【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種化工原料的凈化裝置,特別涉及一種脫除三氯氫硅粗單體中 的氯化物和硅粉的凈化裝置。
技術(shù)介紹
三氯氫硅是一種用途廣泛的有機(jī)硅單體,主要用于生產(chǎn)半導(dǎo)體硅、單晶硅和多晶 硅,同時(shí)還是制造硅烷偶聯(lián)劑和其它有機(jī)硅產(chǎn)品的重要中間體。三氯氫硅通過硅粉和氯化 氫發(fā)生反應(yīng)制備,由于硅粉中夾帶硼、磷及金屬雜質(zhì),這些雜質(zhì)在制備三氯氫硅的同時(shí),也 將與氯化氫反應(yīng)形成三氯化硼、三氯化磷及金屬氯化物等物質(zhì)。在三氯氫硅后續(xù)精制過程 中,生成的氯化物和硅粉容易造成精制設(shè)備冷凝器的堵塞。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問題而提供一種三氯氫硅粗單體的凈 化裝置,該裝置能夠脫除三氯氫硅粗單體中的氯化物和硅粉。本技術(shù)為解決公知技術(shù)中存在的技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案是一種三氯氫 硅粗單體的凈化裝置,包括精餾塔和位于其下面的塔釜,所述精餾塔的塔頂設(shè)置有冷凝器, 所述塔釜設(shè)有進(jìn)料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。所述塔釜的底部置放有富集網(wǎng)板。所述精餾塔為板式塔或填料塔。本技術(shù)具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是采用精餾原理,根據(jù)三氯氫硅與氯化物和 硅粉揮發(fā)性的差異,同時(shí)多次利用部分汽化、部分冷凝的方法,使氯化物和硅粉富集在釜 底,塔頂采出氯化物和硅粉含量較低的三氯氫硅粗單體,解決了三氯氫硅后續(xù)精制中存在 堵塞精制設(shè)備冷凝器的問題,有很強(qiáng)的實(shí)用性;并且本技術(shù)結(jié)構(gòu)簡單,方便操作。附圖說明圖1是本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本技術(shù)塔釜的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、冷凝器,2、精餾塔,3、塔釜,4、進(jìn)料口,5、熱物流入口,6、排液口,7、熱物流排出口,8、富集網(wǎng)板。具體實(shí)施方式為能進(jìn)一步了解本技術(shù)的專利技 ...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種三氯氫硅粗單體的凈化裝置,其特征在于,包括精餾塔和位于其下面的塔釜,所述精餾塔的塔頂設(shè)置有冷凝器,所述塔釜設(shè)有進(jìn)料口、熱物流入口、熱物流排出口和排液口。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:趙華,
申請(專利權(quán))人:天津市華瑞奕博化工科技有限公司,
類型:實(shí)用新型
國別省市:12[中國|天津]
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