電路信號監測裝置及方法制造方法及圖紙

本發明專利技術涉及一種電路信號監測裝置及方法，屬于自動化控制領域。為了實時反饋加熱器的工作狀態，有效監控系統內部的運行狀態，本發明專利技術所提供的電路信號監測裝置包括電流互感器，所述電流互感器設置于加熱器及PLC控制器之間，用于實時監測電路電流變化的情況，并將所監測到的電路電流變化情況以4～20mA的電流監測信號傳送給所述PLC控制器。該技術方案在化學藥液傳遞系統電路設計上加入互感器，以實時監測電路狀態，將電信號反饋給系統PLC控制器，對加熱器HEATER的工作狀態達到一個實時反饋的效果，有效地反映了控制系統的內部運行狀態，為溫度控制提供了有力保證。

【技術實現步驟摘要】

本專利技術涉及自動化控制領域，尤其涉及一種清洗機化學藥液傳遞系統中的。
技術介紹
化學藥液傳遞系統(Chemical Delivery System-CDS)是清洗設備的供液系統，給硅片清洗工藝過程提供N2、清洗藥液以及水等清洗工藝的必要介質，其大致流程示意圖如圖1所示。箭頭方向為清洗液的大致流向。泵提供液體循環動力，加熱器HEATER是加溫作用的重要設備。在溫度控制系統中液體循環分為兩種循環狀態初始循環、系統循環過程(1)初始循環過程ST-250做內部自循環，從藥液存儲槽TANK至加熱器HEATER經過濾器FILTER回到藥液存儲槽TANK，不向工藝端供液也沒有ST-250回收管道返回TANK。 此控制環LOOP —直循環到存儲槽TANK中溫度達到設定值。(2)存儲槽TANK中溫度達到設定值以后，當系統控制器有循環狀態切換命令時， 進入系統循環過程液體經過過濾器FILTER過濾后向工藝端供液，不再直接流回存儲槽 TANK,待做完工藝后的藥液回流到存儲槽TANK再循環利用。加熱器HEATER工作時根據所需加熱溫度來調節加熱功率，HEATER的控制器通過檢測加熱器的電流信號，由控制器內的SCR來改變加熱器HEATER的電壓從而改變加熱功率，若溫度控制出現異常，例如溫度在足夠的時間內持續達不到設定值，系統則無法自動判斷出故障原因及故障源位置。
技術實現思路
(一)要解決的技術問題本專利技術要解決的技術問題是如何實時反饋加熱器的工作狀態，如何有效監控化學藥液傳遞系統內部的運行狀態，提高溫度控制的效率。( 二 )技術方案為解決上述技術問題，本專利技術提供一種電路信號監測裝置，所述電路信號檢測裝置應用于清洗機化學藥液傳遞系統中，所述清洗機化學藥液傳遞系統包括加熱器以及PLC 控制器；所述電路信號監測裝置包括電流互感器，所述電流互感器設置于所述加熱器及 PLC控制器之間，用于實時監測電路電流變化的情況，并將所監測到的電路電流變化情況以 4 20mA的電流監測信號傳送給所述PLC控制器。所述加熱器連接有加熱控制器，所述加熱控制器包括可控硅整流器。所述電流互感器設置于所述加熱器及加熱控制器之間。此外，本專利技術還提供一種應用于上述裝置上的電路信號監測方法，其包括如下步驟Sl =PLC控制器根據溫度偏差信號控制加熱器的電壓對藥液進行加熱；S2 電流互感器實時監測電路電流的變化，并根據變化情況生成4 20mA的電流監測信號傳送給所述PLC控制器；S3 所述PLC控制器根據所述電流監測信號輸出代表所述清洗機化學藥液傳遞系統工作狀態的報警信號。所述步驟Sl中，PLC控制器向加熱控制器中的可控硅整流器輸入設定值U，所述 U 彡 6553 ；根據公式Iset = U*20/32767，將所述U轉換為電流信號Iset。所述步驟S2中，加熱器開始加熱后，安裝在加熱器與加熱控制器之間的電流互感器將加熱器二次側的電流信號Ig反饋給PLC控制器。所述步驟S3中，若18與Isrt的差值超過Isrt的20%，則PLC輸出報警信號。(三)有益效果本專利技術技術方案在化學藥液傳遞系統電路設計上加入互感器，以實時監測電路狀態，將電信號反饋給系統PLC控制器，對加熱器HEATER的工作狀態達到一個實時反饋的效果，有效地反映了控制系統的內部運行狀態，為溫度控制提供了有力保證。附圖說明圖1為化學藥液傳遞系統的原理流程示意圖；圖2為對加熱器進行供電的原理示意圖；圖3為本專利技術具體實施方式所提供的電流互感器的接線原理圖。具體實施例方式為使本專利技術的目的、內容、和優點更加清楚，下面結合附圖和實施例，對本專利技術的具體實施方式作進一步詳細描述。為了實時反饋加熱器的工作狀態，有效監控化學藥液傳遞系統內部的運行狀態， 提高溫度控制的效率，本專利技術提供一種電路信號監測裝置，該技術方案基于現有技術中對加熱器進行供電的技術原理，如圖2所示，由于PLC(比例-積分-微分)控制器通過加熱器 HEATER 內部的 Power Controller 電源控制可控硅整流器(Semiconductor controlled rectifier)向加熱器HEATER進行供電，SCR接收4 20mA信號，調整對加熱器HEATER AC POWER的輸出供電。本專利技術技術方案所涉及的電路信號檢測裝置應用于清洗機化學藥液傳遞系統中， 所述清洗機化學藥液傳遞系統包括加熱器以及PLC控制器；所述電路信號檢測裝置應用于清洗機化學藥液傳遞系統中，所述清洗機化學藥液傳遞系統包括加熱器以及PLC控制器；所述電路信號監測裝置包括電流互感器，所述電流互感器設置于所述加熱器及 PLC控制器之間，用于實時監測電路電流變化的情況，并將所監測到的電路電流變化情況以 4 20mA的電流監測信號傳送給所述PLC控制器。所述加熱器連接有加熱控制器，所述加熱控制器包括可控硅整流器。所述電流互感器設置于所述加熱器及加熱控制器之間。將加熱器的溫度信號情況引入PLC控制器，目的就是為了將整個系統過程的溫度進行閉環控制，而互感器的使用目的正是對整個過程的溫度控制效果的檢測，所以在此所涉及到的基本對象有PLC控制器，互感器，加熱控制器，加熱器。如前所述，加熱器是依靠加熱控制器的供電進行工作，而加熱控制器對加熱器的供電，又是依靠PLC控制器的AO模擬量輸出模塊輸出量轉換為電流信號連接到加熱控制器中，成為可控硅整流器SCR的輸入INPUT電流信號。在整個溫度控制過程中，對溫度控制算法在實際應用過程中是否能夠實現并達到工藝要求標準，需要電流互感器對現場溫度信號的監測。如圖3所示，為本專利技術具體實施方式所提供的電流互感器的接線原理圖；其中A、 B、C為電源三項交流電，Li、L2側為一次電流，K1、K2側為二次電流，將二次電流信號傳送給PLC控制器。據此，本具體實施方案還提供一種應用于上述裝置上的電路信號監測方法，其包括如下步驟Sl =PLC控制器根據溫度偏差信號控制加熱器的電壓對藥液進行加熱；S2 電流互感器實時監測電路電流的變化，并根據變化情況生成4 20mA的電流監測信號傳送給所述PLC控制器；S3 所述PLC控制器根據所述電流監測信號輸出代表所述清洗機化學藥液傳遞系統工作狀態的報警信號。其中，所述步驟Sl中，PLC控制器向加熱控制器中的可控硅整流器輸入設定值U， 所述U彡6553 ；根據公式Iset = U*20/32767，將所述U轉換為電流信號Iset。其中，所述步驟S2中，加熱器開始加熱后，安裝在加熱器與加熱控制器之間的電流互感器將加熱器二次側的電流信號Ig反饋給PLC控制器。其中，所述步驟S3中，若Ig與Iset的差值超過Iset的20%，則PLC輸出報警信號。以上所述僅是本專利技術的優選實施方式，應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本專利技術技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變形，這些改進和變形也應視為本專利技術的保護范圍。權利要求1.一種電路信號監測裝置，其特征在于，所述電路信號檢測裝置應用于清洗機化學藥液傳遞系統中，所述清洗機化學藥液傳遞系統包括加熱器以及PLC控制器；所述電路信號監測裝置包括電流互感器，所述電流互感器設置于所述加熱器及PLC控制器之間，用于實時監測電路電流變化的情況，并將所監測到的電路電流變化情況以4 20mA的電本文檔來自技高網...

【技術保護點】
１．一種電路信號監測裝置，其特征在于，所述電路信號檢測裝置應用于清洗機化學藥液傳遞系統中，所述清洗機化學藥液傳遞系統包括加熱器以及ＰＬＣ控制器；所述電路信號監測裝置包括電流互感器，所述電流互感器設置于所述加熱器及ＰＬＣ控制器之間，用于實時監測電路電流變化的情況，并將所監測到的電路電流變化情況以４～２０ｍＡ的電流監測信號傳送給所述ＰＬＣ控制器。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：李曼，李春彥，馬嘉，
申請(專利權)人：北京七星華創電子股份有限公司，
類型：發明
國別省市：11