液壓自定位接料器制造技術

液壓自定位接料器主要用于解決截斷單晶硅棒時出現的出刀崩邊。本發明專利技術是依據液壓油具有的不可壓縮的特性，而合理設計的一套機械裝置。共包括液壓系統和機械系統兩大部分。整個液壓系統為一個密閉的系統。其動作由單作用液壓缸內部的被壓縮的彈簧提供，而不需要外界提供動力。單作用液壓缸內部彈簧的壓縮量決定系統的內部壓力，可以通過注油器向系統內部注油給系統增壓，并通過打開截止閥２泄油來給系統泄壓。整套裝置只有兩個截止閥作為其控制部分，操作起來十分簡單。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及單晶硅行業機加工技術。主要用于解決單晶硅棒在截斷后所出現的 出刀崩邊。硅棒在被截斷時，晶棒被截斷處連接部分所能承受的最大應力小于被截斷一 端晶棒所受合外力，而導致連接處斷裂，在斷裂處出現的斷裂面就叫出刀崩邊。
技術介紹
目前業內還沒有比較有效的技術解決出刀崩邊。常用的方法是在被截斷一端的 晶棒下面墊襯楔形塊。這一方法受到人為因素的制約，因為操作工很難把握墊襯的力 度。如果墊襯的力度太大，則晶棒會受到向上的力，如果墊襯力度太小，則晶棒又會受 到向下的力。因此這一方法并不能很好的解決這一問題。特別是在截斷直徑200mm，長度為300mm以上的晶棒，其出刀崩邊在徑向方向 的深度一般都會達到5 10mm，有時甚至可以達到20mm。給后續的加工造成了很大的影響。
技術實現思路
本專利技術是一種用于解決單晶硅棒在被截斷時所留下的出刀崩邊的機械裝置—— 液壓自定位接料器。該機械裝置主要由液壓系統和機械系統兩部分構成。液壓部分主要由1個單作用液壓缸、4個雙作用液壓缸、1個手壓式注油器、2個 截止閥、1個單向閥、1塊壓力表以及若干油管構成。四個雙作用液壓缸通過油管相互并 聯，并通過一個截止閥與雙作用液壓缸相串接。注油器通過相互并聯的另一個截止閥和 一個單向閥，并接在主油路上。壓力表并接在主油路上(如圖1液壓自定位接料器液壓 原理圖)。其中單作用液壓缸的容積為雙作用液壓缸的4倍。機械部分主要由1塊固定底板、2副長導軌副、4副短導軌副、4個支撐架、4個 托架以及4個拐架構成。四個雙作用液壓缸分別固定在四個支撐架上，并分別通過四副 短導軌副與分別固定著托架的四個拐架相連接(如圖2液壓自定位接料器機械結構圖)。 同時，雙作用液壓缸的活塞桿分別與相對應的拐架連接。這樣就組成了四副托架副。四 副托架副兩兩相對排列，組成兩組“V”型架。其中一組“V”型架直接固定在底板 上，另一組“V”型架通過兩副長導軌與底板相連。這樣就保證一組“V”型架固定， 另一組“V”型架可以滑動。兩組“V”型架順著被截斷晶棒的軸線方向安裝，其中被 固定的一組安裝在靠近帶鋸一側，可以滑動的一組安裝在遠離帶鋸的一側，以適應接取 不同長度的晶棒。四附圖說明圖1為液壓自定位接料器液壓原理圖；圖2為液壓自定位接料器機械結構圖。五具體實施例方式工作前，首先調整液壓系統的壓力。系統壓力應稍大于托架重力與雙作用液壓 缸活塞橫截面積的比值。如果系統壓力太小，關閉截止閥2，然后手壓注油器給系統注 油，可以達到增壓的目的；如果系統壓力太大，則打開截止閥2，給系統泄油，可以達 到減壓的目的。調好壓力之后，關閉截止閥2。(注系統壓力不需要經常調節，只要壓力表上的讀數符合要求即可。托架重 力與液壓缸活塞橫截面積可由具體設計而定，在本專利中不作重點。)工作時，先打開截止閥1，用手按下四個托架，使四個雙作用液壓缸的活塞均處 于零位，然后關閉截止閥1。然后裝卡晶棒，在晶棒裝卡完畢之后，再打開截止閥1， 這時單作用液壓缸內被壓縮的彈簧會給系統提供壓力，使雙作用液壓缸的活塞桿向上運 動，至使四個托架與晶棒全部接觸。然后關閉截止閥1。這時，處在雙作用液壓缸內部 的液壓油被封閉，根據液壓油具有不可壓縮的特性，這就可以保證在托架承受一定范圍 內的壓力時，其幾何位置不會發生改變。然后就可以啟動機床，開始截斷了。與晶棒所接觸的托架可以抵消被截斷部分晶棒的重力，使這部分晶棒所受合外 力的值趨于0，平衡截斷處晶棒內部存在的應力，從而解決由應力所引起的出刀崩邊。在截斷完畢后，打開截止閥1，這時雙作用液壓缸活塞桿受到由晶棒重力產生的 壓力，活塞桿會自動回到0位。然后關閉截止閥1，取下晶棒。此時雙作用液壓缸的活 塞不會向上運動，可以直接加工下一根晶棒。權利要求1.一種用于解決截斷單晶硅棒時出現的出刀崩邊的機械裝置，它的主要結構包括 —單作用液壓缸，用來驅動系統動作；—4個相互獨立的雙作用液壓缸，用來執行動作； ——注油器，用來給系統注入液壓油； ——2個截止閥，1個單向閥用來控制油路；——4副托架，分別安裝在四個雙作用液壓缸上，用來支撐需要接取的晶棒； ——2副導軌副。2.根據權利要求1的一種機械裝置，其原理為根據液壓油具有不可被壓縮的特性，當 為液壓缸注入液壓油后，活塞桿升起，在關閉回路后，活塞桿不能被壓回。3.根據權利要求1的一種機械裝置，其特征在于系統的動作由單作用液壓缸驅動，具 體由單作用液壓缸內的被壓縮的彈簧提供。4.根據權利要求1的一種機械裝置，其特征在于4個雙作用液壓缸通過油管相互并 聯，并通過一個截止閥與雙作用液壓缸相串接。5.根據權利要求1的一種機械裝置，其特征在于注油器通過相互并聯的另一個截止閥 和單向閥并接在主油路上。6.根據權利要求1的一種機械裝置，其特征在于4副托架分別固定在4個雙作用液壓 缸的活塞桿上。7.根據權利要求5的一種機器裝置，其特征在于分別固定著4副托架的4個雙作用 液壓缸，托架兩兩相對，斜面向內，形成兩組V型架，并順著被截斷晶棒的軸線方向排布。8.根據權利要求6的一種機器裝置，其特征在于靠近帶鋸一側的兩組“V”型架固 定，另外兩組“V”型架固定在滑塊上，通過導軌可以移動。全文摘要液壓自定位接料器主要用于解決截斷單晶硅棒時出現的出刀崩邊。本專利技術是依據液壓油具有的不可壓縮的特性，而合理設計的一套機械裝置。共包括液壓系統和機械系統兩大部分。整個液壓系統為一個密閉的系統。其動作由單作用液壓缸內部的被壓縮的彈簧提供，而不需要外界提供動力。單作用液壓缸內部彈簧的壓縮量決定系統的內部壓力，可以通過注油器向系統內部注油給系統增壓，并通過打開截止閥2泄油來給系統泄壓。整套裝置只有兩個截止閥作為其控制部分，操作起來十分簡單。文檔編號B28D7/00GK102009439SQ20101028141公開日2011年4月13日 申請日期2010年9月4日 優先權日2010年9月4日專利技術者段瑞 申請人:段瑞本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種用于解決截斷單晶硅棒時出現的出刀崩邊的機械裝置，它的主要結構包括：－－單作用液壓缸，用來驅動系統動作；－－４個相互獨立的雙作用液壓缸，用來執行動作；－－注油器，用來給系統注入液壓油；－－２個截止閥，１個單向閥用來控制油路；－－４副托架，分別安裝在四個雙作用液壓缸上，用來支撐需要接取的晶棒；－－２副導軌副。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：段瑞，
申請(專利權)人：段瑞，
類型：發明
國別省市：15