靜電電容式觸摸屏面板及其制造方法技術

本發明專利技術公開了一種靜電電容式觸摸屏面板及其制造方法，所述觸摸屏面板包括位于電極形成部位中的多個第一電極連接圖案。多條第一和第二路徑布線在路徑布線形成部位中，路徑布線與第一電極連接圖案設置在同一層上。絕緣層形成在基板上以及第一電極連接圖案上方，具有暴露多個第一電極連接圖案的一部分的至少兩個接觸孔。多個第一連續電極平行布置在第一方向上并且分別與多條第一路徑布線連接。多個第二連續電極平行布置在第二方向上，配置成與所述第一連續電極交叉，且分別與多條第二路徑布線連接。多個第一電極連接圖案的每一個通過至少兩個接觸孔連接每個第一連續電極的相鄰電極元件。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術的實施例涉及一種電容式觸摸屏面板及其制造方法。
技術介紹
隨著電子產業的發展，具有快速響應速度、低功耗以及卓越的顏色再現率的諸如液晶顯示器、電致發光顯示器和等離子體顯示面板的顯示設備已備受關注。所述顯示設備使用于各種電子產品，例如電視、用于計算機的監視器、筆記本電腦、移動電話、用于電冰箱的顯示單元、個人數字助理、自動取款機等。通常，顯示設備與諸如鍵盤、鼠標和數字轉換器的各種輸入裝置連接。但是，當使用諸如鍵盤、鼠標或數字轉換器的單獨輸入裝置時，用戶需要了解如何使用該單獨輸入裝置，并且由于單獨輸入裝置占用空間，客戶不滿意度增加。 因此，需要能夠減少不正確操作的簡便的輸入裝置。此外，需要一種用戶能夠通過用筆或手指直接接觸屏幕來輸入信息的觸摸屏面板。由于觸摸屏面板具有簡單的結構，使得不正確操作最小化，因此用戶無需單獨輸入裝置就能夠執行輸入操作，并且能夠快速且容易地操縱屏幕上顯示的內容。根據被觸摸部分的檢測方法，觸摸屏面板分類成電阻式、電容式和電磁式。電阻式觸摸屏面板在將DC電壓施加給在上板或下板上形成的金屬電極的狀態下，通過根據電阻變化的電壓梯度來判斷被觸摸位置。電容式觸摸屏面板在用戶物理接觸形成于上板或下板上的導電膜時，根據在上板或下板中產生的電容差來感測被觸摸位置。電磁式觸摸屏面板通過讀取由于電磁筆觸碰導電膜而感應的LC值來檢測被觸摸位置。下文中，將參照圖1和圖2說明傳統電容式觸摸屏面板。圖1是示出傳統電容式觸摸屏面板的頂視圖，圖2是示出沿著圖1的線1-1’和線11-11’的觸摸屏面板的截面圖。參照圖1和圖2，傳統電容式觸摸屏面板包括電極形成部位20、路徑布線形成部位 40、焊盤形成部位60和保護層50。電極形成部位20形成在基板10上，并且包括在第一方向(例如，X軸方向)上平行布置的多個第一電極21以及在垂直于第一電極21的方向(例如，Y軸方向)上交叉布置的多個第二電極22。第一電極21和第二電極22彼此交叉，但由絕緣膜30保持電絕緣狀態。此外，在第一方向上布置的相鄰第一電極21通過橋41彼此連接。也就是，橋41通過在覆蓋第一電極21和第二電極22的絕緣膜30中形成的接觸孔30a和30b將相鄰第一電極21彼此連接。路徑布線形成部位40形成在基板10上的電極形成部位20的外側的位置，并且包括分別與多個第一電極21連接的多條第一路徑布線42和分別與多個第二電極22連接的多條第二路徑布線43。 焊盤形成部位60包括分別通過多條第一路徑布線42與多個第一電極21連接的多個第一焊盤61、以及分別通過多條第二路徑布線43與多個第二電極22連接的多個第二焊盤62。 保護層50覆蓋電極形成部位20和路徑布線形成部位40，并且防止第一電極21和第二電極22以及第一路徑布線42和第二路徑布線43暴露于外部環境。下文中，將參照圖3A至圖3D說明制造傳統電容式觸摸屏面板的方法。參照圖3A，通過諸如濺射法的沉積工藝，將用于形成第一和第二電極的第一導電層沉積在包括電極形成部位20、路徑布線形成部位40和焊盤形成部位60的基板10上。通常使用氧化銦錫(ITO)作為第一導電層。在其上形成有第一導電層的基板10上涂覆光刻膠之后，通過使用第一掩模執行光刻工藝，在電極形成部位20中形成用于暴露第一導電層的第一光刻膠圖案。在通過濕蝕刻去除由第一光刻膠圖案暴露的第一導電層之后，通過對保留的第一光刻膠圖案進行灰化處理，在基板10上形成多個第一電極21和與第一電極21 交叉的多個第二電極22。參照圖:3B，在其上形成有多個第一電極21和第二電極22的基板10上形成第一絕緣膜30之后，使用第二掩模利用光刻工藝和蝕刻工藝，去除焊盤形成部位60和路徑布線形成部位40的第一絕緣膜30，并且形成穿透電極形成部位20的第一絕緣膜30的第一接觸孔30a和第二接觸孔30b。第一接觸孔30a和第二接觸孔30b暴露相鄰第一電極21的一部分。第一絕緣膜30包括氮化硅、氧化硅或有機樹脂。參照圖3C，通過諸如濺射法的沉積工藝，在其上形成有第一接觸孔30a和第二接觸孔30b的基板10的整個表面上形成第二導電層。第二導電層包括鋁(Al)或鉬(Mo)。在其中形成有第二導電層的基板上涂覆光刻膠之后，使用第三掩模通過執行光刻工藝和蝕刻工藝，在基板10上的路徑布線形成部位中形成第一路徑布線42和第二路徑布線43，并且在電極形成部位20的第一絕緣膜30上形成連接電極41。連接電極41通過在第一絕緣膜30 中形成的第一接觸孔30a和第二接觸孔30b將相鄰第一電極21彼此連接。參照圖3D，在其中形成有連接電極41以及第一路徑布線42和第二路徑布線43的基板10的整個表面上形成作為保護膜的第二絕緣膜50之后，使用第四掩模利用光刻工藝和蝕刻工藝，形成穿透第二絕緣膜50的通孔50a以暴露焊盤形成部位60的第一路徑布線 42和第二路徑布線43。但是，傳統電容式觸摸屏面板如上述利用4個掩模工序制成，并且每個掩模工序伴隨著需要諸如光刻膠(PR)、涂覆、對準、曝光、顯影和清洗的一系列連續工序的光刻工藝， 因此必須減少掩模工序的數量。此外，由于第一電極和第二電極的交叉部分的第一絕緣膜具有寬的面積并且使用氮化硅、氧化硅或有機樹脂，因此存在由于第一絕緣膜與其周圍之間的色差引起的第一絕緣膜從外部可見或明顯可見的問題。另外，在觸摸屏面板的頂部作為保護膜形成的第二絕緣膜由與第一絕緣膜相同的材料形成，并且在沉積第一和第二絕緣膜時使用的氣體使得粘合強度變弱，由此表面硬度變弱。因此，在制成觸摸屏面板之后，當執行形成顯示設備的下一工序時，會有出現劃痕的其他問題。圖4是示出在對現有技術中制造的觸摸屏面板執行劃痕測試之前和之后的狀態的圖示，其中左側圖片顯示劃痕測試之前的狀態，右側圖片顯示劃痕測試之后的狀態。
技術實現思路
在一個實施例中，一種觸摸屏面板通過減少掩模工序步驟的數量來減少工序的單件工時(tact time)，從而提高產量。在另一實施例中，一種觸摸屏面板解決了由于具有較寬面積的用于覆蓋用作觸摸電極的第一電極和第二電極的第一絕緣層與其周圍之間的色差而發生的可見性問題。提高了透光率和顏色過渡(color transition)特性。在又一實施例中，一種觸摸屏面板解決了由于在觸摸屏面板的頂部作為保護層形成的第二絕緣層的低表面硬度而發生的劃痕問題。本專利技術的其他特征和優點將在下面的描述中加以闡述，并且這些特征和優點的一部分根據該描述將是顯而易見的，或者可以通過本專利技術的實施而獲悉。本專利技術的目的和其他優點將通過在說明書文字部分、其權利要求以及附圖中特別指出的結構來實現和獲得。為了實現這些及其他優點，并且根據本專利技術的目的，如同在此具體化并廣泛描述的，在一個實施例中，一種觸摸屏面板包括具有電極形成部位和路徑布線形成部位的基板， 所述路徑布線形成部位位于所述電極形成部位外側的區域。多個第一電極連接圖案位于所述電極形成部位中。多條第一路徑布線和多條第二路徑布線均在所述路徑布線形成部位中，并且所述路徑布線與第一電極連接圖案設置在同一層上。絕緣層形成在所述基板上以及第一電極連接圖案上方。所述絕緣層具有暴露多個第一電極連接圖案的每一個的接觸部分的至少兩個接觸孔。多個第一連續電極平行布置在第一方向上并且分別與多條第一路徑布線連接本文檔來自技高網...

【技術保護點】
１．一種觸摸屏面板，包括：基板，包括電極形成部位和路徑布線形成部位，所述路徑布線形成部位位于所述電極形成部位外側的區域；在所述電極形成部位中的多個第一電極連接圖案；均在所述路徑布線形成部位中的多條第一路徑布線和多條第二路徑布線，所述路徑布線與所述第一電極連接圖案設置在同一層上；絕緣層，形成在所述基板上以及所述第一電極連接圖案上方，所述絕緣層具有用于暴露所述多個第一電極連接圖案的每一個的接觸部分的至少兩個接觸孔；多個第一連續電極，在第一方向上平行布置并且分別與所述多條第一路徑布線連接；每個第一連續電極包括多個第一電極元件；多個第二連續電極，在第二方向上平行布置并且配置成與所述第一連續電極交叉；第二連續電極分別與所述多條第二路徑布線連接；每個第二連續電極包括多個第二電極元件；以及其中所述多個第一電極連接圖案的每一個通過各自的可透過所述至少兩個接觸孔接觸到的接觸部分連接每個第一連續電極的相鄰電極元件。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：鄭江燮，姜熙光，安秀昌，黃相守，
申請(專利權)人：樂金顯示有限公司，
類型：發明
國別省市：KR