【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種磁控裝置，具體是一種整體結(jié)構(gòu)磁控裝置。技術(shù)背景真空濺鍍是目前一項(xiàng)新技術(shù)，在真空濺鍍自動(dòng)連續(xù)生產(chǎn)線中，腔內(nèi)的物理氣相、電和磁力參數(shù)等都直接影響到工件的鍍膜質(zhì)量和濺鍍效率，而磁控裝置又是其中的一項(xiàng)重要部件。通常的磁控裝置由背板、磁塊、夾片、隔磁板、磁塊定位條和螺釘?shù)冉M成，磁塊以多排形式排列并在背板上，以形成均勻分布的閉合磁場(chǎng)。用夾片將磁塊定位條和隔板夾緊后， 用螺釘安裝固定在背板上，在磁塊定位條、夾片和隔磁板所形成的U形槽內(nèi)放入磁塊，最后形成磁控裝置。由于背板和磁塊定位條采用螺釘固定，剛性差，使用過程中容易產(chǎn)生變形， 使磁塊與磁塊定位條、磁塊與磁塊間的接觸面出現(xiàn)間隙，影響磁場(chǎng)的分布，降低了磁控裝置的使用性能，甚至不能引發(fā)輝光放電。此外，在磁控裝置的零件較多，全長(zhǎng)范圍內(nèi)的螺釘非常繁多，定位困難，安裝繁瑣
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是提供一種整體結(jié)構(gòu)磁控裝置，它簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)，使得磁控裝置的零件品種和數(shù)量大為減少，磁塊定位也更為方便準(zhǔn)確，安裝簡(jiǎn)便，制造成本低。為了解決
技術(shù)介紹
所存在的問題，本技術(shù)是采用以下技術(shù)方案它包含整體背板1、夾緊螺釘2、凸臺(tái)3、夾片4、溝槽5、隔磁板6、緊固螺釘7、磁塊8 ；整體背板1上設(shè)置有凸臺(tái)3和溝槽5，夾片4通過夾緊螺釘2安裝在整體背板1的兩側(cè)，隔磁板6的下端通過緊固螺釘7固定安裝在溝槽5內(nèi)，磁塊8設(shè)置在凸臺(tái)3上，并通過夾片4和隔磁板6定位。本技術(shù)具有以下有益效果簡(jiǎn)化了結(jié)構(gòu)，使得磁控裝置的零件品種和數(shù)量大為減少，磁塊定位也更為方便準(zhǔn)確，安裝簡(jiǎn)便，制造成本低。附圖說明圖1是本技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式參看圖1，本具體實(shí)施方式采...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
１．一種整體結(jié)構(gòu)磁控裝置，其特征在于它包含整體背板（１）、夾緊螺釘（２）、凸臺(tái)（３）、夾片（４）、溝槽（５）、隔磁板（６）、緊固螺釘（７）、磁塊（８）；整體背板（１）上設(shè)置有凸臺(tái)（３）和溝槽（５），夾片（４）通過夾緊螺釘（２）安裝在整體背板（１）的兩側(cè)，隔磁板（６）的下端通過緊固螺釘（７）固定安裝在溝槽（５）內(nèi)，磁塊（８）設(shè)置在凸臺(tái)（３）上，并通過夾片（４）和隔磁板（６）定位。
【技術(shù)特征摘要】
1. 一種整體結(jié)構(gòu)磁控裝置，其特征在于它包含整體背板(1)、夾緊螺釘O)、凸臺(tái)(3)、 夾片⑷、溝槽(5)、隔磁板(6)、緊固螺釘(7)、磁塊⑶；整體背板⑴上設(shè)置有凸臺(tái)(3)和溝槽(5...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉辛，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州凡特真空濺鍍科技有限公司，
類型：實(shí)用新型
國別省市：32
還沒有人留言評(píng)論。發(fā)表了對(duì)其他瀏覽者有用的留言會(huì)獲得科技券。