用于靜電模擬測試的電路制造技術

本實用新型專利技術公開一種用于靜電模擬測試的電路，包括串聯的放電開關和放電電容，以及分別與該放電開關和放電電容并聯的充電電路和放電電路，其中在該充電電路中，設置與該放電開關串聯的第三開關。本實用新型專利技術可避免充電電路對待測器件的二次放電，使現有靜電模擬測試機之測試結果更精確。（*該技術在2021年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

本技術涉及靜電模擬測試設備，特別設計一種用于靜電模擬測試的電路。
技術介紹
現有的人體靜電(ESD-HBM)測試設備均為對一顆電容充電后，僅使用一個高速繼電器(一般是水銀繼電器)切換到放電端對DUT (待測器件)放電，也就是只使用一個水銀繼電器作為開關在充電端與放電端做開關切換動作。目前使用的水銀繼電器均為兩個金屬片在電磁場中實現偏轉，通常會使用惰性氣體防護，但是在高壓條件下(ESD通常都是幾千伏特)，惰性氣體會被電離，導致充電端對被測器件發生二次放電，而此二次放電的能量對于越來越先進的集成電路(例如65nm制程的 IC)造成二次傷害，導致測試結果的不準確。
技術實現思路
本技術的目的是提供一種用于靜電模擬測試的電路，解決現有技術中的上述缺陷。本技術的技術方案包括一種用于靜電模擬測試的電路，包括串聯的放電開關和放電電容，以及分別與該放電開關和放電電容并聯的充電電路和放電電路，其中在該充電電路中，設置與該放電開關串聯的第三開關。該放電開關通常是水銀繼電器。本技術的積極進步效果在于避免充電電路對待測器件的二次放電，使現有靜電模擬測試機之測試結果更精確。附圖說明圖1是現有的用于靜電模擬測試的電路示意圖。圖2是用作放電開關的水銀繼電器的示意圖。圖3是本技術一實施例的電路示意圖。具體實施方式以下結合附圖所示實施例對本技術作詳細說明。如圖1所示，現有的電路包括充電電路100和放電電路200，該兩個電路分別并聯在串聯的放電電容10以及用作放電開關Sl的水銀繼電器20的兩端。該充電電路100還包括高壓電源110和與該放電開關串聯的充電電阻120。該放電電路200還包括串聯的放電電阻210和待測器件(DUT) 300，在該待測器件300的兩端并聯設置保護開關S2。如圖2所示，該水銀繼電器20包括充電端22和放電端對，充電端22連接到該充電電路100，放電端M連接到該放電電路200。放電開關Sl (水銀繼電器20)切換到充電端22，對放電電容做充電動作后，然后 Sl再次切換到放電端M，放電電容對待測器件300做放電，從而完成一次完整的靜電放電的動作。水銀繼電器20在由充電端到放電端切換過程中，其玻璃管中的惰性氣體會被充電電路的高壓電離，放生二次放電。如圖3所示，根據本技術一實施例，用于靜電模擬測試的電路。在該充電電路100中，串聯第三開關S3。在放電開關Sl與充電電路100斷開前先將S3斷開，從而達到避免充電電路的電壓電離Sl中惰性氣體，解決二次放電問題。該第三開關S3可以是現有的任何合適的開關。本技術可以解決現有靜電模擬測試機對于先進制程的集成電路測試時的二次放電問題，使現有靜電模擬測試機之測試結果更精確。盡管本技術依照其優選實施方式描述，但是存在落入本技術范圍內的改變、置換和各種替代等同物。這里提供的示例僅是說明性的，而不是對本技術的限制。為了簡明，本說明書省略了對公知技術的描述。權利要求1.一種用于靜電模擬測試的電路，包括串聯的放電開關和放電電容，以及分別與該放電開關和放電電容并聯的充電電路和放電電路，其特征在于，在該充電電路中，設置與該放電開關串聯的第三開關。2.根據權利要求1所述的用于靜電模擬測試的電路，其特征在于，該放電開關為水銀繼電器。專利摘要本技術公開一種用于靜電模擬測試的電路，包括串聯的放電開關和放電電容，以及分別與該放電開關和放電電容并聯的充電電路和放電電路，其中在該充電電路中，設置與該放電開關串聯的第三開關。本技術可避免充電電路對待測器件的二次放電，使現有靜電模擬測試機之測試結果更精確。文檔編號G01R29/12GK202126465SQ201120238720公開日2012年1月25日 申請日期2011年7月7日 優先權日2011年7月7日專利技術者張育嘉, 曾元宏, 王春亮 申請人:宜碩科技(上海)有限公司本文檔來自技高網...

【技術保護點】
１．一種用于靜電模擬測試的電路，包括串聯的放電開關和放電電容，以及分別與該放電開關和放電電容并聯的充電電路和放電電路，其特征在于，在該充電電路中，設置與該放電開關串聯的第三開關。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：王春亮，曾元宏，張育嘉，
申請(專利權)人：宜碩科技上海有限公司，
類型：實用新型
國別省市：31