多形式,這些均屬于本技術(shù)的保護(hù)范圍之內(nèi)。權(quán)利要求一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置,其特征在于,包括精餾塔和位于其下面的塔釜,所述精餾塔的塔頂設(shè)置有冷凝器,所述塔釜設(shè)有進(jìn)料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅粗單體的凈化裝置,其特征在于,所述塔釜的底部 置放有富集網(wǎng)板。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三氯氫硅粗單體的凈化裝置,其特征在于,所述精餾塔為板 式塔或填料塔。專利摘要本技術(shù)公開了一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置,包括精餾塔和位于其下面的塔釜,所述精餾塔的塔頂設(shè)置有冷凝器,所述塔釜設(shè)有進(jìn)料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。本技術(shù)采用精餾原理,根據(jù)三氯氫硅與氯化物和硅粉揮發(fā)性的差異,同時(shí)多次利用部分汽化、部分冷凝的方法,使氯化物和硅粉富集在釜底,塔頂采出氯化物和硅粉含量較低的三氯氫硅粗單體,解決了三氯氫硅后續(xù)精制中存在堵塞精制設(shè)備冷凝器的問題,有很強(qiáng)的實(shí)用性;并且本技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單,方便操作。文檔編號C01B33/107GK201704078SQ201020234468公開日2011年1月12日 申請日期2010年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月23日專利技術(shù)者趙華 申請人:天津市華瑞奕博化工科技有限公司本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
    一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置,其特征在于,包括精餾塔和位于其下面的塔釜,所述精餾塔的塔頂設(shè)置有冷凝器,所述塔釜設(shè)有進(jìn)料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。

    【技術(shù)特征摘要】

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:趙華
    申請(專利權(quán))人:天津市華瑞奕博化工科技有限公司
    類型:實(shí)用新型
    國別省市:12[中國|天津]

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