【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種熔溶封裝壓阻式壓力傳感器。
技術介紹
目前國內外汽車供氣系統、支氣管壓力測量、大氣壓力測量、廢氣循環控制、 充氣壓力測量及“ABS”防抱死系統均采用硅壓阻式微壓傳感器,但硅壓阻芯片采用粘 貼封裝,其抗沖擊震動性差。國內外汽車傳感器輸出信號采用模擬電路調校,調校精度 低,信號受外界環境影響大,標定校驗麻煩,可靠性差。
技術實現思路
本技術解決的技術問題設計一種熔溶封裝壓阻式壓力傳感器,采用硅熔 融封裝技術制造,使傳感器芯片封裝堅固牢靠、性能穩定,并且采用智能芯片信號調校 電路,精度高、調校準確,參數可隨機校準,工藝簡單、調校方便,便于批量生產。本技術采用的技術方案一種熔溶封裝壓阻式壓力傳感器,包括傳感器芯 片和調校基板底座,所述傳感器芯片采用共融玻璃粉熔溶封裝在調校基板底座上。所述調校基板底座上集成有智能芯片信號調校電路。所述傳感器芯片為杯式硅壓阻芯片。本技術與現有技術相比的優點1、采用硅熔溶封裝工藝,使芯片封裝堅固牢靠、性能穩定;現有技術芯片固定 采用膠粘工藝,芯片封裝牢固性差,性能穩定性差。2、采用智能芯片信號調校電路,其精度高、調校準確,參數可隨機校準,工藝 簡單、調校方便,便于批量生產;現有技術采用摸擬電路,其精度低、調校麻煩。附圖說明圖1為本技術的結構示意圖。具體實施方式以下結合附圖1描述本技術的一種實施例。一種熔溶封裝壓阻式壓力傳感器,包括傳感器芯片1和調校基板底座3,傳感器 芯片1采用共融玻璃粉2熔溶封裝在調校基板底座3上,使傳感器芯片封裝堅固牢靠、性 能穩定。調校基板底座3上集成有智能芯片信號調校電路,傳感器芯片1為杯式硅壓阻 ...
【技術保護點】
一種熔溶封裝壓阻式壓力傳感器,包括傳感器芯片(1)和調校基板底座(3),其特征是:所述傳感器芯片(1)采用共融玻璃粉(2)熔溶封裝在調校基板底座(3)上。
【技術特征摘要】
CN 2009-8-27 200920034346.81.一種熔溶封裝壓阻式壓力傳感器,包括傳感器芯片(1)和調校基板底座(3),其特 征是所述傳感器芯片(1)采用共融玻璃粉(2)熔溶封裝在...
【專利技術屬性】
技術研發人員:朱勝志,朱樂,田鋒,
申請(專利權)人:寶雞歐亞傳感科技發展有限公司,
類型:實用新型
國別省市:61
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